一. 激光干涉仪概述
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,为机床误差修正提供依据。
二. 激光干涉仪原理
激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。
若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
三.激光干涉仪测量内径千分尺示值误差说明
示值误差采用测长机配激光干涉仪进行测量。测量时先在测长机头座和尾座的测杆上安装不小于~8 mm 的平面测帽,并将其两测帽的工作面调整平行。被检内径千分尺直接或借助支撑架安置在仪器工作台上,根据仪器的示值调整测微头的测量下限至正确位置。每次测量
均需调整工作台或支撑架至转折点读数。四.激光干涉仪测量内径千分尺示值误差方法
用激光干涉仪系统进行精确的线性测量 — 最佳操作及实践经验 1 简介 本文描述的最佳操作步骤及实践经验主要针对使用激光干涉仪校准机床如车床、铣床以及坐标测量机的线性精度。但是，文中描述的一般原则适用于所有情况。与激光测量方法相关的其它项目，如角度、平面度、直线度和平行度测量不包括在内，用于实现0.1微米即 0.1 ppm以下的短距离精度测量的特殊方法（如真空操作）也不包括在内。 微米是极小的距离测量单位。（1微米比一根头发的1/25还细。由于太细，所以肉眼无法看到，接近于传统光学显微镜的极限值）。可实现微米级及更高分辨率的数显表的广泛使用，为用户提供了令人满意的测量精度。尽管测量值在小数点后有很多位数，但并不表明都很精确。（在许多情况下精度比显示的分辨率低10-100倍）。实现1微米的测量分辨率很容易，但要得到1微米的测量精度需要特别注意一些细节。本文描述了可用于提高激光干涉仪测量精度的方法。 2 光学镜组的位置 光学镜的安放应保证其间距变化能够精确地反映待校准机器部件的线性运动，并且不受其它误差的影响。方法如下： 2.1 使Abbe（阿贝）偏置误差降至最低 激光测量光束应当与需要校准的准线重合（或尽量靠近）。例如，要校准车床Z轴的线性定位精度，应当对测量激光光束进行准直，使之靠近主轴中心线。（这样可以极大降低机床俯仰 (pitch) 或扭摆 (yaw) 误差对线性精度校准数据的影响。 2.2 将光学镜组固定牢靠 要尽量减小振动影响并提高测量稳定性，光学镜组应牢牢固定所需的测量点上。安装支柱应尽可能短，所有其它紧固件的横截面都应尽量牢固。磁力表座应直接夹到机床铸件上。 避免将其夹到横截面较薄的机器防护罩或外盖上。确保紧固件表面平坦并没有油污和灰尘。 2.3 将光学镜组直接固定在相关的点上 材料膨胀补偿通常只应用在与测量激光距离等长的材料路径长度上。如果测量回路还包括附加的结构，该―材料死程‖的任何热膨胀或收缩或因承载而发生的偏斜都将导致测量误差。为尽量减少此类误差，最好将光学镜组直接固定到所需的测量点上。在机床校准中，一个光学镜通常固定在工件夹具上，而另一个光学镜组则固定在刀具夹具上。激光测量将会精确地反映刀具和工件之间发生的误差。即使机器防护系统和机器盖导致难于接近，也一定要尽量将干涉镜和角锥反射镜都固定到机器上。不要将一个光学镜安装在机器内部而另一个安装在外部如支在机器外地面的三脚架上，因为整台机器在地基上的移动可能导致校准无效。然而，是否拆下导轨防护罩时需仔细考虑，因为这可能改变机器性能。
千分尺检校规程 1 范围 本规程适用于本公司千分尺的内部检定。 2 引用文件 本规程引用下列文件： GB/T 1216-2004 外径千分尺 GB/T 20919-2007 电子数显外径千分尺 JJG21-2008 千分尺检定规程 3 概述 千分尺是由尺架、测砧、测微螺杆、测力装置、锁紧装置和读数装置等组成。如图1,2,3所示。千分尺是应用螺旋副传动原理，将回转运动变为直线运动的一种量具，主要用来测试各种外尺寸。
4 技术要求 4.1 外观 4.1.1 千分尺及其校对用的量杆不应有锈蚀、碰伤、带磁或其他缺陷，标尺刻线应清晰、均匀，数显外径千分尺数字显示应清晰、完整。 4.1.2 千分尺应附有调整零位的工具，测量上限大于或等于25mm的千分尺应附有校对用的量杆。千分尺应具有测力装置、隔热装置和锁紧装置。校对量杆应有隔热装置。 4.1.3 千分尺上应标有分度值、测量范围、制造厂名（或厂标）及出厂编号。 4.1.4 后续检定和使用中检验的千分尺及其校对用的量杆不应有影响使用准确度的外观缺陷。 4.2 各部分相互作用 4.2.1 微分筒转动和测微螺杆的移动应平稳无卡滞现象。 4.2.2 调零和锁紧装置的作用应切实有效。 4.2.3 带有表盘的千分尺，表针移动应灵活、无卡滞现象。 4.2.4 数显外径千分尺各工作按钮应灵活可靠。 4.3 各部分相对位置 4.3.1 微分筒锥面棱边至固定套管刻线表面的距离应不大于0.4mm。 4.3.2 微分筒锥面的端面与固定套管毫米刻线的相对位置 当测量下限调整正确后，微分筒上的零刻线与固定套管纵刻线对准时，微分筒的端面与固定套管毫米刻线右边缘应相切，如不相切，压线不大于0.05mm，离线不大于0.1mm。 4.3.3 数显外径千分尺的示值重复性应不大于1μm。 4.3.4 数显外径千分尺任意位置时的数值偏移应不大于1μm/h。 4.3.5 示值误差 外径千分尺示值的最大允许误差不超过表1规定。 壁厚千分尺示值的最大允许误差应不超过±8μm。 数显外径千分尺示值的最大允许误差应不超过表2规定。
