4.3.1 调频测量电路
调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐 振回路的一部分。当输入量导致电容量发生 变化时, 振荡器的振荡频率就发生变化。
高频、低频激励电压作用下电容传感器的等效电路
4.3.1 调频测量电路
虽然可将频率作为测量系统的输出量, 用以判 断被测非电量的大小, 但此时系统是非线性的, 不易校正
因此加入鉴频器, 将频率的变化转换为振幅的 变化, 经过放大就可以用仪器指示或记录仪记 录下来
调频测量电路原理框图如图所示:
4.3.1 调频测量电路
图中调频振荡器的振荡频率为:
f
1
1
2(LC) 2
(4-13)
4.3.1 调频测量电路
✓调频电容传感器测量电路具有较高灵敏 度, 可以测至0.01μm级位移变化量
改变极板间距离(δ)的极距型传感器 改变极板遮盖面积( A )的面积型传感器 改变电介质介电常数〔ε0〕的介质型传感器
4.2 电容传感器分类
电容传感器分类结构图如下
电容式传感器
极距型
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ面积型
介质型
4.2.1 极距式电容传感器
➢当传感器的εr和A为常
+ +
+
数,初始极距为δ0时,由
式(4-1)可知其初始电
为此, 极板间可采用高介电常数的材料〔云母、 塑料膜等〕作介质
4.2.1 极距式电容传感器
此时电容C变为:
C
A
g 0
0 g 0
(4-4)
4.2.1 极距式电容传感器
➢式中: ➢ εg—云母的相对介电常数,εg= 7
ε0—空气的介电常数, ε0= 1 ➢ d0—空气隙厚度 ➢ dg—云母片的厚度