真空泵选型方法

真空泵的选型及常用计

算公式

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真空泵选型

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：

确定工作真空范围: ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

确定极限真空度

----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。

被抽气体种类与抽气量

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

真空容积

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。

考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

主真空泵的选择计算

S=tLog(P1/P2)

其中：

S为真空泵抽气速率(L/s)

V为真空室容积（L）

t为达到要求真空度所需时间(s)

P1为初始真空度(Torr)

P2为要求真空度(Torr)

例如：

V=500L

t=30s

P1=760Torr

P2=50Torr

真空泵选型原则及相关计算公式

真空泵是一种将气体抽出封闭容器内部形成真空的设备，广泛应用于

化工、医药、电子、航天等领域。在选型过程中，需要考虑以下几个原则：

1.最大抽气速度：真空泵的最大抽气速度应能满足设备的工艺要求。

抽气速度的计算公式为：S=(Q2-Q1)/(P2-P1)，其中S为抽气速度，Q为

流量，P为压力。

2.极限压力：真空泵的极限压力应低于设备所需的真空度。极限压力

的计算公式为：P=(P1V1)/V2，其中P为极限压力，V为容器的体积。

3.工作条件：选择真空泵时需要考虑工作介质的性质以及工作温度等

条件。

4.功率和能耗：选用真空泵时要考虑其相应的功率和能耗，以保证在

节能的前提下满足工艺需求。

5.维护和保养：真空泵的维护和保养成本也需要考虑在内。

除了以上原则外，还需要考虑一些具体的技术参数，如转速、排气量、冷却方式等。

常见的真空泵类型有：

1.机械泵：主要分为旋片式、涡轮式和离心式机械泵。旋片式机械泵

具有体积小、结构简单、价格低廉等优点；涡轮式机械泵适用于高真空条

件下的抽气工作；离心式机械泵适用于较大流量和比较低真空度的条件。

2.分子泵：分子泵是真空泵中的高真空泵，其工作原理是通过高速旋

转的叶轮把分子和原子推向出口方向。分子泵适用于高真空和超高真空条

件下的抽气工作。

3.扩散泵：扩散泵利用分子在热扩散作用下的运动来抽气。扩散泵适用于中等真空和高真空条件下的抽气工作。

4.涡旋泵：涡旋泵是一种基于离心力原理工作的真空泵。涡旋泵适用于高真空和超高真空条件下的抽气工作。

根据不同的工艺要求和实际情况，选型时需要综合考虑各个方面的因素，权衡各个参数和条件，选择最适合的真空泵。

目前，因真空泵应用广泛，所以，该设备的类型也是多种多样，那如何才能选到适合的真空泵呢，大家可根据以下几方面来选择。

1、根据真空室所需要建立的极限压力确定主泵的类型。

一般主泵极限压力的选取要比真空室的极限压力低半个到一个数量级。

2、根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。

真空泵选型中选择主泵的时候应正确地选择主泵的工作工艺环境，在其工作压力范围内，应能排除真空室内工艺过程中产生的全部气体量。因此，真空室内的工作压力一定要在主泵的Z佳抽速压力范围之内。

3、根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选择主泵。

真空泵选型中，真空室体积大小对系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时，若真空室体积越大，则主泵抽速也越大。

4、正确地组合真空泵。

因为各种真空泵的性能不同，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。

5、若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不

严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

6、选择真空泵时，应该知道被抽气体成分，针对被抽气体成分选择相应的真空泵。如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等，或在泵的进气口管道上安装辅助设备。

7、根据整套真空系统的初次投资和日常维护费用等经济指标选择主泵。

以上就是如何选择真空泵的要点介绍，相信大家通过以上几点即可选到适合需求的真空泵，如有不清楚的，大家可咨询水泵厂集团有限公司，该公司为一家专业致力于水利水电工程、凿井工程施工，注水泵、潜水泵、消防泵、清水泵、化工泵等研发、生产、销售、技术服务于一体的现代化企业，不仅产品质优价量，性价比高，且具有专业的售后团队，因此，现深受客户的好评。

真空泵选型方法]

选用真空泵时，需要注意下列事项：

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于110-5mmHg为好。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