涉 2 θ M2 实验8 迈克尔逊干涉仪测量He-Ne激光波长（306） 一、实验目的： 1、了解迈克尔逊干涉仪的结构、原理和调节使用方法； 2、了解光的干涉现象；观察、认识、区别等倾干涉 3、掌握用迈克尔逊干涉仪测He－Ne激光的波长的方法。 二、实验仪器 迈克耳逊干涉仪；He－Ne激光器 三、实验原理 如图2示，从光源S发出的光束射向分光板G1， 被G 1底面的半透半反膜分成振幅大致相等的反射光1 和透射光2，光束１被动镜M2再次反射回并穿过G1到达 E；光束2穿过补偿片G2后被定镜M1反射回，二次穿过 G 2到达G 1 并被底层膜反射到达E；最后两束光是频率相 同、振动方向相同，光程差恒定即位相 差恒定的相干光，它们在相遇空间E产 生干涉条纹。 由M１反射回来的光波在分光板G１的 第二面上反射时，如同平面镜反射一样， 使M１在M２附近形成M１的虚像M１′，因而 光在迈克尔逊干涉仪中自M２和M１的反射 相当于自M２和M１′的反射。由此可见， 在迈克尔逊干涉仪中所产生的干涉与空 气薄膜（M２和M１′之间所夹）所产生的干 涉是等效的。 当M２和M１′平行时(此时M１和M２严格 互相垂直)，将观察到环形的等倾干涉条 纹。一般情况下，M２和M１′形成一空气劈尖，因此将观察到近似平行的等厚干涉条纹。 1、单色光的等倾干涉
激光器发出的光波长为λ，经凸透镜L 后会聚S 点。S 点可看做一点光源，经G １、M １、M ２′的反射，也等效于沿轴向分布的2个虚光源S １′、S ２′所产生的干涉。因S １′、S ２′发出的球面波在相遇空间处处相干，所以 观察屏E 放在不同位置上，均可看到干涉条纹， 故称为非定域干涉。 当E 垂直于轴线时(见图2)， 调整M １和M ２的方位使相互严格垂直，则可观察到 等倾干涉圆条纹。 迈克尔逊干涉仪所产生的环形等倾干涉圆条纹的位置取决于相干光束间的光 程差，而由M ２和M １反射的两列相干光波的光程差为 δ＝2dcos θ …… （1） 其中θ为反射光⑴在平面镜M ２上的入射角。 由干涉明纹条件有 2dcos θｋ＝k λ …… （2） (考虑到θ较小，) （1） d 、λ一定时，若θ = 0，光程差δ = 2d 最大，即圆心所对应的干涉级次最高，从圆心向外的干涉级次依次降低； （2） k 、λ一定时，若d 增大，θ随之增大，可观察到干涉环纹从中心向外“涌出”， 干涉环纹逐渐变细，环纹半经逐渐变小；当d 增大至光源相干长度一半时，干涉环纹越来越细，图样越来越小，直至消失。 反之，当 d 减小时，可观察到干涉环纹向中心“缩入”。 当 d 逐渐减小至零时，干涉环纹逐渐变粗，干涉环纹直经逐渐变大，至光屏上观察到明暗相同的视场。 （3） 对θ = 0的明条纹，有：δ=2d = kλ可见每“涌出”或“缩入” 一个圆环，相当于S 1S 2的光程差改变了一个波长Δδ=λ。 当d 变化了Δd 时，相应地“涌出”（或“缩入”）的环数为 Δk，从迈克尔逊干涉仪 附图1 d 变化时，等倾干涉条纹的变化特征
杠杆千分表检定规程 内容来源网络，由“深圳机械展（11万㎡，1100多家展商，超10万观众）”收集整理！更多cnc加工中心、车铣磨钻床、线切割、数控刀具工具、工业机器人、非标自动化、数字化无人工厂、精密测量、3D打印、激光切割、钣金冲压折弯、精密零件加工等展示，就在深圳机械展. 1.目的：指导和规范检定人员正确的从事千分尺的检定修理工作。 2.适用范围：适用于计量室检定人员在其岗位上从事的千分尺量具的检定修理工作。 3.人员要求该项操作人员应具有高中及以上文化程度，并经上级计量管理部门考核合 格，取得"千分尺量具"计量检定员证书的计量检定人员。 4.工装量具杠杆千分尺、杠杆百分表或百分表、平板、专用测力仪、塞尺、表面粗糙 度样板、二级平晶、一级刀口尺、平行平晶、四等五等量块、刚球检具、光学计、测长机，以及相应的修理工具，汽油、麂皮等工具用品。 5.准备工作 (1) 根据被检游标量具的量程选取相应的量块，检查量块证书是否再有效期内。 (2) 观察检定室内温、湿度是否达到检定规程的要求即(20±2)℃。应把温湿度实测值填入《标准装置使用记录》和《千分尺量具检定记录》。
6.检定与修理 (1) 外观检查用目力观察，千分尺应有分度值、制造厂名、工厂标志和出厂编号。 (2.)各部分相互作用应适应检定规程中4.1、4.2的要求。 (3) 测微螺杆的轴向串动和径向摆动均不大于0.01mm。 (4) 测砧与测微螺杆工作面相对偏移量应不大于《千分尺量具检定规程》中表3的规定。 (5) 千分尺的测力应在6-10N范围内，用分度值不大于0.2N的专用测力机检定。 (6)微分筒锥面的断面棱边至固定套管刻线面的距离应不大于0.4mm。检定时应用塞尺与固定套管刻线表面用比较法检定，微分筒转动一周内不少于三个位置上进行。 (7) 微分筒锥面的端面与固定套管毫米刻线的相对位置应适合《千分尺量具检定规程》中表11.1、11.2的规定。 (8) 工作面的表面粗糙度：外径千分尺和校对量杆的工作面的表面粗糙度Ra应不大于0.05μm。用粗糙度比较样板以比较法检定。 (9)工作面的平面度应适应《千分尺量具检定规程》中13.1、13.2的规定。 (10)工作面的平行度，当外径千分尺锁紧装置紧固与松开时的千分尺两工作面的平行度应不大于《千分尺量具检定规程》中表4和14.2的规定。 (11) 示值误差应不超过检定规程中15.1、16.1的要求。 (12) 各项检定结果均填入《千分尺检定记录》。 (13) 检定结果符合规程技术要求的未检定合格填写计量合格标签，粘贴在被检千分尺的绝热板上。 (14) 检定不符合规程技术要求的量具要对不合格项目进行反复的修理和检定。 (15) 对损坏严重的确实无法修复的应填写《计量报废通知单》经计量室负责人审批后给予报废。被检量具粘贴"禁用"标签。
