第一项由我国主导制定的微机电系统(MEMS)国际标准 IEC 62047—25:20
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微机电系统(MEMS)技术射频MEMS环行器和隔离器1 范围本文件规定了射频MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)环行器和隔离器的术语、基本额定值、特征参数以及测量方法。
2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。
其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 4937.12 半导体器件机械与气候试验方法第12部分:扫频振动(GB/T 4937.12—2018,IEC 60749-12:2002,IDT)GB/T 4937.21 半导体器件机械与气候试验方法第21部分:可焊性(GB/T 4937.21—2018,IEC 60749-21:2011,IDT)GB/T 4937.22 半导体器件机械与气候试验方法第22部分:键合强度(GB/T 4937.22—2018,IEC 60749-22:2002,IDT)GB/T 26111 半导体器件微机电器件第1部分:术语和定义(GB/T 26111—2023,IEC 62047-1:2016,MOD)IEC 60747-1:2010 半导体器件第1部分:总则(Semiconductor devices – Part 1: General)注:GB/T 17573-1998 半导体器件分立器件和集成电路第1部分:总则(IEC 60747-1:1983,IDT)IEC 60749-10 半导体器件机械与气候试验方法第10部分:机械冲击(Semiconductor devices –Mechanical and climatic test methods—Part 10: Mechanical shock)IEC TS 61967-3,集成电路-电磁辐射测量-第3部分-辐射发射测量-表面扫描法3 术语和定义下列术语和定义适用于本文件。
2023年国家电网招聘之公共与行业知识通关试题库(有答案)单选题(共30题)1、未来我国能源总体流向呈现出“()”的格局,对能源资源配置提出了更高的要求。
A.北煤南运、北油南运、西气东输、西电东送B.西煤东送、北气南下、西油东送、南电北上C.北煤南运、西油东送、海气上岸、西电东送D.西煤东送、北气南下、西油东送、西电东送【答案】 A2、挤进效应是指政府采用扩张性财政政策时,能够诱导民间消费和投资的增加,从而带动产出总量或就业总量增加的效应;挤出效应是指当供应和需求有新的增加时,随着政府支出的增加而引起的私人消费或投资降低的效果,这会导致部分资金从原来的预支中挤出,而流入到新的商品中。
A.某地区县政府对家庭困难的个体经营者减免税收,从而带动了当地的个体经济B.某地方政府计划投资一些大型化工项目并建立化工厂,由于工厂将占用一部分耕地,因此该地区粮食价格上涨C.由于适龄儿童增加,该地区政府加大了对学校基础建设的资金投入,并降低学杂费,于是当地家庭为孩子报艺术班的比例增加了D.某市实行房屋限购令后,楼市交易低迷,人们转向投资邻市,使邻市楼市被进一步催热【答案】 C3、公安机关在刑事诉讼活动中,必须坚持同人民检察院、人民法院(),以保证准确有效地执行法律。
A.联合办案B.分工负责C.互相配合D.互相制约【答案】 B4、(1)经济效益提高 (2)政企分开A.1-5-3-4-2B.3-4-1-5-2C.4-3-2-5-1D.2-5-1-4-3【答案】 D5、国际电工委员会(IEC)推荐的智能电网核心标准中IEC61850的主题是()。
A.公共信息模型B.变电站自动化C.配电管理D.网络安全【答案】 B6、太平洋上的风姑娘,欣然接受北婆罗洲莽莽苍林的邀请,夹着一条长长的水带,翩然来到北婆罗洲的上空,洒下清泉万丈,让热情奔放的处女林,显露着________的喜悦。
