H6540干膜渗镀

ME

文件編號:2#10100201

電鍍出來即發現幹膜起泡 蝕刻線退膜，即發現有滲錫情況

切片發現有滲銅，滲錫 蝕刻出來的滲鍍 QDC 變化量： Q ：滲鍍報廢0.073% D ：影響過機返工 C ：增加返工費用及洗板成本

後日立幹膜供應商提出：H6540幹膜的特點，日立公司為提高

一種鉸聯物質，在H6540推出市場之前，

溫度變化敏感，容易收縮。

為此，我們正式找到了方向，開始將調查重點轉移到圖電工序，主要考察兩方法

2.溫差，發現一是圖電溫控不正常，個別缸體溫度低於

計，電流夾具夾到幹膜上，理論上會導致電流不穩定，我們將這兩隱患消除後，此類型滲鍍消