JJG1-1999 钢直尺检定规程Verification Regulation of Steel Rule JJG2-1999 木直(折)尺检定规程V.R. of Wooden Rule (Wooden Folded Rule) JJG4-1999 钢卷尺检定规程V.R.of Steel Tape JJG5-2001 纤维卷尺、测绳检定规程V.R.of Fiber Tapes and Measuring Ropes JJG7-2004 直角尺检定规程V.R.of Squares JJG8-1991 水准标尺检定规程V.R.of Level Rod JJG10-2005 专用玻璃量器检定规程V.R.of Special Glassware JJG13-1997 模拟指示秤检定规程V.R.of Analogue Indication Weighing Instruments JJG14-1997 非自动指示秤检定规程V.R.of Non-self-indication Weighing Instruments JJG16-1987 邮用秤试行检定规程V.R.of Postal Scale JJG17-2002 杆秤检定规程V.R.of Steelyard Scale JJG18-1990 医用注射器检定规程V.R.of Glass Syringes for Medical Use JJG18-2008 医用注射器检定规程V.R.of Glass Syringes for Medical Use JJG19-1985* 量提检定规程V.R.of Volumetric Cylinder With Handle JJG20-2001 标准玻璃量器检定规程V.R.of Standard Capacity Measures(glass) JJG21-1995 千分尺检定规程V.R.of Micrometer JJG21-2008 千分尺检定规程V.R.of Micrometer JJG22-2003 内径千分尺检定规程V.R.of Internal Micrometers JJG24-2003 深度千分尺检定规程V.R.of Depth Micrometers JJG25-2004 螺纹千分尺检定规程V.R.of Screw Therad Micrometer JJG26-2001 杠杆千分尺、杠杆卡规检定规程V.R.of Micrometers with Dial Comparater and Indicating Snap Gauge JJG28-2000 平晶检定规程V.R.of Optical Flats JJG30-2002 通用卡尺检定规程V.R.of Vurrent Calipers JJG31-1999 高度卡尺检定规程V.R.of Height Gauge JJG33-2002 万能角度尺检定规程V.R.of Universal Bevel Protactors JJG34-1996 指示表(百分表和千分表)检定规程V.R.of Dial Gauges(reading in 0.01mm and 0.001mm)[过期] JJG34-2008 指示表（指针式、数显式）检定规程Dial Ganges(dial and digital) JJG35-2006 杠杆表检定规程V.R.of Dial Test Indicator JJG37-2005 正弦规检定规程V.R.of Sine Bars JJG39-2004 机械式比较仪检定规程V.R.of Comparator of Machinery Type JJG40-2001 X射线探伤机检定规程V.R.of X-Ray Flaw Detectors JJG41-1990 三针检定规程V.R.of Thread Measuring Wires[过期] JJG42-2001 工作玻璃浮计检定规程V.R.of Working Glass Hydrometers JJG45-1999 光学计检定规程V.R.of Optimeter JJG46-2004 扭力天平检定规程V.R.of Torsion Balance JJG47-1990 抖晃仪检定规程V.R.of Wow Flutter Meter JJG48-2004 硅单晶电阻率标准样片检定规程V.R.of Standard Slice of Single Crystal Silicon Resistivity JJG49-1999 弹簧管式精密压力表和真空表检定规程V.R.of Bourdon Tube Precision Pressure Gauge and Vacuum Gauge JJG50-1996 石油产品用玻璃液体温度计检定规程V.R.of Liquid-in-Glass Thermometer for Petroleum Products
一文弄懂激光干涉仪与激光平面干涉仪 很多朋友弄不清激光干涉仪与激光平面干涉仪的区别，主要是很多时候，客户把激光平面干涉仪简称为激光干涉仪，到网上一搜，发现激光干涉仪全是用来检测导轨运动精度的，不是自己需要的激光平面干涉仪，今天小编就告诉大家如何区分这两种激光干涉仪。 激光干涉仪 1.测量原理
▲线性测量的光路原理构建图 (1)从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光 （线偏振光）； (2)两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回， 通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件； (3)角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距 离等于干涉条纹数乘以激光半波长。 2.功能 SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。 3.应用 激光干涉仪可广泛用于数控机床、直线电机、电动滑台、线性模组、三坐标、自动化加工设备等运动精度检测。
▲SJ6000激光干涉仪检测数控机床 ▲SJ6000激光干涉仪检测线性模组
▲SJ6000激光干涉仪用于自动化设备装调 激光平面干涉仪 1.测量原理