在岁月的长河里,我乘着一叶轻舟,从我生命的源头起航。
微机电系统(MEMS)技术薄膜材料的弯曲试验方法1 范围本文件规定了长度和宽度小于1mm、厚度在0.1µm和10µm之间的薄膜材料的弯曲试验方法。
薄膜作为主要结构材料用于微机电系统(在本文件中简称为MEMS)和微机械中。
作为MEMS、微机械等器件中的主要结构材料,薄膜具有独特性,如尺寸为几微米,采用沉积、光刻等材料制备工艺,和/或非机械加工测试结构。
本文件规定了微尺度光滑悬臂式测试结构的弯曲试验方法及测试结构形状,以保证与薄膜材料独特性相对应的测试精度。
2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。
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IEC 62047-6:2009 半导体器件微机电器件第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法(Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials)GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术术语3 术语和定义GB/T 26111-2023界定的术语和定义适用于本文件。
4 符号和定义符号及其定义见表1。
表1 测试结构的符号和定义悬臂梁测试结构的典型形状见图1。
图视主图视俯1W标引序号说明: 1 衬底 2 测试结构3 测试结构的支撑部分图1 带衬底的测试结构示意图5 测试结构测试结构的设计测试结构为如图1所示的悬臂梁形状,其横截面形状应简单,便于计算面积惯性矩,例如矩形或梯形。
测试结构平行部分的长度(L )、宽度(W )和厚度(S )之间的关系宜为5<L/W <10 和10<L/S <100。
测试结构的固定端应置于如图1所示的衬底内。
测试结构与衬底的接触点选取非常重要,以避免由于应力集中而导致测试结构根部和衬底接触点发生塑性变形甚至破裂(见附录A)。
微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法1 范围本文件规定了微柱压缩测试方法,用于MEMS材料压缩特性的高精度、高重复性测量,且试样制造难度适中。
测量试样单向压缩应力-应变的关系,得到试样压缩弹性模量和屈服强度。
试样是通过微加工技术在刚性(或高刚度)基体上制造的圆柱,其高径比(高度与直径的比值)宜大于3。
本文件适用于金属、陶瓷、高分子材料。
本文件适用于高度小于100μm的微柱。
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IEC 62047-8 半导体器件微机电器件第8部分薄膜拉伸性能测量用带材弯曲试验方法(Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films))3 术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。
4 符号和名称为了阐述本文件,试件的形状和符号分别在图1和表1中给出。
本标准中的试件通常称为柱状试样。
说明:圆柱:试件是用微加工技术在基体上加工的圆柱;基体:支撑试件是一种刚性(或高刚度)材料。
支撑试件刚度远高于圆柱试件刚度。
圆柱外形尺寸 D :试件直径; H :试件高度。
图1 圆柱形状(符号见表1) 表1 试件的符号和名称5 试件概述试件的制备应采用与实际器件制备相同的制备工艺。
为减小试件的尺寸效应,试件的结构和尺寸宜与器件部件的结构和尺寸相似。
试件形状本文件规定了圆柱形微柱的压缩特性。
采用微加工工艺在基片上制备微柱。
微柱的形状和垂直度宜采用电子或光学显微镜检查。
微柱底表面的边界条件通常被认为是固定边界,不同于宏观块体尺度上的圆柱(圆柱上下表面通常被认为是无摩擦边界)。
