洁净室温湿度如何控制精编版
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目的:建立洁净区温度、湿度、压差监控规程,使空调系统能够有效控制洁净区的温度、湿度、压差。
范围:适用于洁净区温度、湿度、压差的监测控制。
职责:QA质监员、工程部维修人员、生产部人员。
内容:
1.标准
1.1温度:空调系统在规定的运行期间和装有加热器的情况下,在全年温度变化的情况下,应能够将洁净车间温度维持在18-26℃。
1.2相对湿度:冷冻干燥工序、粉碎过筛工序、总混工序、充填抛光工序控制在30%以内,其他控制在45-65%。
1.1.3压差:不同洁净级别之间的静压差应≥5Pa(0.5mm水柱),洁净区与非洁净区之间的静压差应≥10Pa(1.0㎜水柱)。
静态或动态情况下,压差均应能始终维持设计规定的数值。
2.监测仪器:经计量检定过温度计、湿度计、微压表。
3.测试方法:测试空气平衡结束后进行,随时观察温度、湿度、压差变化情况,及时填写《洁净区压差、温湿度检测记录》(REC-QA-019-00)。
4.监测频率:每班检测不少于一次。
5.注意事项:
5.1 测试时所有的空调系统和层流系统应处于连续的运行状态。
5.2为避免压力出现不必要的变化,测试状态应固定,并应从平面上最里面的房间依次向外测定。
5.3洁净区所有的门应关闭,测试时不允许有人穿越房间。
6.在洁净车间温度、相对湿度和压差的监测过程中,如发现结果超出规定的范围,应及时通知工程部维修人员和生产车间检查原因并改正。
洁净车间温度、相对湿度和压差的检测及根据检测结果对空调系统进行的调整应记录归档。
如何对洁净室温湿度进行控制洁净室不同于一般的舒适性空调房间,室内的温湿度控制要求精度较高。
同时对空气的洁净度也有较高要求,使得换气次数较多,新风量大,甚至有直排系统。
例如,药厂的生产车间一般要求温度在22℃±2℃,相对湿度在55%±5%以内。
并且外界的温湿度变化对室内温湿度影响较大,所以需要选择合理的温湿度控制方案,才能确保室内的温湿度达到设计要求。
01为何洁净室需要温湿度控制进行?洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。
随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
一般来说,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。
例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um 线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温。
同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。
相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。
相对湿度在50%时易生锈。
此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。
相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。
对于硅片生产最佳温度范围为35-45%。
02温湿度控制的特性以及常见问题✍温湿度控制的特性对湿空气单纯地加热或制冷过程,是环境含湿量保持不变的过程,即绝对湿度保持不变的过程。
湿空气经过盘管加热,温度升高而相对湿度下降;相反,对冷却过程,温度下降而相对湿度相应升高。
因此,我们可以得出,温度和相对湿度是两个不同方向的控制量,要使温湿度同时向相同的趋势变化,单纯地靠加热/冷却过程是不能实现的。
如何对洁净室温湿度进行控制洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。
随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
净化工程具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
直径100 um的硅片,温度洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。