厨 ｆ静堂鸯溅斌技术）２００７亭第弘誊第｛Ｏ麓 激光干涉仪使用技巧 Ｐｒｅｃｉｓｅ Ｇ口洫ｔｏ Ｖｓｉｎｅ ａ Ｌａｓｅｒ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ 魏纯 （广州市计最检测技术研究院，广东广州５１００３０） 瓣萎：本文讨论了激光予涉仪在使用巾的准直等技礴，用户在实际使用中增加葺芒件以及维护巾邋蓟的同舔。燕键词：激光平涉仪；准直 ｌ引言高性能激光干涉仪具有快速、高准确测量的优点，是校准数字机床、坐标测量机及其它定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器，弦者所在单位使用的是英国ＲＥＮＩＳＨＡＷ公闭生产的ＭＬｌ０激光干涉仪，具有性能稳定，使罱方便等特点。 通过较长时闯使用，作者认为测量人员除了要考虑环境、温度、原理等影响测量的常规因素外，掌握一些激光干涉仪的使用技巧会使测量互作事半功倍。 ２原理介绍
ＭＬｌ０激光干涉仪是根据光学千涉基本原理设计磊成酌。从ＭＬｌ０激光器射出的激光束有单一频率，其标称波长隽０．６３３ｐＬＩｎ，且其长期波长稳定健（真空状态）要高于０．１ｐｐｍ。当此光束抵达偏振分光镜时，会被分为两道光束一一道反射光糯一道透射光。这两道光射向其反光镜，然后透过分光镜反射圈去，在激光头内的探测器形成一道干涉光束。若光程差没有任俺变讫，探测器会在樵长性秘楣潢性于涉的两极找到稳定的信号。若光程差确实有变化，探测器会在 每一次光程改变时，在相长性和相消性干涉的弼极找 到变动的信号。这些变化（援格）会被计算并用来测量两个光程闻的差异变化。测量的光程就是栅格数乘以光束大约一半的波长。 值褥注意的是，激光束的波长取决于所通过敖空气折射率。由于空气折射率会随着温度、压力和相对湿度而变化，用来计算测蹩值的波长值可能需要加以李｝偿，以配合这魍环境参数豹改变。实际上就测量准确度而言，此类补偿在进行线性位移（定位精度）测量，特别是量程较大时，非常重要。３激光干涉仪使用技巧 ３．１ Ｚ轴激光光路快速准直方法 用激光干涉仪进行线性测量时，无论是数字机 床、还是坐标测燮枫，ｚ轴测量酵激光光路的礁童榻对Ｘ、Ｙ轴准直来说，要困难的多。尤其是在ｚ轴距离较长的情况下，要保证激光光束经反射镜反射后回到激 先探测器的强度满足测量对对光强的要求，准妻激光光路往往需要很长时间。 根据作者长期使用的经验，按照“离处动尾部，低处动整体”的调整方法，将会大大缩短漆直时闻。（“尾部”是指ＭＬｌ０激光器电源接口边上的倾斜度调蹩旋钮和三兔架云台上的旋转微调控制旋锂，“整体”是指三
激光干涉仪概述 SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，
为机床误差修正提供依据。 激光干涉仪性能特点 1.测量精度高、速度快，稳定性好 ①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm) ②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级 ③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。 ④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度 ⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变 2.应用范围广 ①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测 ②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析 ③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析 3.软件界面友好 ①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。 ②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
量具内校记录表（外径千分尺类） 千分尺类型槽径千分尺校准员喻宇文校准日期年月日 本厂编号测量 范围 mm 分度值mm 制造厂家 出厂编号校准 依据 JJG21-2008千 分尺检定规程 校准 地点 质量部 校准 条件 温度湿度 校准时所用计量标准量块 计量标准 证书编号 有效期2013 年月日 校准项目 序号校准项目规程要求结果 1 外观无影响使用准确度的外观缺陷 2 各部分相互作用微分筒转动和测微螺杆的移动平稳无卡滞摩擦现象 3 测力手感无异样 4 测量面的平面度普通的不大于0.6um 数显的不大于0.3 um 5 数显千分尺的示值重复性不大于1um 6 数显千分尺的细分误差不超过±2 um 7 微分筒端面和固定套管刻 线的相对位置 压线小于0.05 mm 离线小于0.1 mm 8 示值 误差 校准点（mm）A+5.12 A+10.24 A+15.36 A+21.50 A+25 误差（um） 千分尺类型数显外径千分尺校准员喻宇文校准日期2012 年月日 本厂编号测量 范围 mm 分度值mm 制造厂家 出厂编号校准 依据 JJG21-2008千 分尺检定规程 校准 地点 质量部 校准 条件 温度湿度 校准时所用计量标准量块 计量标准 证书编号 有效期2013 年月日 校准项目 序号校准项目规程要求结果 1 外观无影响使用准确度的外观缺陷 2 各部分相互作用微分筒转动和测微螺杆的移动平稳无卡滞摩擦现象 3 测力手感无异样 4 测量面的平面度普通的不大于0.6um 数显的不大于0.3 um 5 数显千分尺的示值重复性不大于1um 6 数显千分尺的细分误差不超过±2 um 7 微分筒端面和固定套管刻 线的相对位置 压线小于0.05 mm 离线小于0.1 mm 8 示值 误差 校准点（mm）A+5.12 A+10.24 A+15.36 A+21.50 A+25 误差（um）