中国生物微机电系统技术发展现状与展望目录一、内容综述 (2)1. 背景介绍 (4)2. 研究目的与意义 (4)二、生物微机电系统技术概述 (6)1. 生物微机电系统的定义与特点 (8)2. 技术分类与应用领域 (9)3. 发展历程及现状 (11)三、中国生物微机电系统技术的发展现状 (12)1. 研发实力与成果 (13)2. 产业链现状及布局 (14)3. 创新能力与专利情况 (15)四、中国生物微机电系统技术的展望 (16)1. 技术发展趋势与前沿动态 (18)2. 市场需求预测与分析 (20)3. 未来发展方向与挑战 (21)五、案例分析 (22)1. 成功案例介绍与分析 (23)2. 技术应用实例展示与效果评估 (24)六、结论与建议 (26)1. 研究总结与主要发现 (27)2. 政策建议与发展策略 (30)一、内容综述随着科学技术的不断发展,生物微机电系统(BioMEMS)技术已经成为了当今世界各国竞相研究和开发的重要领域。
中国作为世界上最大的发展中国家,近年来在生物微机电系统技术方面取得了显著的成果,为我国生物医学工程领域的发展做出了重要贡献。
本文将对当前中国生物微机电系统技术的发展现状进行概述,并对未来发展趋势进行展望。
中国政府高度重视生物微机电系统技术的研究与发展,制定了一系列政策措施,加大了对相关领域的投入。
在政策支持下,我国生物微机电系统技术取得了一系列重要突破。
在传感技术方面,中国研究人员成功研发出了多种高性能生物微机电系统传感器,如血糖监测、心电监测、脑血流动态监测等。
这些传感器具有灵敏度高、响应速度快、体积小、功耗低等优点,为我国生物医学工程领域的发展提供了有力支撑。
在芯片制造技术方面,中国已经具备了一定的自主研发能力。
国内多家企业和研究机构已经成功研发出了一系列具有自主知识产权的生物微机电系统芯片,如胰岛素泵、心脏起搏器等。
这些芯片的研制成功,不仅提高了我国生物微机电系统产业的竞争力,也为全球范围内的生物医学工程领域提供了重要的技术支持。
2023年-2024年国家电网招聘之公共与行业知识考试题库单选题(共45题)1、2014年,习近平总书记在中央财经领导小组第()次会议上,提出推进能源“四个革命、一个合作”,切实保障国家能源安全。
A.5B.6C.7D.8【答案】 B2、根据(),只有提高电压,减小电流,才能实现远距离、低损耗的电能传输。
A.欧姆定律B.楞次定律C.法拉第定律D.基尔霍夫定律【答案】 A3、公安科技群众化的形式有()A.积极推广适用于民间的公安科技B.提高群众自防、自救能力C.在群众中普及防卫知识D.提高群众防范违法犯罪活动的本领【答案】 A4、政府对民众批评权的敬畏,政府对民众诉求的尊重,政府跟民众讲道理的________,要靠切实的施政程序尤其是法律程序来保障。
民意即天意,但这种天意不能是________的,含混的,而应该是实证的,具体的,可量度可核对的。
A.义务隐晦B.行为模糊C.意识笼统D.自觉抽象【答案】 D5、国家电网有限公司新时代发展战略目标是建设具有()竞争力的世界一流()企业。
A.核心;电力B.核心;能源互联网C.卓越;电力D.卓越;能源互联网【答案】 D6、某新生代导演筹拍一部楚汉争霸时期的电影,称要“挑战传统观念”,认为项羽就是华盛顿——其实这种说法挺可笑,有一定历史知识的人,都不会这么想。
项羽分封天下,与从西方舶来的“民主联邦制”是两码事,他是要回到周朝的分封制。
但是,在全民历史热的潮流中,这样似是而非,听起来时髦、过瘾,实质错漏百出的观点,比比皆是。
A.“项羽就是华盛顿”的说法是错误的B.导演需要具备一定的历史专业知识C.学术庸俗化容易造成历史认知的混乱D.专家学者应肩负起普及历史知识的重任【答案】 C7、构建公共文化服务体系是顺应时代要求下做出的正确决策,是满足公民文化需求,实现公民文化权利的必然选择,是推动国家文化大发展、大繁荣战略实现的重要举措,是我国政府向服务型政府转变的重要途径。
