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A+B
4,000
3
5
10,000
-
M4
-
-
-
-
-
35,300
6
M4.5
1,000
1,000
-
4
6
100,000
-
M5
-
-
-
-
-
353,000
7
M5.5
10,000
C
400,000
5
7
1,000,000
-
M6
-
-
-ห้องสมุดไป่ตู้
-
-
3,530,000
8
M6.5
100,000
D
4,000,000
6
8
10,000,000
2,930
10000级
ISO Class8
3,520,000
832,000
29,300
100000级
ISO Class9
35,200,000
8,320,000
293,000
各国洁净度等级近似对照表：
个/M≥0.5um
ISO
US
US
EEC
FRANCE
GERMANY
JAPAN
14644-1(1999)
209E(1992)
209D(1988)
cGMP(1989)
AFNOR(1981)
VDI 2083(1990)
JAOA(1989)
1
-
-
-
-
-
-
-
3.5
2
-
-
-
-
0
2
10.0
-
M1
-
-
-
-
-
35.3
3
M1.5
1
-
-
1
3
100
-
M2
-
-
-
-
-
353
4
M2.5
10
-
-
2
4
1,000
-
M3
-
-
-
-
-
3,530
5
M3.5
100
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
352
83
10级
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
100级
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
1000级
ISO Class7
352,000
83,200
-
M7
-
-
-
-
-
ISO14644-1（国际标准）
空气洁净
度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
类似于
传统级别
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1.0um
5.0um
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1,000
237
102
35
8
1级