随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
净化工程具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。
相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。
相对湿度在50%时易生锈。
此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。
相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。
对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。
洁净室中的气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。
压力差的维持一般应符合以下原则:1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
洁净车间温湿度标准
洁净车间是对空气洁净度要求较高的场所,通常用于生产电子元件、医药品、食品等对空气洁净度要求高的产品。
而车间的温湿度是影响产品质量的重要因素之一。
因此,制定合理的洁净车间温湿度标准对于保障产品质量和生产环境卫生非常重要。
首先,洁净车间的温度标准一般控制在20-24摄氏度之间。
这个温度范围是考虑到了人体的舒适度和产品的生产需要。
过高或过低的温度都会对员工的工作效率和产品的质量产生影响。
在这个温度范围内,员工的工作状态会更加稳定,产品的生产也会更加稳定可靠。
其次,洁净车间的湿度标准一般控制在45%-65%之间。
过高或过低的湿度都会对产品的生产和储存造成影响。
过高的湿度容易导致产品受潮发霉,过低的湿度则容易导致产品干燥开裂。
因此,控制在这个湿度范围内可以有效地保障产品的质量和生产环境的洁净度。
此外,洁净车间的温湿度标准也需要根据不同的产品和生产工艺进行调整。
对于一些特殊的产品,可能需要更高的温度或更低的湿度来保证其生产质量。
因此,在制定温湿度标准的时候,需要结合具体的生产情况进行调整,以保证产品的质量和生产的效率。
在实际操作中,我们可以通过安装温湿度监测设备来实时监测洁净车间的温湿度情况,并根据监测结果及时调整空调和加湿设备的工作模式,以保证车间内的温湿度处于合理的范围内。
总之,洁净车间的温湿度标准是保障产品质量和生产环境卫生的重要因素。
合理的温湿度标准可以保证产品的生产质量和员工的工作效率,因此在生产过程中,需要严格遵守相关的温湿度标准,并根据实际情况进行调整,以保证洁净车间的温湿度处于合理的范围内。
洁净室温湿度、静压差的监控标准操作规程1 目的建立洁净室温湿度、静压差的监控标准操作规程。
2 适用范围公司内所有生产洁净室和空调净化系统。
3编写依据《药品生产质量管理规范(GMP)》(2010年修订版)《医药工业洁净厂房设计规范》GB 50457-2008《洁净厂房设计规范》(GB50073-2013)4 职责4.1 生产车间负责洁净室内部的监控仪表的记录;4.2 工程设备部空调值班人员负责洁净室外部的监控仪表的记录。
5 内容5.1 仪表的设置5.1.1 在洁净室内不靠近冷热源的隔断或顶板上设置温湿度计或温湿度探头,温湿度计离地坪高1.4-1.7m,温湿度探头的设置应考虑方便布线。
5.1.2 在洁净室与室外之间、有可能产尘的洁净室与其相邻的洁净室之间以及洁净级别不同的相邻房间之间,设置微压差计,将微压差计高压接管上的胶管穿过隔断插入高静压房间,低压接管上的胶管穿过隔断插入低静压房间,将微压差计就近固定便于观察的隔墙上,微压差计离地坪高1.4-1.6m。
胶管穿隔断处做密封处理。
5.2 监控操作步骤5.2.1 监测记录前的准备工作5.2.1.1 操作人员应熟悉洁净室温湿度、静压差的控制标准:一般情况下,温度应控制在18-26℃,相对湿度应控制在30-65%,如果工艺有要求,则温湿度必须满足工艺需要;洁净室与室外大气的静压差不小于10Pa,洁净级别相同的不同功能区(操作间)与相邻洁净区应保持适当的压差梯度,且不小于5Pa。
5.2.2 监测程序5.2.2.1 逐个对各仪表读数并作记录,读数时若为指针指示须保持眼睛与指针为同一平面。