国家发展改革委、国家能源局关于印发新能源微电网示范项目名单的通知文章属性•【制定机关】国家发展和改革委员会,国家能源局•【公布日期】2017.05.05•【文号】发改能源〔2017〕870号•【施行日期】2017.05.05•【效力等级】部门规范性文件•【时效性】现行有效•【主题分类】电力及电力工业正文国家发展改革委国家能源局关于印发新能源微电网示范项目名单的通知发改能源〔2017〕870号各省、自治区、直辖市发改委(能源局)、物价局,国家能源局派出能源监管机构,国家电网公司、南方电网公司、电力规划设计总院、水电水利规划设计总院:按照《关于推进新能源微电网示范项目建设的指导意见》(国能新能〔2015〕265号),经组织专家对各地区报送的新能源微电网示范项目方案进行审核,确定了一批示范项目。
现将示范项目名单予以公布并就相关事项通知如下。
一、新能源微电网示范项目重点在于技术集成应用和运营管理模式、市场化交易机制创新。
本批示范项目的主要审核条件为:新能源微电网的可再生能源电力渗透率(可再生能源发电装机容量/微电网内峰值负荷)应不低于50%;清洁能源电量自给率(清洁能源发电量/园区总用电量)应不低于50%;微电网与主网单一并网点交换功率不得超过与大电网连接交电站的单台变压器容量等。
经对有关省(区、市)申报的项目进行审核,符合条件的共28个项目,具体项目名单见附件。
二、请有关省(区、市)发展改革委(能源局)按项目建设内容一次性整体备案,微电网内部的新能源发电项目建成后接程序纳入国家可再生能源发展基金补贴范围,执行分布式可再生能源发电补贴政策。
三、新能源微电网示范项目由单一的投资经营主体负责投资、建设和运营管理。
鼓励地方政府与微电网项目投资经营主体采用PPP模式,共同承担新能源微电网示范项目的建设和运营。
新能源微电网示范项目投资经营主体负责新能源微电网范围内用户的供电、供冷、供热等能源服务,在政府监督指导下,根据项目的实际情况与区域特性在其服务范围内用能价格由买卖双方协商确定,但不得高于政府规定的同类用户的用能价格。
微机电系统(MEMS)技术薄膜机械性能的鼓胀试验方法1 范围本文件规定了窗口内自支撑薄膜的鼓胀测试方法。
试样由微米/纳米结构薄膜材料制备,包括金属、陶瓷和聚合物等薄膜,用于微机电系统(MEMS)、微机械等领域。
薄膜厚度范围为0.10μm到10μm。
正方形和长方形窗口宽度范围0.5mm到4 mm,圆形窗口直径范围0.5mm到4 mm。
本文件适用于常温环境条件下,对窗口薄膜试样施加均匀压力进行测试。
本文件给出了薄膜材料的弹性模量和残余应力的测定方法。
2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。
其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
IEC 62047-2:2006 半导体器件微机电器件第2部分薄膜材料的拉伸试验方法(Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials)20204116-T-339 半导体器件微机电器件第 2部分:薄膜材料的拉伸试验方法(IEC 62047-2:2006,MOD)3 术语、定义和符号术语和定义下列术语和定义适用于本文件。
3.1.1残余应力 residual stressσ0在没有外部载荷的情况下,试样中存在的应力。
3.1.2双轴模量 biaxial modulusM平面应变条件下的弹性模量。
3.1.3薄膜窗 membrane window无支撑膜的测试区域,与施压介质直接接触,由支架框环绕。
注:见图1。
标引序号说明:1——俯视图;2——侧视图;3——薄膜窗;4——沉积的薄膜。
图1 鼓胀试样的典型示例符号本文件使用的符号见表1。
表1 试样的符号和定义4 鼓胀测试原理如图1所示,本文件定义的无支撑薄膜被框架环绕形成一个鼓胀薄膜窗,且宜安装于鼓胀测试系统上。
mems半导体标准MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微电子机械系统)是一种将微型机械元件、传感器、执行器和电子元件集成在一起的技术。
在MEMS半导体制造中,通常会遵循一系列的标准和规范,以确保产品的质量、可靠性和互操作性。