一、用途 激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。仪器配有激光光源（波长为632.8nm）。对于干涉条纹可目视、测量读数。工作时对防震要求一般。该仪器可应用与光学车间、实验室、计量室。 如需配购相关的必要附件，可精密测量光学平面的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度，90度棱镜的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。 二、主要数据 1. 第一标准平面（A面）,不镀膜。工作直径：D1=φ146mm 不平度小于0.02um 2.第二标准平面（B面），不镀膜。工作直径：D2=φ140mm 不平度小于0.03um 3.准直系统：孔径F/2.8，工作直径：D0=φ146mm 焦距：f=400mm 4.测微目镜：焦距f=16.7mm，放大倍数β=15X，视场角2W=40°， 成像物镜：1.D=4.5 II.D=7 III.D=10 F=15 f=23 f=37 5.工作波长：632.8nm 6.干涉室尺寸：深260X宽300X190mm。 7.光源规格：激光ZN18（He-Ne）。 8.仪器的外形尺寸：长X宽X高 350X400X720mm
9.仪器重量：100公斤 图一第一标准平面（A面）精度照片 图二第二标准平面（B面） 三、工作原理 本仪器工作基于双光束等厚干涉原理。
根据近代光学的研究结果，光兼有波动与颗粒两重特性。光的干涉现象是光的波动性的特性。因此，介绍本节内容时，仅在光的波动性的范围内讨论，例如，把“光”称为“光波”，“平行光”称为“平面光”。 波长为的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波M。（如图三所示），经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和 M2。M1、M2即为两相干光波，重叠后即产生等厚干涉条纹。 等厚干涉原理 能够产生干涉的光束，叫相干光。相干光必须满足三个条件：1.震动方向必须一致，2.频率相等：3.光束必须相遇，且在相遇点处的相位差在整个时间内为一常量。如图三（3）基准面P1，被测面为P2.当平行光束是S-S射到基准面P1上时，其中一部分反射为S′-S′， 另一部分折射为B-F，进入基准面和被测面之间的空气层内，经被测零件的上表面P1反射之后，沿方向S′-S′射出。 两束光在C点处相遇，其光程差为：
第一章、前言 一、本次我们主要研究：如何检测机床的螺距误差。因此我们主要的任务在于： 1. 应该使用什么仪器进行测量 2. 怎么使用测量仪器 3. 怎么进行数据分析 4. 怎么将测量所得的数据输入对应的数控系统 二、根据第一点的要求，我们选择的仪器为：Renishaw 激光器测量系统，此仪器检测的范围包括： 1. 线性测量 2. 角度测量 3. 平面度测量 4. 直线度测量 5. 垂直度测量 6. 平行度测量 线性测量：是激光器最常见的一种测量。激光器系统会比较轴位置数显上的读数位置与激光器系统测量的实际位置，以测量线性定位精度及重复性。 三、根据第二点的解释，线性测量正符合我们检测螺距误差的要求。因此，我们此次使用的检测方法——线性测量。 总结以上我们的核心在于：如何操作Renishaw 激光器测量系统结合线性测量的方法进行检测，之后将检测得到的数据进行分析，最后将分析得到的数据存放到数控系统中。这样做的目的在于——提高机床的精度。 - 1 - 第二章、 2.1 什么是螺距误差？ 基础知识 开环和半闭环数控机床的定位精度主要取决于高精度的滚珠丝杠。但丝杠总有一定螺距误差，因此在加工过程中会造成零件的外形轮廓偏差。
由上面的原因可以得知： 螺距误差是指由螺距累积误差引起的常值系统性定位误差。 2.2 为什么要检测螺距误差？ 根据2.1节，检测螺距误差是为了减少加工过程中造成零件的外形轮廓偏差，即提高机床的精度。 2.3 怎么检测螺距误差？ （1）安装高精度位移检测装置。 （2）编制简单的程序，在整个行程中顺序定位于一些位置点上。所选点的数目及距离则受数控系统的限制。 （3）记录运动到这些点的实际精确位置。 （4）将各点处的误差标出，形成不同指令位置处的误差表。（5）多次测量，取平均值。 （6）将该表输入数控系统，数控系统将按此表进行补偿。 2.4 什么是增量型误差、绝对型误差？ ①增量型误差 增量型误差是指：以被补偿轴上相邻两个补偿点间的误差差值为依据来进行补偿②绝对型误差 绝对型是误差是指：以被补偿轴上各个补偿点的绝对误差值为依据来进行补偿2.5 螺距误差补偿的原理是什么？ 螺距误差补偿的基本原理就是将数控机床某轴上的指令位置与高精度位置测量系统所测得的实际位置相比较，计算出在数控加工全行程上的误差分布曲线，再将
千分尺的检定/校准作业指导书 依据：JJG21─2008千分尺检定规程 注意事项： 检定过程必须带手套，防止标准器生锈。标准器应放在干燥和温度适宜的检定室内，注意保持清洁，使用前应将各工作面用汽油擦试干净。每次使用完毕必须用汽油擦洗干净并涂上防锈油，放入盒内。检定条件： 温度（20±3）℃湿度：不超过70％RH 应将被检卡尺及量块等检定用设备同时置于平板或木桌上，其平衡温度3h。（根据测量范围～100mm） 外观： 标尺标记清晰，无目力可见的断线或粗细不均。数显千分尺数字显示应清晰、完整，无黑斑和闪跳现象。各按钮功能稳定、工作可靠。各部分相互作用： 主要指微分筒转动和测微螺杆的移动应平稳、无摩擦，在测力的作用下全程运行灵活，不得有卡住，或一段行程灵活、一段行程不灵活等现象。千分尺的锁紧装置作用要可靠，能保证测微丝杆运行到任何部位都能可靠止动；对大于300mm的千分尺可调或可换测砧的调整或装卸应顺畅，。 测微螺杆的轴向窜动和径向摆动： 测微螺杆的轴向串动和径向摆动均不大于0.01 mm。 一般情况下凭手感觉，左手拿住千分尺弓架，右手拿住活动套管
