无尘车间标准等级的划分
无尘车间的等级说明
首先是无尘车间标准等级定义如下：
Class X (at Y μm )
其中X 是无尘车间的等级，例如100 或 10000 等等， Y 是粒径如μm , μm等，
可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级
的限度。以下是几个例子：
Class1 μm, μm , μm)
Class 100 μm , μm )
Class 100 μm, μm , μm )
在 Classes 100 and Greater(Class 100，1000，10000....) 粒径即可。在 Classes Less than 100(Class 10，1.... )
个粒径。，一般看一
个，一般要看多
几
第二个是规定无尘车间的状态，例如：
Class X (at Yμm )，At-rest
第三个是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘车间都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
Class 10000μm <= 10000)，As-built
Class 10000μm <= 1000)，As-built
这样做的目的是确保无尘车间在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。
以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644 的等级定义。
Fed-Std-209E 洁净度定义
Class Limits
Class Nameμmμmμmμm5μm Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units SI U.S. (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) M 1 350 - - M 1 1,240 265 106 - - M 2 3,500 757 309 100 - - M 10 12,400 350 2,650 1,060 353 - - M 3 35,000 991 7,570 214 3,090 1,000 - - M 100 - - 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - - M 4 - - 75,700 2140 30,900 875 10,000 283 - - M 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 M 5 - - - - - - 100,000 2,830 618 M 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470
M 6 - - - - - - 1,000,000 28,300 6,180 175
100,00 100,00 M - - - - - - 3,530,000 24,700 700
0 0
10,000,00 283,00 M 7 - - - - - - 61,800 1,750
0 0
ISO-14644 洁净度定义
Maximumconcentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger ISO
than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in
classificatio
accordance with equation (1).
n number(N)
1mm 5mm ISO Class 1 10 2
ISO Class 2 100 24 10 4
ISO Class 3 1 000 237 102 35 8
ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83
ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 ISO Class 7 352 000 83 200 2 930 ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300 ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000 NOTE Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.
Equation (1): Cn = 10NX D)其中Cn是微粒浓度，N是洁净度，D是粒径
比较以上两表我们可看出
的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。
两制放同一表，徒然造成混淆
2.在两表中几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径的粒子非常具有代表性
ISO-14644 的范围比3. 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度，
209E都来的广，因此具有未来性
无尘车间等级标准划分
洁净度等级标准 ISO14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）
及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）～范围内累
计分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子（～）、超微粒子（＜）和
宏粒子（＞）。
空气洁净度分级标准：ISO14644-1（国际标准）