以下是一些与MEMS半导体相关的标准组织和标准:1.SEMI标准:SEMI(Semiconductor Equipment and MaterialsInternational)是一个半导体制造产业的国际性协会,制定了一系列与半导体制造设备和材料相关的标准。
其中一些标准可能与MEMS制造有关,如SEMI MS(材料和设备标准)、SEMI P37(MEMS标准测试方法)等。
2.IEEE标准:IEEE(Institute of Electrical and Electronics Engineers)是一个国际性的专业技术组织,也发布了一些与MEMS相关的标准。
例如,IEEE 1451系列标准包括了传感器和执行器网络标准,这与MEMS设备的互操作性有关。
3.ISO标准:国际标准化组织(ISO)也发布了一些与MEMS相关的标准,尤其是在传感器和微机电系统的领域。
ISO 13719系列标准涵盖了MEMS设备和技术的一些方面。
4.JESD标准:JESD(Joint Electron Device Engineering Council)是半导体行业的组织之一,它发布了一些与半导体制造和测试相关的标准,其中可能包括一些MEMS相关的内容。
这些标准通常涵盖了MEMS器件的设计、制造、测试、封装和可靠性等方面。
由于MEMS技术的多样性,涉及的标准也可能涵盖不同类型的MEMS设备,如传感器、执行器、生物传感器等。
根据具体的应用和需求,制造商和设计者可以参考相应的标准以确保产品的质量和符合行业规范。
我国提出的世界首个电动汽车电池更换系统IEC标准正式发
布
佚名
【期刊名称】《信息技术与标准化》
【年(卷),期】2016(0)8
【摘要】7月12日,南瑞集团有限公司牵头编制的国际标准IEC TS 62840-1《电动汽车电池更换系统第1部分:通用与导则》正式发布。
该标准填补了国际上电动汽车电池更换系统的空白,提升了我国在电动汽车充换电领域的国际影响力和话语权。
电动汽车充电和电池更换技术是电动汽车能源补给的两种不同方式,也是制约电动汽车发展的瓶颈。
【总页数】1页(P7-7)
【关键词】电动汽车电池;IEC标准;更换系统;世界;国际标准;国际影响力;汽车能源;更换技术
【正文语种】中文
【中图分类】U469.722
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战略性新兴产业的困惑和对策多项选择题每题2分共40分1、发光二极管的英文缩写是()☐CBD ☒LED☐ELD ☐BCD2、电机驱动系统包括两部分()。
☐电机和传动系统☒电机和控制器☐发动机与发电机☐直流电机和交流电机3、飞机基地有多少个()。
☒13.0☐14.0 ☐10_0 ☐11。
04、基因和免疫诊断技术改变了临床的诊断模式;进入了()诊断时代。
☒中子☐分子☐电子☒离子5、下面()不是光伏发电系统的主要组成部分。
☒太阳能电池板☐控制器☐转换器☐逆变器6、()汽车包括传动系统、驱动电机、发电机、发动机、蓄电池组、交流器、动力分配器.☐混合动力汽车☐电动汽车☐燃料电池汽车☒太阳能电动汽车7、美国注重什么经().☐农业☐畜牧☐建设☐虚拟经济8、科技创新一定要从(),解放思想。
☐新开始☐头再来☒实际出发☐经济9、成都航空产业基地().☐兵马俑☒阎良☐安顺☐青羊10、美国就是主要依靠哪个产业().☐农业☐轻工业☒信息技术产业☐重工业11、未来中国最具有发展潜力的行业()。
☐销售☐维修☐房地产☒服务行业12、理念的创新()。
☒网络免费加入☐房地产☐生物制药☐航空13、下列()不属于电机驱动系统的要求。
☐大功率☐体积小☐高效率☒环境适用性弱14、债务危机怎么回事()。
☒注重虚拟经济☐低水平重复建设☐技术创新工程☐包袱太重动力不足15、安顺航空产业区在那()。
☐江西☐湖南☒贵州☐北京16、燃料电池汽车是利用()和空气中的氧,在催化剂的作用下,在燃料电池中,经电化学反应产生的电能作为主要动力源驱动的汽车。
☐氮气☒氢气☐氦气☐二氧化碳17、智能电网属于()。