5.2.2.2 发现静压差未达标,首先检查房间密闭性,然后调节该洁净室内风口上调节阀的开度,直到静压差符合标准。
5.2.2.3 发现温湿度未达标,由值班人员对空调净化系统进行调节直到其符合标准。
5.2.2.4 对温湿度静压差的监控按照每班2次作记录。
当洁净室内不生产而空调净化系统值班运行时,不记录洁净室温湿度和洁净区内部的压差,但必须记录洁净室与室外的压差。
目的:建立洁净区温湿度控制管理规程。
范围:洁净室的温度、湿度。
责任人:QA员、生产操作人员、空调工对本标准的实施负责。
内容:
1洁净室的温度和湿度应与药品生产工艺要求相适应,无特殊要求温度应控制在18~26℃,湿度控制在45~65%之间。
2洁净区内操作间等工作间应配备温度表和湿度表。
温湿度表应贴有校验合格证并应在校验有效期内。
3生产操作人员每工作日上午、下午各记录一次温度和相对湿度。
4当温度或相对湿度的变化可能对产品质量产生影响时,生产操作人员应及时通知空调工进行处理,对空气净化系统温湿度项进行重新测定。
5 QA员在洁净区巡视时应注意检查温度、湿度,超出控制范围时应及时通知空调工,对空气净化系统温湿度项进行重新设定。
洁净室温湿度监测方法标准嘿,咱今儿就来说说这洁净室温湿度监测的事儿!你想想看啊,这洁净室就好比是一个特别精细的小世界,里面的温湿度那可得好好把控。
温湿度的重要性,那可真是不亚于一顿美味饭菜里的盐和调料呀!温度太高或者太低,湿度不合适,都可能会让这个小世界乱了套。
就好像你穿衣服,冬天穿短袖,夏天穿棉袄,那能舒服吗?同理,洁净室的温湿度不合适,会影响好多东西呢,比如设备的运行,产品的质量等等。
那怎么监测呢?首先得有靠谱的监测设备呀!这就好比你要去测量一个东西的长度,没有尺子怎么行呢?这些设备就像是洁净室的小卫士,时刻盯着温湿度的变化呢。
而且呀,这些设备得放在合适的位置,不能随随便便乱放。
这就像你把眼睛长在脚底板上,能看清路吗?肯定不行呀!然后呢,还得定期检查这些设备是不是好的,准不准确。
你想啊,如果尺子不准了,那量出来的尺寸不就全错啦?所以要时不时地给这些小卫士们做做“体检”,确保它们能好好工作。
监测的时候还得注意记录数据呢!这可不能马虎,就像你每天的日记一样,得认真写下来。
哪天温度高了,哪天湿度低了,都得清楚明白地记着。
这样以后要是出了问题,一翻记录就能找到原因啦。
还有啊,不能只监测一次就不管啦!这就像你每天只吃一顿饭,能饱吗?得经常去看看,随时掌握温湿度的动态变化。
而且不同的季节,不同的时间段,温湿度可能都会不一样呢。
咱再打个比方,这洁净室就像一个娇贵的小公主,得精心呵护着。
温湿度就是她的心情和状态,咱得时刻关注着,让她一直开开心心,舒舒服服的。
要是没照顾好,她发脾气了,那可就麻烦啦!总之呢,这洁净室温湿度监测可真是个细致活,一点都不能马虎。
咱得像爱护自己的宝贝一样爱护这个小世界,让它一直保持在最佳状态。
这样才能保证里面的一切都顺顺利利的,咱也才能放心呀!所以说呀,大家可都得重视起来,别不当回事儿哦!这可不是闹着玩的,这关系到好多重要的事情呢!你说是不是这个理儿?。
(完整word版)10、洁净厂房温湿度监控规程一、目的:建立洁净厂房温湿度监测控制规程。
使空调系统能够有效控制
洁净厂房的温湿度。
二、范围:适用于洁净厂房温湿度的监测控制。
三、责任人:质量管理部部长、生产技术部部长、车间主任、岗位负责人.
四、内容:
1.应根据产品特性及工艺条件要求设计,确定洁净厂房温湿度控制标准
及检测点。
2。
温度监测仪器:温度计。
3。
相对湿度监测仪器:湿度计。
4.测试方法:将温、湿度计安装在洁净区需温、湿控制房间的墙壁上,
待空气净化系统运行30—40分钟后,可随时观察该房间的温湿度变化,需
要时可记录。
5。
监测频率:每日监测一次。
6.标准:空调系统在规定的运行期间和装有加热器及在全年温度变化的
情况下,应能够将洁净厂房温度维持在18~26℃,相对湿度控制在45~65%,
或根据产品需要指定的温度范围.
7。
在洁净厂房温度和相对湿度的监测过程中,若发现结果接近规定的范
围,应时对组合式空调柜内的功能段进行调整。
8。
洁净厂房温湿度的检测以及根据检测结果对空调系统进行的调整应
记录归档。
9.生产过程温湿度若发现异常现象,应及时向质量管理部报告及时处
理。
洁净厂房温湿度监测控制的标准操作规程
一、目的:建立洁净厂房温湿度监测控制规程,使空调系统能够有效控制洁净厂房的温湿度。
