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a)
b)
a) 石墨烯的高分辨AFM图像 b) 石墨烯的高分辨STM图像
石墨烯的基本知识
高分辨电镜
高分辨扫描电子显 微镜SEM在一定的衬度 下可以分辨出石墨烯的 晶体缺陷。
C-terminate SiC
Si-terminate SiC
Graphene and Emerging Materials for Post-CMOS Applications, 2009,19(5):125-130
石墨烯的基本知识
SiC衬底高温热解法
C原子重构(Reconstruction) Si-face (0001) SiC
石墨烯家族的其它成员
石墨烷(Graphane)
氢化石墨烯(Graphone)
氧化石墨烯(Graphene Oxide)
石墨烯的基本知识
石墨烯的独特性质
最薄——单层原子厚、准二维 强度最高(~1060 GPa) 惊人的热导率(3000 Wm-1K-1)和硬度 极高的载流子迁移率——105 cm2 V–1 s–1量级 载流子的有效质量为0——弹道输运 室温半整数量子霍尔效应 电导率永不消失
A.K. Geim教授认为,我们所 熟知的石墨、纳米碳管和富勒烯等 C的3维结构,是由单层石墨烯(SG) 经过某种形变而形成的。
石墨烯的基本知识
单层 石墨烯
富勒烯
纳米碳管
石墨
A K Geim & K S Novoselov. Nature Materials, 2007, 6:183-191.
石墨烯的基本知识
北大孙强教授课题组报道 了利用氢化技术,使部分C原子 吸附H,破坏π键,使未氢化C 原子产生未配对的2p电子,它 们之间长程交换耦合,产生铁 磁性,居里温度278~417K,并 将其命名为Graphone。
Nano Letters, 2009, 9(11):3867-3870
石墨烯的基本知识
石墨烯的主要制备方法
单层石 墨烯
Single-layer Graphene(SG)
石墨烯
双层 石墨烯 少层 石墨烯
Bi-layer Graphene(BG)
层间以范德华力 (Van Der Waals)结合
Few-layer Graphene(FG) (层数<10)
石墨烯的层数不同,性质也随之产生很大差异。
石墨烯的基本知识
如果采用超 声剥离技术, 可以提高效 率和成品率
Nanotechnology, 2008, 19: 455601
石墨烯的基本知识
SiC衬底高温热解法
超高真空(10-10Torr)下对SiC衬底氧化或氢化处理,加热 至1200~1500℃,再降温冷却形成石墨烯。优点是可得到单层 和双层石墨烯,缺点是成本高、均匀性差,Si面形成单层或少 层片状石墨烯,C面形成多层石墨烯。
石墨烯的基本知识
石墨烯主要制备方法比较
工艺名称
优点
缺点
适用范围
微机械 工艺简单,可得到 手工、费时,面积 基础研究或
剥离
单层
小,无法批量生产 者原型器件
SiC高温 纯度高,可原位监 均匀性较差,不同 高性能的电
热解 控,可大面积生长, 原子截止面性质差 子器件,晶
无需衬底转移
异明显,成本高昂
圆级
石墨烯的基本知识
A. K. Geim和K. S. Novoselov已获2010 年诺贝尔物理奖
石墨烯的基本知识
什么是石墨烯?
石墨烯——英文Graphene, 命名来自英文graphite+ -ene,是一 种由C原子经sp2电子轨道杂化后形 成的蜂巢状的准二维结构,是C元 素的另外一种同素异形体。
金刚石(Diamond)— —四面体结构,四个碳原 子占据四面体的顶点。
石墨烯的基本知识
富勒烯(Fullerene)
1985年,英国化学家哈罗德·沃 特尔·克罗托博士和美国科学家理查 德·斯莫利等人在氦气流中以激光汽 化蒸发石墨实验中首次制得由60个 碳组成的碳原子簇结构分子C60。克 罗托获得1996年度诺贝尔化学奖。
石墨烯的基本知识
石墨烯的光学性质
石墨烯被氧等离 子体处理后,被波 长514nm的激光激发, 会产生500~800nm的 可见光光谱,光子 寿命在2ns以上。 1、2和3区域分别为 单层、双层和3层石 墨烯。
ACS Nano, 2009, 3: 3963
石墨烯的基本知识
石墨烯的磁学性质
石墨烯电子杂化程度高,本身不具磁性,引入 杂质或缺陷使外层有未配对电子,会产生磁性。
石墨烯的基本知识
石墨烯的发现推翻了所谓“热 力学涨落不允许二维晶体在有 限温度下自由存在”*的原有认 知,震撼了整个物理界。因此 其发现者A. K. Geim和K. S. Novoselov获得了2008年诺贝尔 物理学奖的提名。
* Novoselov K S, Geim A K,
Firsov A A. Science, 2004, 306:666-669.