真空泵的选择

近年来，随着科技的不断进步，真空技术在许多领域得到了广泛应用。在实验室、工业生产以及医疗领域，经常需要使用真空泵来提供

所需的真空环境。然而，不同的应用场景需要不同类型的真空泵，因

此正确选择适合的真空泵非常重要。本文将介绍一些常见的真空泵类型，以及选择真空泵的一些建议。

首先，常见的真空泵类型有以下几种：

1. 旋转式真空泵：旋转式真空泵通过旋转叶片或者回转转子来实现

抽取气体的过程。这种真空泵适用于大部分实验室应用和工业生产中

的中小型真空系统。旋转式真空泵的特点是结构简单，价格相对较低，但需要定期更换磨损部件。

2. 回收式真空泵：回收式真空泵是一种相对高级的真空泵类型，它

具有更低的抽取压力和更高的抽取效率。这种真空泵适用于对真空度

要求较高的应用场景，如半导体制造、太阳能行业等。回收式真空泵

通常具有更复杂的结构和更高的价格。

3. 吸尘器式真空泵：吸尘器式真空泵通过不断变化的容积来实现气

体的抽取。这种真空泵适用于需要更高的气体抽取速度的应用，如大

型工业生产中的真空干燥和冷冻。

在选择真空泵时，需要考虑以下几个因素：

1. 抽取速度：抽取速度是指单位时间内真空泵能够移除的气体量。

根据实际需求，选择具有足够抽取速度的真空泵非常重要。

2. 真空度：真空泵的真空度是指能够达到的最低气体压力。在选择真空泵时，需要根据应用场景的要求确定所需的真空度。

3. 核心材料：真空泵的核心材料对其可靠性和耐久性至关重要。一些特殊环境要求使用特殊材料，如具有防腐蚀性能的材料。

4. 维护和保养：不同类型的真空泵需要不同的维护和保养工作。在选择真空泵时，需要考虑到日常维护的难易程度。

真空泵的选择

引言

真空泵是一种用于排空和抽取气体的设备，广泛应用于科研、工业制造、医疗

器械和航天等领域。选择适合的真空泵对于确保工作效率和产品质量至关重要。本文将介绍一些常见的真空泵类型，并提供一些选择真空泵的准则。

常见的真空泵类型

1. 平衡式真空泵

平衡式真空泵是一种常见的真空泵类型，它采用回旋偏心量相互平衡的原理来

实现气体抽取。优点是工作平稳、结构简单、噪音小；缺点是抽气速度相对较低，适用于低真空范围。

2. 旋片真空泵

旋片真空泵通过一对旋转的叶片将气体抽入泵腔，然后压缩和排出气体。优点

是结构简单、维护便捷、抽气速度较快；缺点是噪音较大，适用于中真空范围。

3. 壳体积闪蒸真空泵

壳体积闪蒸真空泵通过使液体在低压环境下快速汽化，进而抽取气体。优点是

结构紧凑、抽气速度高、可靠性好；缺点是对工作液体的净化要求较高，适用于

高真空范围。

选择真空泵的准则

1. 抽气速度

抽气速度是选择真空泵的重要指标之一。它取决于所需真空度和系统中的气体

流量。通常情况下，抽气速度越高，真空泵的工作效率越高。

2. 最终真空度

不同的应用需要不同的最终真空度。某些应用需要较高的真空度，例如在高温

处理和纳米技术领域。因此，在选择真空泵时，应根据应用需求确定最终真空度。

3. 泵的尺寸和重量

泵的尺寸和重量对于一些特殊的应用场景可能是一个考虑因素。例如，在移动

设备或空间受限的环境中，需要选择小型、轻便的真空泵。

4. 能源消耗

能源效率是选择真空泵时需要考虑的另一个重要指标。更高效的真空泵可以降

低能源消耗和运行成本。

5. 维护和保养

真空泵的维护和保养也是选择时需要考虑的因素之一。一些真空泵需要定期更

真空泵参数及选型

