S4800扫描电镜(SEM)操作手册课件

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S－4800 扫描电镜外观
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S－4800 扫描电镜剖面图
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S-4800主要技术参数
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扫描电镜使用时的安全注意 事项
• 扫描电镜及其附属设备中有高压电、低温、高温 、高压气流等危险因素，因此不正确的使用有可 能造成人身伤亡。请您正确操作仪器，不要打开 仪器的面板或试图接触培训过程中未允许您操作 的部分，即使您对自己的操作很有信心。未获得 授权的用户请勿操作电镜。
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5、观察样品
（1）移动样品可以通过操作面板上的滚动球来实 现，在低倍下寻找感兴趣的区域，然后到合适的 放大倍数观察和记录图像
（2）亮度和对比度调节使用操作面板上的BRIGHT 和CONTRAST旋钮，或点击ABCC进行自动调整
（3）聚焦样品使用操作面板上的FOCUS，包括粗 调COARSE和微调FINE
开始自动加电压
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3、加高压及条件设定
4）条件设定 （1）选择图形信号及探测器类型：SE,BSE （2）设定工作距离WD （3）设定高度Z Z与WD密切相关，它们设定的先后顺序并不
重要，最终目的是在Z与WD的允许范围内使 图像聚焦清楚。为安全起见，本机高度Z应 在3mm以上（范围3－30）。
致，这样不仅操作性好，而且有利于保护仪器和样品。 (c)注意调节螺杆（adjusting screw）不要从样品架底座下面伸出
来，这样会造成机械故障。
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2、加载样品
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认：
(a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯不 亮）
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4、调节电子光学系统
加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质 量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴 或对中(Alignment)。
（1）点击ALIGN键，出现合轴画面 （2）主要的合轴有： a.电子束合轴：Beam Align 目标：把光圈调到中心 b.物镜光栏合轴：Aperture Align 目标：把图像晃动量调到最小 c.象差校正合轴：Stigma Align X，Y 目标：把图像晃动量调到最小 （3）操作：调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT X 和Y
（6）关闭交换室，按EVAC键，交换室抽真空；
（7）峰鸣器响后，按OPEN键，打开样品室与交换 室之间的门（气阀）；
（8）峰鸣器响后，一边探视里面，一边将样品架 充分地插入样品台的槽中（交换棒推到底）；
（9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置，卸 下样品，然后将交换棒完全拉出；
（10）按CLOSE键，气阀关闭。
记录图像
图像处理
SEM数据管理器
取出样品
刻录光盘
结束操作
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1、启动操作程序PC－SEM
• 打开显示器Display的开关； • 系统启动，要求输入系统的用户名和密码； • 核实用户名和密码后，电镜操作程序PC－
SEM自动启动，要求输入程序的用户名和密 码； • 核实用户名和密码后，电镜操作程序打开。
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3、加高压及条件设定
1）设定样品尺寸 点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点击
SET键，设定样品的尺寸。 2）设定加速高压和发射电流 点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和
发射电流。发射电流一般设为10A 3）加高压 点击ON键，出现确认样品尺寸对话框，确定后，
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2、加载样品
1）将样品装在样品托（specimen stub)上
（1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托 （15mm,1inch,1.5inch,2inch）；
（2）用碳导电胶带或银导电胶将样品粘在样 品托上。
注意：
(a)对于不导电或导电性不好的样品，需要进行喷金等的导电处 理；
(b)当在较高倍率下观察时（大于等于10万倍），建议使用银导 电胶，可以防止样品漂移；用了导电胶的样品需要用台灯烤干 或用吹风机吹干后再插入样品室。
• 请勿用扫描电镜观察磁性样品，磁性样品有可能 给电镜造成严重伤害。
• 如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况 ，请垂询技术员彭开武/郭延军
（ Tel: 82545516 ）。
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S－4800扫描电镜的基本操作 过程
启动操作程序PC－SEM
加载样品
加高压及条件设定
调节电子光学系统
观察样品
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2、加载样品
2）将样品托装在样品架（specimen holder） 上
（1）把样品托安装在样品架的顶端； （2）调整样品的高度，使得样品的上表面与
样品高度计的下面尽量相平。
注意： (a)取放样品操作时必须带手套以减少污染； (b)必须使用样品高度计调节样品的高度，使WD与Z尽量保持一
Hitachi S-4800 型扫描电镜 简易操作指南
国家纳米科学中心纳米检测实验室
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注意！
• 本文件的目的在于帮助用户记忆培训的内容， 不能代替培训。有意自己操作扫描电镜的用 户请到现场参加培训。
• 为了把此文件的篇幅限制在一个合理程度， 文件内容难于面面俱到。
• 欢迎各位对本文件的内容提出宝贵意见！
（4）校正象散使用操作面板上的 STIGMA/ALIGNMENT （不在Align窗口时）
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6、记录图像
1）捕捉并保存
可以在任一种扫描模式（TV，FAST，SLOW）下 记录图像，每一种模式又包括几种条件，可以 在拍照前具体设定。设定好后，先点击所需要 的扫描模式，然后按CAPTURE键。捕捉只是指将 图像暂时保存在Captured Image 中，选中需要保 存的图像，然后点击SAVE按钮，会出现一个对 话框，可以设定图片被保存的位置及文件名称、 类型等信息。可以选中所有的图片进行全部保 存。
(b)加速电压处于Oபைடு நூலகம்F状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气；
（2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开；
（3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态；
（4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品 插入交换棒中；
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2、加载样品
（5）按逆时针方向旋转交换棒的旋钮到LOCK状态， 然后将交换棒完全拉出；