解析化学机械抛光机机械本体设计

cmp磨头结构

【原创实用版】

目录

1.CMP 磨头的概念与作用

2.CMP 磨头的主要结构

3.CMP 磨头的工作原理

4.CMP 磨头的应用领域

正文

1.CMP 磨头的概念与作用

CMP 磨头，全称为化学机械抛光（Chemical Mechanical Polishing）磨头，是一种在半导体制造过程中用于抛光硅片的设备。CMP 磨头的主要作用是通过化学和机械作用相结合的方式，对硅片表面进行高精度抛光，以达到所需的表面粗糙度和平面度。

2.CMP 磨头的主要结构

CMP 磨头主要由以下几个部分组成：

（1）磨头本体：磨头本体是 CMP 磨头的核心部分，主要用于承载抛光垫和驱动抛光过程。它通常由高强度、高耐磨性的材料制成，以保证在高强度的抛光过程中不会损坏。

（2）抛光垫：抛光垫是直接参与抛光过程的部分，其表面涂覆有一层抛光液。在抛光过程中，硅片与抛光垫之间的摩擦力使得硅片表面逐渐变得光滑。

（3）驱动装置：驱动装置负责让磨头本体旋转，并在抛光过程中对硅片施加合适的压力。驱动装置的精度直接影响到抛光过程的稳定性和抛光效果。

（4）控制系统：CMP 磨头通常配有一套先进的控制系统，用于实时监控和调整抛光过程中的各项参数，如抛光速度、压力、抛光液浓度等，以保证抛光效果的一致性和可靠性。

3.CMP 磨头的工作原理

CMP 磨头的工作原理主要分为以下几个步骤：

（1）将硅片放置在抛光垫上，并使其与抛光垫紧密贴合。

（2）驱动磨头本体旋转，并在抛光垫表面涂覆一层抛光液。

（3）在磨头本体旋转的过程中，硅片与抛光垫之间产生摩擦力，使得硅片表面逐渐变得光滑。

机械绘图员工作总结

时间荏苒，岁月如梭，20年已经过去，充满机遇和挑战的20年已悄然到来。回顾过去，我作为一名机械绘图员，以公司的实际工作情况为基础，努力工作，在工作中不断提高自己的绘图能力和专业技能，为公司的发展贡献自己的力量。现在，我将对过去一年的工作进行总结。

一、工作成绩

1、完成了个项目，共张图纸的绘制和审核工作。其中，项目是我参与度最高的项目，涉及到多种复杂机械部件的设计和绘图。在这个项目中，我不仅负责绘图工作，还参与了与设计师和工程师的沟通，确保图纸的准确性和实用性。通过这个项目，我不仅提高了自己的专业技能，还积累了宝贵的工作经验。

2、参加了多次技术培训和研讨会，包括CAD绘图软件的使用、机械设计原理、材料力学等方面的知识。这些培训和研讨会不仅让我更好地了解公司的技术和产品，还扩大了我的知识面和视野。

3、协助团队成员解决了许多技术难题，如某些机械部件的设计和优化、材料选择和加工工艺等方面的疑问。通过与团队成员的协作，我

不仅提高了自己的沟通能力，还加深了对机械行业的了解。

二、工作不足

1、在工作中，我发现自己在某些方面还需要进一步提高，比如对一些新技术和新知识的掌握还不够深入，这需要我在今后的工作中更加努力地学习和实践。

2、在与团队成员的沟通协作中，我也发现自己在表达和沟通方面还有待提高。有时候我会因为表达不清而引起误解或不必要的麻烦。这方面我需要通过多阅读、多交流来提高自己的表达能力。

三、未来计划

1、继续深入学习和研究新技术和新知识，不断提高自己的专业技能和知识水平。同时，我会行业动态和技术发展趋势，以便及时掌握最新的信息和趋势。

抛光设备干抛湿除一体机使用安全基本要求

干抛湿除一体机是指采用干式抛光并自带湿式负压除尘系统的抛光设备。干抛湿除一体机使用场所为涉爆场所，须严格执行有关粉尘涉爆场所的相关要求（含建构筑物、防火间距），且作业场所应符合消防安全有关规定。为保证干抛湿除一体机使用安全，重点明确以下要求：

1、建构筑物与布局：一体机使用场所为乙类涉爆场所，须设置在合法工业用房内，严禁设置在违章建筑、民用、危房内，所在建（构）筑物的结构和布局应当符合《粉尘防爆安全规程》等有关国家标准或者行业标准要求，并采取防火防爆、防雷等措施，单层厂房屋顶一般应当采用轻型结构，打磨抛光湿式除尘一体机不应布置在非框架结构建构物的二层及以上的楼层内。