☐新材料产业☐重点科技计划☒科学研究设施☐新能源产业18、由于风能的变化范围相当巨大,通常会采取一项技术来保证风力发电机在大风下的安全运行,这项技术是()。
☒变浆距调节☐偏向控制☐发电机中采用变速箱☐风/光互补19、科技创新能力建设重点有几大重点().☒4 ☐5 ☐6 ☐720、生物质能()。
第一项由我国主导制定的微机电系统(MEMS)国际标准 IEC 62047—25:2016正式发布全国微机电技术标准化技术委员会
作者:
来源:《中国标准导报》2016年第11期
2016年8月25日,IEC正式发布了由我国主导制定的第一项微机电系统(MEMS)领域国际标准,标志着我国MEMS领域国际标准化工作实现了零的突破。
1 微机电系统及加工技术
MEMS是指关键(部件)特征尺寸在亚微米至亚毫米之间,能独立完成机电光等功能的系统(GB/T 26111),也可称作微电子机械系统、微系统、微机械等。
因具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等特点,使得MEMS在民用和军工方面都显现出了巨大的应用潜力,已经被广泛应用在航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等多个领域,与我们的日常生活息息相关。
比如手机中的陀螺仪、喷墨打印机喷头、汽车安全气囊传感器、导弹的惯性器件等等,都离不开MEMS。
MEMS的加工技术主要分为硅工艺和非硅工艺两种,前者在集成电路的基础上得到飞速发展,已经成为MEMS加工的主流技术。
2 标准制定背景及意义
长期以来,因美国、日本等工业发达国家在集成电路领域形成的深厚积淀,导致MEMS 技术和国际标准一直被其把持,已发布的26项MEMS国际标准中,没有一项由我国制定,我国完全处于跟踪研究状态。
近年来,国家对MEMS技术的支持力度不断增加,《“十二五”国家战略性新兴产业发展规划》《国家集成电路产业发展推进纲要》等国家政策规划都明确提出要发展MEMS技术,对我国MEMS技术的发展起到了极大促进作用,使得我国在典型工艺、测试方法方面取得多项技术突破,部分技术已经逐渐与世界先进水平形成“并跑”甚至“领跑”。
2012年,全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)组织北京大学、中国电子科技集团第十三研究所等单位,制定发布了GB/T 28277—2012《硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法》,在国内实施取得良好效果。
2013年,来自北京大学、中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心等单位专家基于该标准提出了相应的国际标准并成功在IEC/TC 47/SC 47F立项。
后期,标委会配合有关单位,组建了一支高水平的技术和标准化专家队伍,先后7次出席IEC/TC 47/SC 47F国际会议,回复国际意见上百条。
经过三年的努力,该标准终于在今年8月正式发布。
IEC 62047-25:2016的发布,在我国MEMS技术和标准化领域具有里程碑式的意义,标志着我国成功探索出了一条参与MEMS领域国际标准化工作的有效路径,提升了我国在MEMS国际标准化工作中的话语权。
3 标准的主要内容
键合是制备MEMS器件芯片微结构的重要技术手段,微结构键合强度直接决定器件性能指标。
对此,IEC 62047-25:2016提出了硅基MEMS加工过程中所涉及的微小键合区域键合强度检测的相关要求和试验方法,为采用微电子工艺及相关微细加工工艺技术制造的微小键合区的剪切和拉压强度测试提供了依据。
4 全国微机电技术标准化技术委员会工作
全国微机电技术标准化技术委员会负责我国MEMS领域国家标准、行业标准制定和归口管理。
标委会汇聚了一大批国内MEMS领域高水平技术和标准化专家,制定和发布MEMS国家标准11项,还有8项正在制定当中。
标委会将组织国内专家加紧研究,在制定更多高水平MEMS国家标准的同时,争取提出更多基于我国自主技术和标准的MEMS国际标准。