真空泵是一种用于提供和维持低压或真空环境的设备。在各种实验室、工业生产和科学研究领域中，真空泵被广泛应用于气体抽取、真空干燥、

真空冷凝、真空蒸馏等工艺过程中。

真空泵的参数及选型主要包括以下几个方面：

1.泵速：泵速是指真空泵单位时间内抽取气体的量，通常以升/秒或

立方米/小时为单位。泵速的大小决定了真空泵在特定压力下的抽取效率。不同的应用场景对泵速的要求也不同，需要通过计算或实验来确定所需的

泵速。

2.抽气速率：抽气速率是真空泵从大气压开始抽取气体到一定真空度

所需的时间。抽气速率取决于泵速、泵腔容积以及被抽空间的体积等因素。对于一些需要快速抽取气体的应用，抽气速率是一个重要的参数。

3.极限真空度：极限真空度是指真空泵能达到的最低压力。不同的真

空泵有不同的极限真空度，一般情况下，极限真空度越低，真空泵的抽取

性能越好，价格也越高。选择合适的极限真空度需要根据具体应用的需求

来确定。

4.泵排气量：泵排气量是指真空泵在单位时间内排出的气体量，通常

以升/秒或立方米/小时为单位。泵排气量的大小决定了真空泵在工作时对

被抽空间产生的气体进行排除的能力。如果被抽空间气体产生速率大于真

空泵的排气量，那么真空度将无法稳定维持在所需的范围内。

5.泵运行压力：泵运行压力是指真空泵设计和工作时所能承受的最大

压力。超过泵运行压力，真空泵可能会发生故障或损坏。选择泵运行压力时，需要考虑被抽空间的最大压力情况，确保真空泵能够正常工作。

在选型时，需要根据具体应用的需求、被抽空间的体积以及气体的性质等因素进行综合考虑。常见的真空泵包括旋片泵、罗茨风机、回转式柱塞泵等，每种泵的结构和特点都不同，适用于不同的应用场景。

真空泵选型方法及结构特点

在合理选择真空泵的过程中，可根据具体工艺所要求的工作压强高低和抽吸气体的性质来进行选择。

真空泵选型方法

一般先确定具体工艺所要求的工作压强，负压蒸馏、精馏、升华等工艺要求的真空度高(工作压强低)，负压蒸发、干燥、浓缩、结晶、脱水、脱色、化学反应吸收及真空输送物料等工艺要求的真空度低(工作压强高)。工作压强确定后，可根据抽气量大小和抽吸气体的性质合理选择真空泵。

1、根据几种真空泵所能达到的工作压强列出各种真空泵的适用范围。

2、抽吸不同气体选择不同喷射真空泵

a.水喷射真空泵泵适用于工作压强大于25mmhg(3.3KPa)，抽吸各种气体的场合。当工作压强要求相对较小，抽不凝性气体量较大时，应选择蒸汽喷射泵和汽水串联、汽水组合喷射真空泵。

b.汽水串联喷射真空泵工作压强可达到2mmhg(267Pa)，但其比新型高效蒸汽喷射真空泵、汽水组合喷射真空泵、多级蒸汽喷射真空泵抽气量小，适合于中小企业间歇式生产。

c.新型高效蒸汽喷射真空泵的工作压强可达到0.5mmhg(65Pa)，适合于抽吸的气体中大部分为可凝性汽体，不凝性气体量占有的比例相对较小的工艺。

d.汽水组合喷射真空泵和多级蒸汽喷射真空泵的工作压强可达到10Pa以内，可以抽吸各种气体，它们的区别在于汽水组合喷射真空泵比多级蒸汽喷射真空泵节约工作蒸汽耗量，节省运行费用。

■结构及特点

2BE系列水环真空泵及压缩机是我公司在长期科研的基础上,结合国际先进技术,不断实践验证研制开发的高效节能的新型产品.能常用于抽吸不含固体颗粒、不溶于水、无腐蚀性气体，以便在封闭的容器中形成真空和压力。通过结构材料的改变，亦可用抽吸腐蚀性气体，腐蚀性液体。可广泛用于造纸、化工、石化、轻工、制药、食品、冶金、建材、电器、煤矿、造矿、化肥等行业。

