气体质量流量计参数

涡街设定参数（1）测量气体时单位1、SYSTEM UNITE---MEASURING UNITE TYPE----CALCULATED CORRECTED VOLUME2、CURRENT OUTPUT ---V ALUE 20mA （输入量程）3、PROCESS PAREMETER—APPLICATION GAS/STEAM（气体）LIQUID（液体）注：*气体时候必须修改此参数OPERATING DENSITY（操作密度）；注：*数据表中可以查找到此参数REFERENCE DENSITY(参考密度)：标准密度注：*数据表中可以查找到此参数OPERATING TEMPERATURE(操作温度)：注：*数据表中可以查找到此参数1、SYSTEM UNITE---MEASURING UNITE TYPE----CALCULATED FLOW2、CURRENT OUTPUT ---V ALUE 20mA （输入量程）3、PROCESS PAREMETER—APPLICATION GAS/STEAM（气体）LIQUID（液体）注：*气体时候必须修改此参数OPERATING DENSITY（操作密度）；注：*数据表中可以查找到此参数OPERATING TEMPERATURE(操作温度)：注：*数据表中可以查找到此参数1、CURRENT OUTPUT ---V ALUE 20mA （输入量程）3、PROCESS PAREMETER—APPLICATION GAS/STEAM（气体）LIQUID（液体）注：*气体时候必须修改此参数OPERATING TEMPERATURE(操作温度)：注：*数据表中可以查找到此参数质量计设定参数测量液体时：1设定单位SYSTEM UNITE中2设定量程OUTPUT中找到V ALUE 20mA测量气体时：1设定单位SYSTEM UNITE中2设定量程OUTPUT中找到V ALUE 20mA3 PROCESS PAREMETER---EMPTY PIPE DETECT （EPD空管检测）选择：OFF注：*测量气体时必须关闭空管检测更换电路板后需要设定所有参数，并且要重新设定传感器参数,这些参数最好在更换前记录下来：SENSOR DATA菜单下K-FACTOR METER BODY MB NOMINAL DIAMETER .见下B图5 k-factor body MB。

气体质量流量计MEMS 系列MF5700在使用本产品之前，请您仔细阅读说明书，并请妥善保管，以备将来需要气体质量流量计气体质量流量计提供世界领先的流量传感器技术及产品，以满MEMS 灵敏度高，能够对极小的始动流量就可以开始计量在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了50:1甚至更高 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性支持多种气体的测量，允许客户对某些特殊气体进行现场标定 响应速度快输出方式灵活，提供LCD现场显示，也可提供RS485通讯接口由上位机查询输出数据 可通过按键配置参数 具有超量程报警指示功能便携式设计，电池供电和外部供电方式可以任意切换NPT连接方式，易于安装与使用也可根据客户需求定制其他接口，食品行业化工行业科研院校机电行业烟草行业玻璃行业分析仪器行业广州汉川仪器仪表有限公司足客户的要求设计和定制产品。

进一步的信息，请直接与我司联系。

1MF5700系列气体质原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。

该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。

当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的温度场分布。

一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。

由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的质量流量或总流量。

下图为该系列流量计的原理框图。

P i n 3)V C CR S 485AR S 485BP i n 4)G N D (3.6～9)VDC选配线缆量流量计是基于广州汉川仪器仪表有限公司自主研制的ＭＥＭＳ流量传感芯片，其的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。

　微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化2* SLPM-标准升每分钟，NCM-标准立方米；** 可根据要求定制。

3注：1）按照箭头指示方向接入气流，如果反接，则显示的流量将始终为0;2）产品可以选配一根1米长带MiniUSB插头的连接通讯电缆，该线缆可以实现外部供电和通讯；其引线定义见8.1。

AMS2106数显气体质量流量计产品说明书产品特点•质量流量与温度集成测量•量程200L/min•重复性好•支持多种气体测量•可配置参数•标准Modbus-RTU通信•段码屏显示•可用电池或9～24V DC电源供电•默认NPT 1/2连接，可根据客户需求定制接口应用范围AMS2106应用于监测空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等干燥洁净无腐蚀性气体（易燃易爆炸气体除外）的质量流量。