一体机使用场所内不得设置员工宿舍、休息室、办公室、会议室等，一体机使用场所与其他厂房、仓库、民用建筑的防火间距应当符合《建筑设计防火规范》的规定。

2、建构筑物承载：一体机使用场所荷载应符合建构筑物设计要求。

3、设备设置数量：每幢厂房原则上设置一个一体机使用场所，如分区、分层设置合计不得超过29个工位。其中涉铝镁粉尘抛光作业场所新设工位一律不得超过9个；涉锌粉尘抛光作业场所新设工位原则上不得超过9个。特殊情况下，经属地政府同意，并报县应急管

理局备案，新设工位不得超过29个，不得用于铝镁等抛光作业，如发现有涉铝镁等抛光作业，一律予以取缔。

4、一体机水液位流量控制：一体机应当安装与打磨抛光设备联锁的液位、流速监测报警装置，并保持作业场所和除尘器本体良好通风，防止氢气积聚。

5、通风排风要求：一体机使用场所应按空间大小设置足够量的强制机械通风设施，保证产生的氢气能够有效排至室外（停产期间，窗户需敞开通风；停产2天以上的，必须清理粉尘并排空水盘内的水）；一体机采用外排出风口的需要靠外墙设置，且各出风口排出粉尘需达到环保要求，严禁将一体机外排出风口接管后排放；一体机使用场所必须按规定安装氢气浓度报警器。

机器人柔性抛光系统研究

郎志，

李成群，

贠超

（北京航空航天大学机器人研究所，北京１０００８３）

摘要：介绍了一种用于复杂空间曲面抛光加工的机器人柔性抛光系统。重点介绍了机器人柔性抛光系统的机械结构

以及控制系统原理，对机器人柔性抛光系统中的轮径检测算法和恒压力抛光算法进行了详细介绍。

关键词：机器人；抛光；柔性加工；恒压力抛光中图分类号：ＴＰ２４

文献标识码：Ａ

文章编号：１００２－２３３３（２００６）０６－００２６－０３

研究探讨Ｒｅｓｅａｒｃｈ＆Ｄｉｓｃｕｓｓｉｏｎ

２６

机械工程师２００６年第６

期

１引言磨削抛光是一种应用范围广、技术难度高的特种加工工艺。随着工业及经济的蓬勃发展，当前磨削抛光技术除了向超精密、高效率和超硬磨料方向发展外，自动化也是磨削抛光技术发展的重要方向之一。目前国内外机器人磨削抛光加工主要应用于复杂曲面工件的粗加工，复杂曲面工件的精加工研究基本还停留在仿真阶段。

本文中介绍的新型机器人柔性抛光系统要比普通手工抛光加工系统更能保证加工精度，使抛光出来的工件具备高度的质量一致性，加工效率大大提高，工人工作环境得到改善，同时为复杂空间曲面的加工开辟了一条更先进的途径。

２机器人柔性抛光系统简介

机器人柔性抛光系统主要由一台抛光机、一台ＡＢＢ

公司ＩＲＢ４４００机器人及系统控制柜三大部分组成。２．１柔性抛光系统组成原理

机器人柔性抛光系统的系统原理如图１所示。由两

个平面四杆机构组成其机械本体，控制系统采用ＬＧ公司

Ｋ７Ｍ－ＤＲＴ６０Ｕ的ＰＬＣ为控制部件，将机器人重复定位精

度高的特点和ＰＬＣ顺序控制功能融合为一体，实现抛光加工过程的高度自动化。

化工机械

课程名称：化工机械

英文名称：Chemical Machinery

课程编号：x3030321

学时数： 32

其中实践学时数：0 课外学时数：0

学分数： 2.0

适用专业：化学工程与工艺

一、课程简介

《化工机械》作为化工学院化学工程与工艺的专业必修课，应用广泛。化学工业是多品种的根底工业，化工设备在化工工艺中占据重要地位，化工设备使工艺过程得到实现，合理的化工设备机械设计尤为重要。课程内容包括化工设备材料的性质及其选择方法；化工容器设计的根本学问；内压薄壁容器的应力分析；内压薄壁圆筒与封头的强度设计方法；容器零部件的特点与选用方法以及典型压力容器机械设计分析。