真空泵选型

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：

确定工作真空范围: ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

确定极限真空度

----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。

被抽气体种类与抽气量

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

真空容积

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。

考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

主真空泵的选择计算

S=2.303V/tLog(P1/P2)

其中：

S为真空泵抽气速率(L/s)

V为真空室容积（L）

t为达到要求真空度所需时间(s)

P1为初始真空度(Torr)

P2为要求真空度(Torr)

例如：

V=500L

t=30s

P1=760Torr

P2=50Torr

则: S=2.303V/t Log(P1/P2)

=2.303x500/30xLog(760/50)

真空泵的选型原则和性能表示

真空泵的选型原则：

1、选用的真空泵必须能抽出工艺过程中释放出来的气体。例如，工艺过程中产生的是水蒸气，选用的真空泵必须能抽水蒸气。

2、选用主泵的极限真空度，必须高于被抽容器要求的真空度，至少要高一个数量级，并且能在要求的工作真空度范围内正常工作。

3、选用主泵的抽速必须大于工艺过程中的最大放气量。如果在主泵前有冷阱或档板，则加阱或挡板之后的有效抽速应大于工艺过程中最大放气量。如果工艺过程中会出现突然大量放气，主泵的有效抽速还要适当加大，通常加大到最大放气量的2~3倍。

4、选用的真空泵其工作介质和制造泵的材料必须满足工艺要求。在抽出具有腐蚀性气体时，应采取防腐措施。抽出带有灰尘或颗粒的气体时，要在主泵前加除尘器或过滤器。

5、对于连续生产的工艺，所选用的真空泵必须可靠的满足连续性生产的需要。必要时，最好加一套自动更换的备用真空泵。如果工艺过程中放气量越来越小，可以备用抽气量较小的真空泵，作为维持泵，以实现节能降耗。

6、如果有一种以上的真空泵能满足同一种工艺需求时，要进行成本和运转费用的经济性分析，选用经济性好，运行可靠，维修量小，使用与维修方便的真空泵。

真空泵的主要性能如下：

1、极限压力：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续地抽气，当容器内的气体压力不在下降，而维持某一定值时，此压力即为泵的极限压力，其单位用Pa表示。

2、流量：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体量称为泵的流量。

3、抽气速率：在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽速。

选择适当的真空泵需要考虑多个因素，包括应用要求、工艺参数、预算限制等。以下是一些常见的真空泵选型指南：

1. 真空要求：首先确定所需的真空度范围。不同的应用需要不同的真空水平，如低真空（大气压到100 mbar）、中真空（100 mbar到10^-3 mbar）或高真空（10^-3 mbar以下）。

2. 泵速和抽速：根据应用需要的体积流量和抽速，选择合适的泵型。泵速取决于泵的设计和工作原理，可以通过厂家提供的性能曲线来评估。

3. 泵的工作范围：确保所选泵的工作范围（最大压力和最大流量）符合应用的要求。有些应用可能需要快速排气或适应变化的工艺条件。

4. 泵的稳定性和可靠性：对于长时间运行的应用，需要选择具有良好稳定性和可靠性的泵。查看泵的维护需求和寿命预测，以评估其可靠性。

5. 能源消耗：考虑泵的能源消耗和效率。一些泵可能需要更高的功率才能达到所需的真空度，这可能会增加运行成本。

6. 噪音和振动：根据实际需求，考虑泵的噪音和振动水平。在某些

应用中，低噪音和低振动是重要的考虑因素。

7. 维护和服务：了解泵的维护需求和服务支持情况。一些泵可能需要更频繁的维护，而其他泵可能具有较长的维护间隔。

8. 成本考虑：在选择泵时，需要考虑与预算的匹配程度。评估泵的性能、可靠性和维护成本，并将其与可行的预算进行比较。

最后，建议与真空泵供应商进行咨询，他们可以提供更具体的选型建议并帮助您选择适合您应用的真空泵。

真空泵如何选择合适型号

真空泵是一种用于排除气体分子的装置，通常应用于科学实验、工业制造和医

疗设备中。根据不同的工作原理，真空泵可以分为机械泵、扩散泵、降压泵等多种类型，每种类型的真空泵都有其适用的场合和性能指标，因此在选择真空泵时需要考虑多个因素，本文将详细介绍如何选择合适型号的真空泵。