可广泛应用于高校科研、消防、环境监测、烟草、智慧农业、食品、医药等行业。

图1 AMS2106产品综述AMS2106是一款热式质量流量传感器，通过测量电阻变化计算测量气体的质量流量。

传感器采用自主研发的MEMS质量流量芯片，具有直观、精准、稳定，同时具有耐高低温、线性好、响应时间快等特点。

出厂前对AMS2106相关性能、参数进行了严格的测试和校准。

1. 外观结构和引出线1.1 外观结构及工作界面图2展示的是AMS2106的外观结构及工作界面，包含了传感器风道和工作界面等。

工作界面包括段码屏和操作按键，段码屏显示的内容有流量计Modbus通信地址、气体温度、电池、累积流量及瞬时流量。

按键包括向上、菜单和向下三个按键。

传感器风道在工作界面下方，包括进气和出气接口。

风道上的箭头指示了传感器要求的气体流向。

图2 AMS2106示意图1.2 引出线定义图3 引出线示意图颜色引线接口名称及定义黑色（粗）屏蔽线白色RS485 B-红色VCC（9～24V DC）绿色RS485 A+黑色（细）GND表1 引出线定义2. AMS2106技术指标及基本信息参数描述量程0～200L/min（标准）精度±3%FS重复性0.5%FS响应时间≤2s供电方式3节AA电池或外部电源9～24V DC输出方式RS485显示方式段码屏显示单位累计流量：SL（L，标况）瞬时流量：SLPM（L/min, 标况）最大工作压力0.8MPa压力损耗≤2000Pa标准校准气体空气（标况）引出线专用Type-C定制数据线功耗≤50mW机械接口NPT 1/2净机重量280g注：标况指25℃，1个标准大气压。

热式质量流量计说明书1.概述热式气体质量流量计是基于热扩散原理而设计的，该仪表采用恒温差法对气体进行准确测量。

具有体积小、数字化程度高、安装方便，测量准确等优点。

传感器部分由两个基准级铂电阻温度传感器组成，仪表工作时，一个传感器不间断地测量介质温度T1；另一个传感器自加热到高于介质温度T2，它用于感测流体流速，称为速度传感器。

该温度ΔT=T2-T1，T2>T1，当有流体流过时，由于气体分子碰撞传感器并将T2的热量带走，使T2的温度下降，若要使ΔT保持不变，就要提高T2的供电电流，气体流动速度越快，带走的热量也就越多，气体流速和增加的热量存在固定的函数关系，这就是恒温差原理。

(1)其中—流体比重（和密度相关）V—流速K —平衡系数Q—加热量（和比热及结构相关）ΔT—温度差由于传感器温度比介质（环境）温度总是自动恒定高出30℃左右，所以热式气体流量计从原理上不需要温度补偿。

热式气体质量流量计适用介质温度范围为-40-450℃。

（1）式中流体比重和密度相关—工况体积下的介质密度（kg/m3）—标准条件下介质密度（101.325 Kpa、20℃）（kg/m3）ρnP —工况压力（kPa）T —工况温度（℃）从（1）（2）式可以看出，流速和工况压力，气体密度，工况温度函数关系已确定。

恒温差热式气体质量流量计不但不受温度影响，而且不受压力的影响，热式气体质量流量计是真正的直接式质量流量计，用户不必对压力和温度进行修正。

2．技术参数热式气体质量流量计具有如下技术优势：➢真正的质量流量计，对气体流量测量无需温度和压力补偿，测量方便、准确。

可得到气体的质量流量或者标准体积流量。

➢宽量程比，可测量流速高至120Nm/s低至0.1Nm/s的气体，可以用于气体检漏。

➢抗震性能好使用寿命长。

传感器无活动部件和压力传感部件，不受震动对测量精度的影响。

➢安装维修简便。

在现场条件允许的情况下，可以实现不停产安装和维护。

产品数据手册 Rev1.0Date:3/03/2015 Data sheets◆ 直接式测量气体质量◆ 宽量程比，可测量低至0.3Nm/s ◆ 响应速快，测量精度高◆ 多参数测量，可测量流量、温度、压力，节省成本 ◆ 无可动部件，不堵塞◆ 安装简单，单点插入，支持不断流、在线带压安装 ◆ 多路输出信号：4-20mA 电流、脉冲输出 ◆ 智能自诊断，降低产品维护成本 ◆ 支持多种通信方式（HART 、Modbus-RTU ）目录1概述 (3)1.1测量原理 (3)1.2 产品概述 (4)2参数 (5)3材料 (8)4 安装 (8)4.1安装直管段要求 (8)4.2流量计插入管道方向选择 (10)5 仪表尺寸和外形结构 (11)5.1仪表尺寸和外形结构 (11)5.2卡套球阀连接流量计的G1/2”焊接基座 (14)5.3 分体式流量计表头 (14)产品数据手册Rev1.0 Date:3/03/2015 Data sheets产品数据手册 Rev1.0Date:3/03/2015Data sheets 1 概述1.1测量原理TGF450系列热式气体质量流量计为恒功率型热式气体质量流量计，基于热传导技术原理，采用牛顿热力学定律，以实现对气体质量流量的测量。