通过《化工机械》课程的学习可以使学生把握化工设备机械设计涉及到的根本原理和方法，使学生具有进展典型化工设备机械设计的初步力量。

二、课程目标与毕业要求关系表

课程目标毕业要求

课程目标 1：使学生具有进展典型化工设备机 1-5 把握化学工程与工艺专业设计学问〔化械设计的初步力量。工CAD制图、化工设计、化工机械〕，并能

用于解决化学工程与工艺相关的简单科学

和工程设计问题。

课程目标 2：使学生把握化工设备机械设计涉 3-2：能够运用相关工程学问，设计满足特及到的根本原理和方法。定工程需求的系统或单元。

三、课程教学内容、根本要求、重点和难点

〔一〕化工设备材料及其选择〔6 学时〕

1.教学内容：概述；材料的性能；金属材料的分类及牌号；碳钢与铸铁；低合金钢；

化工设备的腐蚀及防腐措施。

2.根本要求：了解选材的一般要求；准确把握材料的力学性能；把握材料的物理性能和化学性能；了解材料的加工工艺性能；准确把握金属材料的分类；把握钢铁牌号及表示方法；准确把握铁碳合金的组织构造；知道铁碳合金状态图；理解碳钢中元素对其性能的影响与钢的热处理方法；了解铸铁；理解合金元素对钢性能的影响；知道低合金钢和不锈耐酸钢以及锅炉和压力容器用钢；准确把握金属的腐蚀与晶间腐蚀和应力腐蚀；把握金属腐蚀破坏的形式及防腐措施。

1)超声波抛光的设备超声波抛光设备主要由超声波发生器、超声换能器、机械振动系统、机床本体等部分组成。1)超声波发生器。它的作用是将50Hz的交流电转变成具有一定功率输出的超声波电振荡，是超声波抛光的动力源，在模具加工中多采用晶体管式和集成电路式超声波振荡发生器。2)超声换能器。它的作用是将高频电振荡变为高频机械振动，目前常用的有压电效应式和磁致伸缩效应式超声换能器两种形式。前者是利用在锆钛酸铅介面上加上电压后，则会产生相应的机械波；而后者是利用铁、钴、镍等合金磁性材料在高变磁场作用下，其尺寸发生伸长和缩

是一种常用于模具、玉石、高档工艺品、硬质合金件上的抛光小设备。

细分类别：

市场上可见的超声波抛光机，要分为单一功能抛光机和复合功能抛光机两大类。

单一功能抛光机指仅具有超声波振动功能的抛光机，该类机器操作界面简单、价格较低，比较适适合单一需求的客户，如玉石抛光类、工艺品抛光类、极少量模具精抛类客户。

复合功能抛光机指将超声波抛光与其它常见的模具处理工艺结合起来，即为复合式的超声波模具抛光机，是模具表面处理从业人员的必备便捷工具。

1.与火花工艺复合，即火花整形功能。火花整形，高效、经济，可以快速去除原有加工表面痕迹，如线切割纹等。

2. 与花纹工艺复合，即花纹功能。可在工作面产生类似电火花加工后的花纹，适合于修复或新做模具型腔表面的电火花花纹面。

3.与强化工艺复合，即强化功能。可在工作面产生一层厚度在10-20μm的披覆层。常见的披覆材料有铜和钨钢。铜层通常为防滑层，用来防止跳模。钨钢层通常强化层，用来减小摩擦阻力、提高机械精度、改善切削性能和延长使用寿命等。

机械设计制造及自动化专业毕业论文选题一、概述

二、机械设计制造及自动化专业毕业论文选题明细

1.智能挖掘机械三维环境点云数据处理

2.机械臂远程控制的设计与实现

3.石墨烯化学机械抛光液制备及实验研究

4.钆镓石榴石的化学机械抛光工艺研究

5.钛合金化学机械抛光实验研究

6.20CrNi2Mo钢机械化学抛光的影响因素研究

7.5S管理在FH机械厂的应用研究

8.东莞市诚锋机械有限公司一线生产员工流失原因分析及对策研究

9.四自由度搬运机械手

10.对平面关节型（SCARA）机器人的机械结构及控制系统设计

11.工程机械维修平台的设计与实现

12.数控车床自动上、下料机械手设计

13.板栗仁脱出机械设计

14.板栗去外壳机械系统设计

15.核桃脱出机械设计

16.核桃脱外壳机械系统设计

17.点焊机械手设计

18.电动机式小型禽类自动喂食机机械系统设计

19.膜下液体肥料施用机械设计

20.魔方机器人机械手的设计与分析

21.CK0632数控车床上料机械手设计

22.Delta型3D打印机机械结构研究与设计

23.ES600S3全伺服横走机械手机械本体设计

24.NED700S3全伺服横走机械手机械本体设计

25.NJY2000直角坐标机械手机械本体设计

26.NSA700单轴伺服机械手机构设计

27.新电改背景下广州供电局配电自动化系统的管理优化研究

28.机械设计及其自动化（机械设计)

29.焊枪移动型钢模跑轮自动化焊接专机设计

30.自动化养鸡笼的自动供食供水清粪装置的结构设计

31.配网自动化中分布式电源接入建模与影响分析

32.配网自动化中的FTU设计