前后推拉和左右摆动，只要感到有活动量就说明测微螺杆有轴向窜动和径向摆动。 轴向串动用杠杆千分表检定。检定时，杠杆千分表与测微螺杆测量面接触，沿测微螺杆轴向方向分别往返加力3N～5N。杠杆千分表示值的变化，即为轴向窜动量。 径向摆动用杠杆千分表检定。检定时，将测微螺杆伸出尺架10mm后，使杠杆千分表接触测微螺杆端部，再沿杠杆千分表测量方向加力2N～3N，然后在相反方向加同样大小的力，此时杠杆千分表示值的变化，即为径向摆动量。 测力： 用分度值不大于0.2N的专用测力计校准。校准时，使测量面与测力计的球工作面接触后进行。千分尺的测力应为（5～10）N 微分筒锥面的端面与固定套管毫米刻线的相对位置： 当微风筒零刻线与固定套管纵刻线对准后，微风筒锥面的端面与固定套管毫米刻线的右边缘应相切，若不相切，压线不超过0.05mm，离线不超过0.1 mm。 测量面的平面度：
分类分 类2 编号规程名称代替地址 C JJG1-1999钢直尺检定规程 Verification Regulation of Steel Rule JJG1-1989 JJG397-1985https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-654-1-58.html C JJG2-1999木直(折)尺检定规程V.R. of Wooden Rule (Wooden Folded Rule) JJG2-1986 JJG3-1984 JJG43-1986 https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-4751-1-21.html C JJG4-1999钢卷尺检定规程V.R.of Steel Tape JJG4-1989 JJG398-1995 JJG399-1985 https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-648-1-58.html C JJG5-2001纤维卷尺、测绳检定规程V.R.of Fiber Tapes and Measuring Ropes JJG5-1992 JJG6-1983https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-3933-1-36.html C JJG7-2004直角尺检定规程V.R.of Squares JJG7-1986 JJG61-1980https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-649-1-58.html C JJG8-1991水准标尺检定规程V.R.of Level Rod JJG8-1992https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-650-1-58.html L r JJG10-2005专用玻璃量器检定规程V.R.of Special Glassware JJG10-1987 JJG11-1987 JJG12-1987 JJG284-1982 JJG514-1987 https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-1828-1-52.html L m JJG13-1997模拟指示秤检定规程V.R.of Analogue Indication Weighing Instruments JJG13-1986 JJG9-1986 JJG578-1988 https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-852-1-57.html L m JJG14-1997非自动指示秤检定规程V.R.of Non-self-indication Weighing Instruments JJG14-1985 JJG15-1985 JJG667-1990 https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-478-1-64.html L m JJG16-1987邮用秤试行检定规程V.R.of Postal Scale https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-1724-1-52.html L m JJG17-2002杆秤检定规程V.R.of Steelyard Scale JJG17-1986https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-3318-1-42.html L r JJG18-1990医用注射器检定规程V.R.of Glass Syringes for Medical Use JJG18-1980https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-1205-1-54.html L r JJG18-2008医用注射器检定规程V.R.of Glass Syringes for Medical Use JJG18-1990https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-104480-1-1.html