4溅射式、谐振式、电容式压力传感器.

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抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递，压力直接作 用在陶瓷膜片的前表面，使膜片产生微 小的形变，厚膜 电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥(闭 桥)，由于压敏电阻的压阻 效应，使电桥产生一个与压力 成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号，传 感器自带温度补偿0～70℃，并可以和绝大多数介质 直接 接触。
• 安装方法 差压变送器如果直接安装在测量点上，可由连接管支撑，也可以 安装在表盘上或者用安装支架把它安装在2″管子上。为了确保接头的 密封，在密封时应按下面的步骤操作；在紧固两只螺栓时，应交替用 扳手拧紧，其最后拧紧力大约为40N.m切勿一次拧紧一只螺钉 。有时 为了安装上的方便变送器本体上的压力容室可转动。只要压力容室处 于垂直面，则变送器本体的转动不会产生零位的变化。如果压力容室 水平安装时，必须消除由于引压管高度不同而引起的液柱压头的影响， 即重调变送器的零位。变送器可借助三种安装板中的一种，安装在墙 上或50mm-60mm的管道上，安装时只要使变送器表面垂直地面，这 时变送器不论作任何位置变化，都不会引起零位漂移。若不能Leabharlann Baidu持变 送器垂直时，会引起零位的微小变化，但在变送器安装固定后，重新 检查和调整零位，仍可达到规定的精度。
谐振式压力传感器
EJA压力变送器
采用微电子加工技术（MEMS）在一个单晶硅芯片表面的中心和边缘制作两个形状、尺 寸、材质完全一致的Ｈ形状的谐振梁，谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡（如图1）。 单晶硅片的上下表面受到的压力不等时，将产生形变，导致中心谐振梁因压缩力而频率 减小，边缘谐振因受拉伸力而频率增加（如图２）。两频率之差信号直接送到CPU进 行数据处理，然后： （１）经D/A转换成4-20mA输出信号； （２）直接输出符合现场总线（Fieldbus Foundation TM）标准的数字信号。
微机械氮化硅谐振梁式压力传感器由包含氮化硅梁谐振器 的上硅片和作为压力膜的单晶硅下硅片组成。二者通过硅硅键 合成一整体。氮化硅梁封装于真空(10-3 Pa ,绝压传感器)或非真 空(差压传感器) 之中,硅膜另一边接待测压力源。 膜四周与管座刚性连接,可近似看成四边固支矩形膜。当压 力作用于压力膜时,膜两端存在压差,膜感受均布压力P ,将发生形 变,膜内产生应力。与膜紧贴的梁也会感受轴向应力,这个应力将 改变梁的固有谐振频率。在一定范围内,固有谐振频率的改变与 轴向应力以及外加压力三者之间有很好的线性关系。因此,通过 检测梁的固有谐振频率,就可达到压力检测的目的。 为了测定谐振频率,通常对梁施加交流激振信号,使梁作受 迫振动,并检测梁的振动信号(称为拾振) 。谐振式压力传感器的 激振方式有以下几种:静电激振、电热激振、光热激振、电磁激 振、压电激振等,相应的有静电(电容) 拾振、压阻拾振、光学拾 振、电磁拾振、压电拾振等拾振方式。
产品介绍
• EJA110A差压变送器 EJA110A差压变送器用于测量液体、气体和蒸汽的液位、密度和压力，然 后将其转变成4-20mADC的电流信号输出。EJA110A也可以通过BRAIN手 操器或CENTUM CS/μXL或HART 275手操器相互通讯，通过它们进行设 定和监控等。 EJA120A微差压变送器 EJA120A微差压变送器用于测量微小差压，然后将其转变成4-20mADC的 电流信号输出。EJA120A也可以通过BRAIN手操器或CENTUM CS/μXL或 HART 275手操器相互通讯，通过它们进行设定和监控等。 • EJA130A高静压差压变送器 EJA130A高静压差压变送器用于测量液体、气体和蒸汽的液位、密度和压 力，然后将其转变成4-20mADC的电流信号输出。EJA130A也可以通过 BRAIN手操器或CENTUM CS/μXL或HART 275手操器相互通讯，通过它 们进行设定和监控等。
通用溅射薄膜压力传感器
中国电子科技集团公司第四十八研究所
高温压力传感器
低温压力传感器
压力温度一体化传感器
差压传感器
绝压传感器
厚膜压力传感器
• 一体化厚膜压力传感器是国际上近年来才试制成功的第三 代陶瓷压力传感器。 • 一体化厚膜压力传感器克服了普通厚膜压力传感器芯片与 陶瓷环采用黏结工艺的缺点, 是而采用芯片与陶瓷环实现 一体化，从而使传感器的线性、重复性和迟滞性有显著的 提高。 • 传感器的可靠性、稳定性和工作温度范围大大得到提高。 一体化厚膜压力传感器的优异性能，是压力传感器的发展 方向。
特
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点
世界首创—单晶硅谐振传感器 高精度： 0.075% 连续工作五年不需调校 温度影响可忽略不计 静压影响可忽略不计：当加有静压（工作压力）时，两形状、 尺寸、材质完全一致的谐振梁形变相同，故频率变化也一致， 故偏差自动清除 • 单向过压影晌：连续10万次单向过压实验后影响量< 0.03% 双向通讯功能（BRAIN/HART协议，FF现场总线） 完善的自诊断功能 • 过压特性优异：接液膜片与膜盒本体采用独创的波纹加工技术， 使外部压力增大到某一数值时，接液膜片能与本体完全接触， 硅油传递给传感器的压力不再随外力的增加而增加，从而达到 对传感器的保护作用。
• EJA510A绝对压力变送器和EJA530A压力变送器 EJA510A绝对压力变送器和EJA530A压力变送器用于测量气体、液体和蒸 汽的压力，然后将其转变成4-20mADC的电流信号输出。EJA510A和 EJA530A也可以通过BRAIN手操器或CENTUM CS/μXL或HART 275手操 器相互通讯，通过它们进行设定和监控等。
电容压力/差压变送器
• 1151电容压力/差压变送器
1151系列电容差压/压力变送器具有悠久的历史，并依其设计新颖、品种规格齐 全、安装使用简便、坚固耐振、长期稳定性好、单向过载保护能力强而著称。 广泛应用于电力、石油、化工、冶金、轻工、医药和环保等行业。包括：差压、 表压、绝压、液位和远传等变送器，可用于各种工业环境
溅射式压力传感器
• 采用耐腐蚀不锈钢制作成弹性体钢杯，将压力转换为应变。 利用离子束溅射技术在弹性膜片上分别淀积多层薄膜，采 用干法刻蚀技术将NiCr膜刻蚀成电阻桥。流体压力P1 （P2 为大气或真空）作用在弹性膜片上使膜片产生变形 ,电阻产 生相应的变化, 电桥输出与压力成比例的电信号。
主要技术特点 • • • • • 薄膜技术代替粘贴传感器中的粘贴工艺, 消除了胶的影响， 无蠕变、不老化。 耐蚀不锈钢与被测量介质直接接触，无须灌充油隔离。 弹性体和应变电阻材料都是金属材料, 温度特性好,传感器 工作温度范围宽。 耐强腐蚀。 产品体积小，功耗低，响应速度快。