多晶硅的三大生产工艺之比较 从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。 1955年，德国西门子开发出以氢气(H2)还原高纯度三氯氢硅(SiHCl3)，在加热到1100℃左右的硅芯(也称“硅棒”)上沉积多晶硅的生产工艺;1957

氢气氯气氯化氢合成 HCl 硅粉 三氯氢硅合成加压冷凝分离 H2、HCl 冷凝液 合成精馏 综合回收 低沸物 粗SiHCL3 精 馏 高低沸物 纯SiHCL3 尾气 还 原 粗SiHCL3 干法回收 多晶硅 H2 HCL 冷凝液 干法精馏

多晶硅生产工艺及其应用 摘要：随着人们对能源需求的不断增长以及面临传统能源日渐枯竭的问题，人们开始关注新能源的研究，而多晶硅作为制备太阳能电池板重要的原材料也被重视起来。本文主要介绍了多晶硅的生产工艺，主要包括改良西门子法、硅烷法、流化床法

多晶硅生产工艺学 绪论 一、硅材料的发展概况半导体材料是电子技术的基础，早在十九世纪末，人们就发现了半导体材料，而真正实用还是从二十世纪四十年代开始的，五十年代以后锗为主，由于锗晶体管大量生产、应用，促进了半导体工业的出现，到了六十年代，硅

太阳能电池的制备和发电原理我国及全球多晶硅生产情况我国多晶硅厂家生产情况太阳能级多 晶硅的制备传统方法123改良西门子法 硅烷法流态床反应法改良西门子工艺流程图改良西门子法西门子法， 即采用H2还 原SiHCl3生 产高纯多晶 硅的方法，

多晶硅生产工艺流程 HUA system office room 【HUA16H-TTMS2A-HUAS8Q8-HUAH1688】 多晶硅生产工艺流程(简介) -------------------------来自于网络收集 多晶硅生产工艺

多晶硅生产工艺学 绪论 一、硅材料的发展概况 半导体材料是电子技术的基础，早在十九世纪末，人们就发现了半导体材料，而真正实用还是从二十世纪四十年代开始的，五十年代以后锗为主，由于锗晶体管大量生产、应用，促进了半导体工业的出现，到了六十年代，

多晶硅生产工艺 一、概述 世界正从工业社会向信息社会过渡，信息技术已成为促进社会发展和进步的关键技术，信息化程度的高低已成为衡量一个国家现代化水平的标志。 微电子技术是信息技术的基础和关键技术，集成电路又是微电子技术的核心，一代又一代更为优

多晶硅制备及工艺 蒋超 材料与化工学院 材料1103班 【摘要】工业硅是制造多晶硅的原料，它由石英砂（二氧化硅）在电弧炉中用碳还原而 成。化学提纯制备高纯硅的方法有很多，其中SiHCl3 氢还原法具有产量大、质量高、成本低等优点，是目前国内

多晶硅生产工艺学 34993 多晶硅生产工艺学 绪论 一、硅材料的发展概况 半导体材料是电子技术的基础，早在十九世纪末，人们就发现了半导体材料，而真正实用还是从二十世纪四十年代开始的，五十年代以后锗为主，由于锗晶体管大量生产、应用，促进了半

（1）石英砂在电弧炉中冶炼提纯到 98%并生成工业硅， 其化学反应 SiO2+C→Si+CO2↑ （2）为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。把工业硅粉碎 并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中，生成拟溶解 的三氯氢硅(SiH

•目前世界上主要的几种多晶硅生产工艺目前生产多晶硅的方法主要有改良西门子法— —闭环式三氯氢硅氢还原法，硅烷法——硅烷热 分解法，流化床法，冶金法，气液沉积法。• 改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 • 改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢

硅材料科学与技术授课老师：刘仪柯单位： 新余高等专科学校太阳能 科学与工程系 工业硅的生产 高纯多晶硅的生产太阳电池分类 太阳电池按其材料主要可分为四种类型： (1)硅太阳电池；(2)多元化合物薄膜太阳电池；(3)有机物太阳电池；(4)

2流化床法——硅烷法——硅烷热分解法 硅烷(SiH4)是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只有日本小松掌握此技术，由于发生过严重的爆炸事故

的生产可大大缩短工艺时间，单片热工序时间可在一分钟之内完成，采用该工艺在100平方厘米的多晶硅片上作出的电池转换效率超过14%。据报道，目前在50〜60微米多晶硅衬底上制作的电池效率超过16%。利用机械刻槽、丝网印刷技术在100平方厘米多晶

太阳能电池光电转换原理主要是利用太阳光射入太阳能电池后产生电子电洞对，利用P-N 接面的电场将电子电洞对分离,利用上下电极将这些电子电洞引出，从而产生电流。整个生产流程以多晶硅切片为原料，制成多晶硅太阳能电池芯片。处理工艺主要有多晶硅切片清

: K) Z* W& I6 U; ~0 N 5 A- ^8 v# S/ G1 C在用于制造多晶硅的冶金硅中，要求含有99%以上的Si，还含有铁、铝、钙、磷、硼等，它们的含量在百万分之几十到百万分之一千（摩尔分数）不等。而EG硅中的杂质含量应

等人也从热力学上分析了冶金法对各种主要杂质 的去除效裂２１丑１．日本Ｋａｗａｓａｋｉ ｓｔｅｅｌ公司提出的方法为用冶金级硅为原料。使用两步进行提纯： 第一阶段：在电磁炉中采用定向凝

ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ晶硅的主要生产方法和工艺现在主要的生产高纯多晶硅方法有以下两种： 1、三氯氢硅还原法（SIMENS法） 2、硅烷热分解法 3、流化床法硅的提纯为了将粗

下面介绍几种生产多晶硅的工艺，但我国使用最多的工艺方法是“改良西门子法”。（1）改良西门子法――闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提