真空泵分类

在选择真空泵之前，首先需要了解不同类型真空泵的工作原理和特点。

机械泵

机械泵通常使用叶轮将气体分子排出真空室，每个叶片由机械装置旋转带动，

使气体分子不断被压缩并排出，从而形成真空。机械泵具有结构简单、工作稳定等特点，在低真空范围内通常是最常用的真空泵。

扩散泵

扩散泵利用气体分子的热运动、碰撞和扩散等过程将气体分子排除，具有排除

气体分子速度快、抗污染能力强等特点，被广泛应用于真空炉、半导体制造、化工工程、航空航天等领域的高真空环境下。

降压泵

降压泵通过快速降低真空室内气体分子的压强实现真空，常见的降压泵有栅栏

放电离子泵、环形离子泵等。由于其可以在高真空范围内起作用，并且压强可调，常用于高能物理实验、计算机芯片制造等领域。

选择合适型号真空泵的考虑因素

在选择真空泵时，需要考虑多个因素，如所需真空度、系统尺寸、抽气速度等。

所需真空度

真空泵的真空度决定了其所适用的场合和工作效率。通常将低真空分为粗真空(1-10Pa)和中真空(10-103Pa)两个范围。如果所需真空度低于10Pa，则建议选择机械泵；如果所需真空度在10-103Pa之间，则会使用扩散泵；如果所需真空度高于10^3Pa，则建议使用降压泵，比如离子泵、栅栏放电离子泵等。

一、真空泵定义：

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获

得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体

传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

二、真空泵的选型：

1、首先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰

尘、有无腐蚀性、爆炸性等；如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应

该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等；如抽取气体

还有腐蚀性，则须选用材质；若抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环式真

空泵并且配防爆电机，因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。

2、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何，如果环境不允许有污染，可以

选无油真空泵如水环式真空泵，或者把油蒸气排到室外。

3、真空设备或者零部件对油污染的要求，若设备严格要求无油时，应该选各

种无油泵，如：水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，若要

求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、

挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

4、如有多台大型水环式真空泵同时工作，循环液应该进行冷却，否则影响真

空度，冷却装置可以配备冷却塔，同时须配增压泵对管路加压。

5、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若环境不允许，应

选择无振动的泵或者采取减震措施。

6、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求，通常选

择真空泵泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

真空泵参数及选型

真空泵是一种常用于实验室、工厂等领域的设备，其作用是将压

力低于大气压的气体抽出。因此，选择合适的真空泵参数十分关键。

首先，真空泵的抽气速度是一个重要参数。抽气速度指的是单位

时间内真空泵可以抽出的气体量，其单位通常是升/秒（L/s）。在选

型时，需要根据实验或工作场合需要抽出的气体量来选择抽气速度，

在满足要求的前提下选择比较小的抽气速度，能够节省能源。

其次，还需要考虑真空度。真空度是一个描述真空状态的重要参数，它通常用压力单位来表达，例如帕（Pa）、毫巴（mbar）或托（torr）等。不同的场合对真空度的要求不同，选择真空泵时需要根

据实际需求来确定真空泵的最大抽气速度，并且要确保真空泵能够达

到所需的最高真空度。

此外，还要考虑真空泵的功率。功率是一个描述真空泵能够提供

的能量大小的参数，通常用瓦特（W）或马力（HP）来表示。在选型时，需要根据实验或工作场合的需要来选择最合适的功率，同时还要考虑

能源的消耗和成本。

最后，还要考虑真空泵的尺寸和重量等参数。不同的实验室、工厂场合对设备的要求不同，因此在选型时需要注意设备的尺寸和重量是否适合自己的需求。

总的来说，选型的过程需要根据实际需求来确定真空泵的抽气速度、真空度、功率和尺寸等参数，并选择适合自己需求的真空泵。

真空泵的选择

选用真空泵时，需要注意下列事项：

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV 系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

真空泵选型方法

选用真空泵时，需要注意下列事项：

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵冷库的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg 下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于110-5mmHg为好。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。