石墨烯的基本知识
单层石墨烯的反常电导率
零电场下,石墨烯 在Dirac点附近的电导 率并未因载流子浓度n 趋于零而消失,相反却 接近量子化的电导率 4e2/h
产生的原因可能是 石墨烯的原子层起伏或 者与衬底的杂质间的相 互作用
石墨烯的基本知识
量子霍尔效应(QHE)
SLG的霍尔电导率xy 4(N 12)e2 / h ,相对于标 准序列数值改变了1/2,4来自于双自旋和双能谷简并; BLG遵循标准序列xy 4Ne2 / h ,但N=0,第一个峰 消失,表明在中性点BLG有金属的性质。
随后又陆续发现C70等一系列由 非平面的五元环、六元环等构成的 封闭式空心球或椭球结构的共轭烯 结构,以建筑学家富勒命名为富勒 烯。
C60球棍模型
石墨烯的基本知识
纳米碳管(Carbon Nanotube)
在1991年日本NEC公司基础研 究实验室的电子显微镜专家饭岛 (Iijima)在高分辨透射电子显微镜下 检验石墨电弧设备中产生的球状碳 分子时,意外发现了由管状的同轴 纳米管组成的碳分子,这就是现在被 称作的“Carbon Nanotube”,即碳 纳米管,又名巴基管。
碳纳米管一般分为单壁(右上) 和多壁(右下)两种。
石墨烯的基本知识
石墨烯(Graphene)
2004年,曼彻斯特大 学Geim教授、Novoselov博 士和同事以微机械剥离法剥 离层状石墨,发现了二维碳 原子平面结构——石墨烯。
3个C 原子
6个C 原子
高分辨STM图片 a) 石墨 b) 单层石墨烯
These two atoms for two interlocking triangular sublattices.
石墨烯的基本知识
- A atom - B atom
Graphene has two simple edge geometies.
The zigzag termination involves only one sublattice site.
CVD 可实现大面积生长, 需过渡族金属催化, 高性能电子
外延
可控性较好
必须衬底转移 器件,晶圆
级
化学分离 工艺简单,可控性 无法大面积,含氧 基础研究或
较好
功能团降低性能 小型器件
其它
石墨烯的基本知识
石墨烯的表征方法
原位(主要是在SiC高温热解法)
AES、LEEM
离位
可以直接 得到层数
高分辨扫描隧道显微镜(STM)
为进一步破坏层间范德华力,减少含氧功能团 进行的改进。
共价键修饰 非共价键修饰 金属颗粒或离子修饰
石墨烯的基本知识
其它方法
石墨烯还可以采用化学方法直接合成先合成六 苯并蔻(HBC) ,然后在FeCl3 或Cu (OTf) 2-AlCl3 作用 下环化脱氢得到较大平面的石墨烯。
在上述制备方法中,超声剥离、SiC高 温热解和CVD-衬底转移三种方法被认 为最有希望实现大面积晶圆级石墨烯的 制备,使得石墨烯最终替代Si,成为延 续摩尔定律的下一代半导体材料。
物理方法
HOPG微机械剥离法 超声剥离法
化学方法
SiC高温热解法 过渡族金属衬底CVD法 氧化-分散-还原法 其它方法
石墨烯的基本知识
HOPG微机械剥离法
利用手工或超声的方法将高取向性高温热解石 墨(HOPG)逐层剥离,缺点是效率低、无法大面积, 优点是层数可控,尤其可得到单层石墨烯。
Nature, Letters, 2009,457:07719
石墨烯的基本知识
氧化-分散-还原法
将石墨氧化后分 散(超声、高速离心) 到溶液中得到前体, 再用还原剂还原得到 单层或多层石墨烯。 优点是成本低廉,缺 点是可控性差,生产 率低,石墨烯中含氧 功能团多,导电性差。
石墨烯的基本知识
氧化-修饰-还原法
石墨烯