二、适用范围:适用于洁净厂房温湿度的监测控制。
三、职责:生产技术部对本标准的实施负责。
四、正文:
1 应根据产品特性及工艺条件要求设计,确定洁净厂房温湿度控制标准及检测点。
2 温度监测:仪器:温度计。
3 相对湿度监测:仪器:湿度计。
4 测试方法:空气平衡测试结束后进行,将温、湿度计安装在墙壁上,可随时观察
温、湿度变化情况,并记录。
5检测测频率:该净化厂房使用时,每三小时检测记录一次。
6标准:空调系统在规定的运行期间和装有加热器的情况下,在全年温度变化的
情况下,应能够将洁净厂房温度维持在 18-26℃,相对湿度控制在 45-65%,或根据
产品需要指定的温度范围。
7在洁净厂房温度和相对湿度的监测过程中,若发现结果超出规定的范围,应及时
检查原因,必要时对空调系统进行调整。
8洁净厂房温湿度的检测以及根据检测结果对空调系统进行的调整应记录归档。
洁净区温湿度及压差恒定控制策略1.洁净区压差梯度控制策略室内压差控制在净化空调系统中是一个非常重要的环节。
只有通过对净化区域的压差进行控制,保证合理的气流组织,才能达到净化和工艺的要求。
例如洁净厂房必须保持一定的正压使外界未经净化的空气不会进入净化区域,保证洁净级别;并且通过对各净化区域的不同的压差控制,达到净化分区的作用,如本项目就要求不同净化级别区域的压差应得到控制不小于10Pa。
因此对于净化空调系统来说,压差控制是非常重要的。
压差控制在实现中是比较困难,要得到并保持精确、稳定的压差对于控制工程师而言是一件具有挑战性的任务。
因此在设计压差控制系统时,必须要根据实际情况从以下几个方面进行分析和确定:风险分析评估;压差控制方法;控制信号与噪声的影响;控制稳定性及响应速度;建筑围护结构、门窗、风管泄漏对压差控制的影响;风阀的选型和风阀质量稳定性。
1.1气流压差控制目的建立有序的气流流向,保证气流从洁净度高的区域流向洁净度低的区域;隔离交叉污染。
1.2洁净室压差控制的实质1)单个洁净室对于单个房间,压差的控制实质就是控制送风量与排风量和回风量的平衡,以保证压差风量(即余风量,也就是单个洁净室的泄漏风量)的不变。
送风量=回风量+排风量+压差风量2)整个空调系统对于整个空调系统所服务的区域:送风量=回风量+排风量+压差风量(即所有房间泄漏风量之和);对于空调机组:送风量=回风量+新风量;二者综合,演变成的公式为:新风量=排风量+压差风量(余风量);即压差的实质是:新风量=排风量+压差风量。
对于整个空调系统,压差的控制实质就是控制排风量和新风量的平衡,以保证压差风量的不变。
正压房间:SA -(EA+RA)=ΔV =ΣQ >0负压房间: SA -(EA+RA)=ΔV =ΣQ <0当整个空调系统所服务的区域无排风要求时:新风量=压差风量(余风量)。
1.3引起压差扰动的因素及对策(1)HVAC系统阻力变化,主要是过滤器阻力的变化,会引起送风量的变化,影响室内压差的波动。
0 引言洁净手术室作为医院中控制要求最高的单位之一,其对温湿度有着恒定的控制要求。
但由于手术室内的无影灯、普通照明灯等均会对温度和湿度产生影响,导致其很难满足手术时温度和湿度需保持恒定的要求,故温、湿度指标是洁净手术室中最重要的控制指标。
温度直接影响病人及医护人员的舒适程度,而当房间湿度大于60%时候,细菌繁殖的速度就会大大加快,从控制细菌滋生的角度出发,湿度控制也极为重要。
这就要求手术室内的空调系统能够根据特定的算法调节温湿度,并根据相应操作面板上的设定值快速响应实时控制要求。
这里采用基于西门子S7—224 和文本显示器400C构成控制系统。
l 系统控制要求1.1 温度控制要求通过设置在风管里的温湿度一体传感器检测回风温度,并将所测得的温度信号送到的模拟输入端。
将测得的温度和通过手术室面板温度设定值比较并进行计算,将结果输出到相应模拟量输出,如冷冻/热水的电动调节阀,通过控制其开度达到温度控制的目的。
1.2 湿度控制要求通过设置在风管里的温湿度一体传感器检测回风湿度,并将所测得的温度信号传送到的模拟输入端。
将测得的湿度和通过手术室面板湿度设定值比较并进行计算,将结果输出到相应模拟量输出。
在冬季模式里通过对加湿器电动调节阀的开度调节达到湿度控制的目的。
而在夏季模式里,湿度的控制并非通过对加湿器开度的单一控制,而是对水阀调节器和加热器的综合控制实现的。
1.3 风道压力控制按照工艺要求,风道内压力需保持一定值,以满足手术室医用要求。
