少子寿命检测设备结构原理及维护要点
少子寿命设备的应用
对于太阳能工业而言，少子寿命是一个非常重要的指标，它表征了硅料内部缺陷的多少，当然也就直接指出了太阳能电池品质的好坏。由于电池制造过程又是不可逆的，那么在电池工艺之前就了解其品质是极其重要的，少子寿命测量就为此提供了非常直观可靠的依据。
其应用也很广泛，多晶铸锭去头尾、单晶硅棒截头尾、硅片少子寿命测量等，无论是半导体还是太阳能领域，它都是必备的检测设备。
少子寿命设备构成
既然是微波+脉冲激光，那必然就有微波模块、激光模块，对应的微波控制器和激光控制器，然后还有数据采集卡和接口电路。
而针对扫描式设备而言，就必然有电机、电机驱动电路和控制电路（电机卡）、导轨滑块、皮带齿轮、限位开关等等，整体构成了运动系统以支持设备带着测量头进行扫描操作。
少子寿命原理
硅材料少数载流子的寿命检测，是一个综合过程，包含激发载流子、微波信号反馈、数据采集及处理、电机系统管理、软件操作等。
其基本原理是通过一定波长并具有一定功率的脉冲激光，照射到硅材料表面，由于光生伏特效应，硅料内部会产生大量少数载流子，这些载流子在激光撤掉后趋于消失，而这个过程需要一定的时间，我们将这段时间叫做少数载流子寿命，也叫做弛豫时间常数（见《半导体工艺》一书）。
那么如何测量少子寿命呢？那就用到了微波，一定波长的微波具有穿透绝缘体而被导体反射的特性，因此在激光照射硅材料及撤掉激光的这个过程中，硅材料从近似绝缘体变成了近似导体，再由近似导体变成了近似绝缘体，而照在其上的微波也由于硅料的这种变化，呈现出震荡，如图：
由上图可见，受激光激发后载流子数量激增，因而反射回来的微波能量也响应增大，随着激光脉冲关闭，反射微波能量也随着降低，载流子数量趋于平衡态。
将这个振荡信号采集到电脑中，通过数据处理从而得到清晰、平滑的曲线，就是我们看到的少子寿命曲线了。而扫描式少子寿命测试仪的每个扫描点，都是这样的一个曲线组成的，然后取平均值后，再用相应色标进行画点操作，形成如下图的图像：
其中不同的颜色代表不同的数值，也就是不同的微波功率。
少子寿命的日常维护
少子寿命分开放式和封闭式两种，对于开放式少子寿命设备，主要是轻拿轻放，并将硅锭严格放到右下角，如果不对齐的话，很可能造成标尺不准确。
对于封闭式的设备，要小心不能碰到机器外壳边缘，否则极易造成崩边。
另外，需要定期对设备内部进行清理，设备由于长期使用会在设备里面造成各种杂志、螺丝等，需要定期进行清理，否则的话导致设备里面造成污染，对高度测量、微波反馈造成影响，从而影响准确性。
针对AutoSetting而言，由于硅锭的电阻率分布并不均匀，并且同一个炉子出来的不同锭其电阻率差别也比较大，如果采用固定频率的微波进行扫描，结果差别可能会比较大，因此就需要在硅锭的某一点上设定微波频率，然后用这个固定的微波频率来扫描响应的硅锭，这里我们是做了一个假设，即针对某一个硅锭而言，其电阻率分布是均匀的。
这样就有了一个问题，即针对某一点电阻率的微波设定，其反馈的微波功率是最强的，而针对其他点，微波反馈强度会有变化，因此以偏概全的对整个硅锭扫描的话，会导致数据并不真实，因此需要在第一次Autosetting的时候保证功率在50mv以上，如果有问题的话，就需要进行调整。