L r JJG19-1985*量提检定规程V.R.of Volumetric Cylinder With Handle JJG19-1958https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-4029-1-33.html L r JJG20-2001标准玻璃量器检定规程V.R.of Standard Capacity Measures(glass) JJG20-1989https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-479-1-64.html C JJG21-1995千分尺检定规程V.R.of Micrometer JJG21-1986 JJG379-1985 JJG380-1985 https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-186-1-65.html C JJG21-2008千分尺检定规程V.R.of Micrometer JJG21-1995https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-44799-1-1.html C JJG22-2003内径千分尺检定规程V.R.of Internal Micrometers JJG22-1991https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-480-1-64.html C JJG24-2003深度千分尺检定规程V.R.of Depth Micrometers JJG24-1986https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-651-1-58.html C JJG25-2004螺纹千分尺检定规程V.R.of Screw Therad Micrometer JJG25-1987https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-481-1-64.html C JJG26-2001杠杆千分尺、杠杆卡规检定规程V.R.of Micrometers with Dial Comparater and Indicating Snap Gauge JJG26-1986 JJG27-1980https://www.doczj.com/doc/ce18253593.html,/thread-482-1-64.html
镭射干涉仪操作手册
手册内容 一.RENISHAW 公司简介 1 二.镭射干涉仪原理 2 (1)波的速度 3 (2)干涉量测原理 3 (3)镭射干涉仪 4 (4)镭射干涉仪一般量测项目 4 三.注意事项 5 四.镭射干涉仪防止误差及保养 5 (1)镭射干涉仪防止误差 5 (2)镭射干涉仪保养方法 6 五.安全及注意事项 6 六.镭射光原理及特性7 七.镭射硬件介绍8 八.镭射架设流程图15 九.定位量测原理及操作16 (1)线性定位量测原理16 (2)量测方式17 十.镭射易发生之人为架设误差20 (1)死径误差20 (2)余弦误差21 (3)阿倍平移误差21 十一.镭射操作之步骤22 (1)软件安装之步骤22 (2)执行量测软件22 (3)定位量测硬件架设之操作23 (4)镜组架设前之注意事项24 (5)镜组架设之步骤24 十二.定位量测之程序范例29 十三.定位量测之软件操作步骤30 热漂移量测38 快速功能键44 十四.动态软件量测之操作45 (1)动态量测硬件之架设45 (2)执行量测之软件46 (3)位移与时间48 (4)速度与时间49 (5)加速度与时间50 十五.角度量设之操作52 (1)注意事项52 (2)镜组架设的种类53 (3)镜组架测之步骤54 (4)角度量测之软件操作步骤57 十六.RX10旋转轴之量测62 (1)说明62
(2)硬件配件之介绍62 (3)硬件操作之步骤64 (4)软件操作之步骤67 十七.直度量测之操作75 (1)直度之分类75 (2)直度量测之硬件架设75 (3)镜组架设之步骤75 (4)直度软件之操作步骤80 十八.Z轴直度镜组织架设方法85 十九.垂直度量测之操作89 (1)垂直度镜组架设之步骤89 (2)软件操作之步骤95 二十.平面度量测之原理与操作101 (1)硬设备101 (2)操作之原理102 (3)镜组架设之步骤102 (4)软件操作之步骤110
菲恩（江门）科技有限公司 千分尺校准规范 文件编号： 发布日期： 实施日期： 1、目的 对内部的千分尺校准，确保准确度和实用性保持完好。 2、规范性引用文件 本规范引用下列文件： JJG 21-2008 通用卡尺检定规程。 3、范围 本规范适用于公司内部分度值为0.01mm，测量上限到500mm外径机械千分尺；测量上限至25mm的板厚、壁厚千分尺；以及分辨力为0.001mm,0.0001mm，测量上限至500mm的数显千分尺校准。 4、校准条件 校准测量范围不大于100mm的外径千分尺，其室内温度和被检千分尺在室内平衡温度的时间，应符合 5、通用技术要求 5.1外观 5.1.1千分尺及其校准用的量杆不应碰伤、锈蚀、带磁或其它缺陷，标尺刻线应清晰、均匀，数显外径千分 尺数字显示应清晰、完整。 5.1.2千分尺应有调整零位的工具，测量上限大于或等于25mm的千分尺应附有校对用的量杆。千分尺应具 有测力装置，隔热装置和锁紧装置。校对量杆应有隔热装置。 5.1.3千分尺应标有分度值、测量范围、制造厂商（或厂标）及出厂编号 5.1.4后续校准和使用中检验的千分尺及其校对用的量杆不应有影响使用准确度的外观缺陷。 4.2各部分的相互作用 4.2.1微分筒传动和测微杆的移动应平稳无卡滞现象。 4.2.2可调或可换测砧的调整和装卸应顺畅，作用要可靠，调零和锁紧装置的作用应切实有效。 4.2.3数显外径千分尺，各工作按钮应灵活可靠。 6计量性能要求与校准方法 5.1示值误差 5.1.1外径千分尺示的最大允许误差不应超出表-2的规定：数显外径千分尺的示值得最大允许误差不应超出 表-3的规定。