系统通过变频器驱动送风机,事先将满足工艺要求时的变频器频率值作为设定值,将设置在管道内的回风压力检测传感器测得的压力值作为反馈值,通过计算控制变频器的输出频率,以达到风压控制要求。
1.4 人机界面要求按照现场工艺要求,在手术室内设有操作面板一块,可以设定温度,湿度并控制系统启停,同时面板上有实时温度和湿度显示功能;同样,在控制柜上安装了人机界面400C,通过400C 也可设定温度湿度启停机组。
洁净室中的温湿度控制具有保健功能由于将地面作为散热面,自下向上传递热量,给人以温足顶凉的感觉,根据中医学原理,人的脚步体感最舒适温度为29℃,头部体感最舒适温度为18℃,发热电缆供暖系统所创造的环境温度正好与之相符,完全符合人体的生理需求,对人的身体健康十分有利,同时远红外线的辐射对人体具有保健的功能,使它成为最科学的供暖方式。
我们知道,人体中脚部毛细血管较少,血液循环较慢,许多疾病都是因脚部长期着凉引起的,温暖的地面、温暖的床铺、温暖的沙发对风湿病、微循环系统和心脑血管病、肾病、前列腺病、妇科病等许多疾病有预防、保健、治疗的作用,尤其对老年人和儿童更是呵护有加。
在这样的房间中,不需要花钱却每时每刻都享受着足底保健,在崇尚健康、关爱生命的今天,无疑是人们选择冬季供暖方式的新的亮点。
体感舒适发热电缆供暖系统主要是靠远红外线辐射传热(占总传热量的60%以上),其辐射原理与太阳辐射原理相同,我们都知道,热量的传递方式分为对流、传导、辐射三种形式,辐射热是人体感觉最舒适的传热方式,给人以阳光般温暖的感觉,没有空气流动、没有燥热感,人们可根据自身需要,设定最适合自己的室内温度,不受室外温度的影响,不受季节的限制,室内始终保持温暖如春的感觉。
有利于环保电力能源是洁净的能源,对环境没有任何污染。
由于辐射传热代替了空气对流传热,减少了空气中飞扬的尘埃,由于省略了墙壁上的散热器,没有了藏污纳垢的角落,避免了散热器表面的油漆产生的异味,干燥的地面从此告别了因为潮湿带来的蟑螂、潮虫的烦恼,房间里从此空气清新宜人。
由于铝屏蔽阻断了有害的电磁辐射,对人体没有任何危害,经国家物理所对发热电缆的电磁辐射测试结果表明,系统产生的电磁辐射仅为大地磁场电磁辐射量的三十分之一,可以忽略不计,是真正的绿色环保产品。
发热电缆供暖系统运行中没有噪音污染,生活环境十分安静。
万级洁净区温湿度范围洁净室是一种具有特殊环境要求的封闭空间,它的温湿度范围对于保持洁净室内空气的质量非常重要。
万级洁净区是洁净室中最常见的级别之一,它要求更高的洁净度以满足特定的生产需求。
在万级洁净区中,温湿度的控制是至关重要的,下面将详细介绍万级洁净区温湿度范围的要求。
1. 温度范围:万级洁净区的温度范围通常要求在20摄氏度至25摄氏度之间。
这个温度范围是经过科学研究和实践得出的,可以提供舒适的工作环境,并且有利于生产过程的稳定性和产品的质量控制。
过高或过低的温度都可能导致洁净室内环境的不稳定,影响生产效率和产品质量。
2. 湿度范围:万级洁净区的湿度范围通常要求在45%至60%之间。
这个湿度范围是为了保持洁净室内的空气湿度在适宜的水平,既能够防止静电的产生,又能够保持人员的舒适感。
过高或过低的湿度都可能导致静电的积累和产品的损坏,同时也会影响工作人员的工作效率和健康。
3. 温湿度的控制:为了保持万级洁净区内的温湿度在所要求的范围内,通常会采用空调系统、加湿器和除湿器等设备来进行控制。
空调系统可以调节室内空气的温度,确保其在合适的范围内。
加湿器可以增加室内空气中的湿度,而除湿器可以减少室内空气中的湿度。
这些设备的配合使用可以有效地控制洁净室内的温湿度,保障生产过程的稳定性和产品的质量。
4. 温湿度的监测:为了确保万级洁净区内的温湿度始终保持在要求的范围内,通常会安装温湿度传感器来进行实时监测。
这些传感器可以将室内的温湿度数据传输给监控系统,工作人员可以通过监控系统随时了解洁净室内的温湿度情况,并根据需要进行调整。
5. 温湿度的调整:如果万级洁净区内的温湿度超出了要求的范围,需要及时采取措施进行调整。
对于温度过高的情况,可以增加空调系统的制冷量或增加通风量来降低室内温度。
对于温度过低的情况,可以增加空调系统的供暖量或减少通风量来提高室内温度。
对于湿度过高的情况,可以增加除湿器的运行时间或加大排风量来降低室内湿度。
实验室温湿度管控规范
适用于公司品质实验室内的温湿度控制.