王东 2010年10月
调研报告的主要内容
石墨烯的基本知识 石墨烯的研究进展 晶圆级石墨烯 本人对该项目的若干建议
石墨烯的基本知识
C元素的同素异形体
石墨(Graphite)——层状 结构,每一层中的碳按六方环状 排列,上下相邻层通过平行网面 方向相互位移后再叠置形成层状 结构,位移的方位和距离不同就 导致不同的多型结构。
石墨烯的基本知识
石墨烯的层间堆垛结构(Stacking)
单层石墨烯(Single-layer)
三层石墨烯(Tri-layer) 双层石墨烯(Bi-layer)
源自文库 石墨烯的基本知识
石墨烯的基本知识
- A atom - B atom
Graphene has two atoms per unit cell.
石墨烯的基本知识
石墨烯的输运特性
对于单层或双层石墨烯,其最显著的性质: 1.高室温迁移率,且电子与空穴的迁移率几乎相 等,其散射机制主要是声子散射; 2.载流子模型为无质量的狄拉克-费米子 (Massless Dirac-Fermions); 3.半整数和反常霍尔效应、室温量子霍尔效应; 4.电子相干弹道输运; 5.库伦阻塞等。
石墨烯的基本知识
石墨烯的能带结构(一)
载流子为无静止质量的狄拉 克-费米子,需用相对论量子力学 来描述。
Physics Today (2007)
石墨烯的基本知识
石墨烯的能带结构(二)
Monolayer
Bilayer
K
x K
x
Vertical optical transition
Van Hove Singularity
(3 3) 850C(11) 1000C( 3 3) 1150C(6 3 6 3) 1350CGraphitization
Graphene C-face (000-1 ) SiC ()
Graphene C-SiC
石墨烯的基本知识
过渡族金属衬底CVD法
首先沉积一层过 渡族金属(如Fe、Cu、 Ni、Pt、Au、Ru、Ir 等)薄膜作为衬底,利 用其与C的高温固溶, 然后冷却析出,再表 面重构,形成石墨烯。 优点是有利于大面积 晶圆级石墨烯生长; 缺点是层数精确控制 较难,需要进行金属 衬底剥离和衬底转移。
石墨烯的独特性质是由其独特的结构 所决定的。
石墨烯的基本知识
石墨烯
C原子外层3个电子通过sp2杂化 形成强σ键(蓝),相邻两个键之 间夹角约为120°;第4个电子 为公共,形成弱π键(紫),为平 面结构。
金刚石
C原子外层四个电子通过 sp3杂化,形成较强σ键,为 四面体结构,相邻两个键之 间夹角约为109°。
The armchair termination involves both sub-lattice sites.
Modified from: http://www.ewels.info/img/science/graphite © Dr. Chris Ewels, Inst. of Materials
石墨烯的稳定性
由于完美二维晶体不能在有限温度下稳定存在 ,近期理论模拟和透射电镜实验结果给出了可能的 解释,即石墨烯平面上存在纳米级别的微观扭曲。
石墨烯在聚合 物中的相变。 a) 加热前; b) 加热后
Nano Letters, 2009, 9(5): 2129-2132
石墨烯的基本知识
石墨烯的种类
原子力显微镜(AFM)
高分辨扫描/透射电子显微镜(SEM/TEM)
显微拉曼(Raman Spectroscopy)
X射线衍射(XRD)
其它光学方法
石墨烯的基本知识
光学方法观察石墨烯
石墨烯的基本知识
高分辨STM/AFM
高分辨AFM可以分辨石墨烯的层数;而高分辨的 STM可以分辨石墨烯的晶体结构,但是效率很低。