仪器检定依据标准表 一、长度 序号文件名称实施日期1千分尺检定规程JJG21-20082008-9-25 2指示表(百分表和千分尺表)检定规程JJG34-20082008-11-23 3高度卡尺检定规程JJG31-19992000-3-15 4通用卡尺检定规程JJG30-20022002-7-1 5万能角度尺检定规程JJG33-20022002-7-1 6内径千分尺检定规程JJG22-20032003-9-1 7万能角度尺检定规程JJG33-20022002-7-1 8钢直尺检定规程JJG1-19992000-3-15 9钢卷尺检定规程JJG4-19991999-12-6 10量块检定规程JJG146-20032004-3-23 11水平尺校准规范JJF1085-20022002-8-24 12工具显微镜JJG56-20002000-10-1 13接触式干涉仪JJG101-20042005-3-21 14投影仪校准规程JJH093-20022003-5-4 15带表千分尺JJG427-20042004-9-2 160.05～1mm薄量块JJG767-19921992-8-1 17钢直尺自校规程HDS2X03-20042004-8-1 18多齿分度台JJG472-20072007-12-14 19激光干涉比长仪JJG331-19941995-1-1 20杠杆千分尺、杠杆卡规JJG26-20012002-3-1 21直角尺JJG7-20042004-9-2 22半径样板JJG58-19961997-6-15 23塞尺JJG62-20072008-2-21 24光学倾斜仪校准规范JJF1083-20022002-8-24 25组合式角度尺校准规范JJF1132-20052005-7-28 26深度千分尺JJG24-20032003-11-12 27光切显微镜校准规范JJF1092-20022003-5-4 28杠杆表JJG35-20062006-11-23 29长度至1000mm一二等标准金属纹尺JJG170-19941995-1-1 30平板JJG117-20052005-9-3 31光学、数显分度台校准规范JJF1114-20042004-9-2 32数显式百分表检定仪JJG271-19961996-10-1 33大量程百分表JJG379-19951996-5-1 34水泥标准筛和筛析仪JC/T728-20052005-7-1 35刀口形直尺JJG63-20072007-8-28 36标准环规JJG894-19951995-11-1 37坐标测量机校准规范JJF1064-20042004-12-1 38线缆计米器JJG987-20042004-9-1 39触针式表面粗糙度测量仪校准规范JJF1105-20032003-11-12
一、外径千分尺校准规范 1、范围 本规范适用于分度值为0.01mm测量范围至300mm外径千分尺的校准 2、引用文献 本规范引用下列文献： JJF 1001-1998 《通用计量术语及定义》 JJF 1059-1999 《测量不确定度评定与表示》 GB/T 1216-2004 《外径千分尺》 JJG 34-2008 指示表（指针式，数显式）检定规程 JJG 21-2008 《千分尺检定规程》 使用本规范时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。 3、概述 外径千分尺是应用螺旋副传动原理，将回转运动变为直线运动的一种通用长度计量器具，主要用于测量各种外尺寸。 4、计量特性 4.1测微螺旋杆的轴向窜动和径向摆动 测微螺旋杆的轴向窜动和径向摆动均不大于0.01mm。 4.2 测钻工作面与测微螺旋杆工作面的相对偏移量，该偏移量见表1 表1 测钻工作面与测微螺旋杆工作面的相对偏移量mm 测量范围偏移量 0～25 0.05 25～50 0.08 50～75 0.13 75～100 0.15 100～200 0.2-0.3 200～300 0.3-0.4 4.3测力 外径千分尺工作面与球面接触时所作用的力为（5～10）N 4.4刻线宽度及宽度差
固定套管上的纵刻线和微分筒上的刻线宽度为（0.08～0.20）mm,刻线宽度差应不大于0.03mm。 4.5微分筒锥面的端面棱边至固定套管刻线面的距离 微分筒锥面的端面棱边至固定套管刻线面的距离应不大于0.4mm。 4.6微分筒锥面的端面与固定套管上毫米刻线的相对位置 当微分筒零刻线与固定套管纵刻线对准时，微分筒锥面的端面与固定套管毫米刻线的右边缘应相切。若不相切时，允许压线应不大于0.05mm，离线应不大于0.1mm。 4.7工作面的表面粗糙度 外径千分尺和校对用量杆工作面的表面粗糙度应不大于Ra0.05μm。 4.8工作面的平面度 工作面的平面度应不大于0.6μm。 4.9两工作面的平行度 两工作面的平行度应在表2规定范围内。 表2外径千分尺两工作面的平行度 测量范围/mm 平行度/μm 0～25 25～50 50～75 75～100 100～200 200～300 2 2 3 4 5 6～7 4.10外径千分尺的示值误差，应在表3的规定范围内 表3外径千分尺的示值误差 测量范围/mm 平行度/μm 0～100 100～150 150～200 200～300 ±4～±5 ±6 ±7 ±8～±9 4.11校对用的量杆 校对用的量杆尺寸偏差和变动量在表4规定的范围内。 表4校对用的量杆尺寸偏差和两工作面的平行度