1.0 目的
为保证实验室的温湿度控制在有效范围内,确保试验过程的有效性.
2.0范围
适用于公司实验室温湿度控制.
3.0 职责及权限
3.1 检测人员负责每日对温湿度的观测和记录.
3.2 技术质量部负责对所使用的温湿度计进行检定与校准.
4.0运行程序
4.1 温湿度控制范围:
根据公司产品的特点和检验仪器与设备的要求,实
欧阳治创编2021.03.10
验室的温度标准:25±3℃,湿度控制在湿度标准:30%-70%RH.
4.2 观测频次与记录:
每日两次,每次观测时应填写《温湿度记录表》. 4.3 温湿度计的校准:
温湿度计每年应进行一次校准,经校准后的温湿度计方可使用.
4.4 纠正措施:
温度不符合时,打开空调调节温度;若湿度低于30%,可对实验室内进行喷雾加水或打开加湿机增加湿度;若湿度高于70%,打开空调进行抽湿。
4.5 注意事项:
4.5.1温湿度计应挂置在通风良好处,不得装在阳光直射的墙面和空调机出气口,且30min后可指示正确值.
4.5.2室验室温湿度监测值为静态指示值.
4.5.3温湿度计外型结构完好,无机械损伤,表面无划
欧阳治创编2021.03.10
痕和锈蚀,无影响计量性能的缺陷. 5.0 相关记录
《温湿度记录表》
欧阳治创编2021.03.10。
实验室温湿度控制要求
环境条件温湿度的控制方面考虑的要素就是保证实验操作的环境温湿度是能够满足实验程序各个过程的需要。
我们主要从以下几个方面来制定实验室环境温湿度控制范围。
首先,识别各项工作对环境温湿度的要求。
主要识别仪器的需要、试剂的需要、实验程序的需要,以及实验室员工的人性化考虑(人体在温度18-25℃ 相对湿度在35-80%范围内总体感觉舒适,并且从医学角度来看环境干燥和喉咙的炎症存在一定的因果关系)四个方面要素综合考虑,列出对温湿度控制范围要求的清单。
第二,选择并制定有效的环境温湿度控制范围。
从以上各要素所有要求清单中摘取最窄范围作为该实验室环境控制的允许范围,制定环境条件控制方面的管理程序,并依据该科室实际情况制定合理有效的SOP。
第三、保持和监控。
通过各项措施保证环境的温湿度在控制的范围内,并对环境温湿度进行监控和做好监控的记录,超过允许范围及时采取措施,开空调调节温度,开除湿机控制湿度。
三楼实验室监控房间
试剂室温度10-30℃,湿度35-80%
样品存放室温度10-30℃,湿度35-80%天平室温度10-30℃,湿度35-80%
水分室温度10-30℃,湿度35-65%
红外室温度10-30℃,湿度35-60%
中心实验室温度10-30℃,湿度35-80%留样室温度10-25℃,湿度35-70%。
洁净室温湿度如何控制公司标准化编码 [QQX96QT-XQQB89Q8-NQQJ6Q8-MQM9N]
如何对洁净室温湿度进行控制
提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
净化工程具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了线性膨胀,所以必须有±度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。
相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。
相对湿度在50%时易生锈。
此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。
相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。
对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。
洁净室中的气压规定
对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。
压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。
所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
洁净室中的气流速度规定
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。
对于乱流洁净室由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;
(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干s。
对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室),由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。
过去都参考美国20gB标准,采用s.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的,为了节能,也都在探求降低速一风速的可行性。
在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的
垂直平行流(层流)洁净室≥s
水平平行流(层流)洁净室≥ m/s
研究表明以上规定基本上满足控制污染的要求,但认为应区别不同情况分出不同的档别,更能体现节能的目的。