TGF450流量计的测量元件由两个铂电阻传感元件和一个加热元件构成（如图1.1），它们被置于流体中。

测量时，一个传感元件由加热功率为Ｐ的加热元件进行加热，使其温度升至Ｔ1；另一传感元件不被加热，以用于测量介质温度，设为Ｔ2，因此两个传感元件之间将产生温差△Ｔ=Ｔ1－Ｔ2。

当流量为零时，△Ｔ最大，随着流量Ｑ的增大，传感元件的热量被带走，从而温度Ｔ1下降，则△Ｔ减小。

根据牛顿热力学定律，加热功率Ｐ、温差△Ｔ与质量流量Ｑ之间满足下式：Ｐ/△Ｔ＝Ｋ1＋Ｋ2*F(Q)K3上式中Ｋ1、Ｋ2、Ｋ3是与气体物理性质有关的参数, Ｐ为恒定加热功率，△Ｔ为传感元件的温差，F(Q)为质量流量与温差△Ｔ满足的函数关系式，Ｑ为质量流量。

REV. 2.7CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录控制方式 (20)第一部分产品说明 3.21.1 声明 ................................................... 1 3.3 调零 (20)1.2使用须知 ............................................ 2 3.4 软启动 .. (20)1.3安全注意事项 .................................... 2 3.5 延迟 (21)1.4 概述 ................................................... 3 3.6 阀控制 .. (21)1.5 技术指标 ........................................... 4 3.7 阀类型 .. (21)1.6 标定 ................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (21)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (21)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (22)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (22)第二部分安装第四部分维护2.1 概述 ................................................... 6 4.1 概述 (23)2.2 打开包装 ........................................... 6 4.2 注意事项 . (23)2.3 机械安装 ........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (23)2.3.1 概述 ................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (23)2.3.2 安装 ................................................ 13第五部分故障诊断2.3.2.1 1/4″VCR接头安装方法............ 13 5.1 初步检查 . (24)2.3.2.2 双卡套接头的安装方法 ............. 14 5.2 故障检查 . (24)2.4 电气安装 ........................................... 14第六部分保证和服务2.4.1 概述 ................................................ 14 6.1 七星电子有限保证 (25)2.4.2 连接 ................................................ 15 6.2 产品保证 . (25)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 17 6.3 服务 (26)2.5 工作检查 ........................................... 20 6.4 免责声明 . (27)第三部分功能介绍附录Ⅰ (28)3.1 概述 ................................................... 20附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第1页 共30页气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册第一部分 产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。

热式质量流量计【热式质量流量计性能特点】：热式气体质量流量计是利用热传导原理测量气体质量流量的仪表。

热式质量流量计的传感器由两个基准级热电阻(铂RTD)组成。

一个是质量速度传感器T1，一个是测量气体温度变化的温度传感器T2。

当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器T1被加热到气体温度以上的一个恒定的温差，另一个传感器T2用于感应被测气体温度。

随着气体质量流速的增加，气流带走更多热量,传感器T1的温度下降，要维持T1、T2恒定的温度差，T1的加热功率就要增大。

根据热效应的金氏定律,加热功率P、温度差△T（T1-T2）与质量流量Q有确定的数学关系式。

P/△T=K1+K2 f(Q)K3K1、K2、K3是与气体物理性质有关的常数。

【热式质量流量计的应用】：●氧气、氮气、氢气、氯气及多组分气体测量。

●高炉煤气、焦炉煤气测量。

●烟道气测量。

●沼气、水处理中的曝气和氯气测量。

●压缩空气测量。

●天然气，液化气，火炬气，等气体流量测量●电厂高炉的一次风、二次风流量测量●矿井下通风或排风系统流量测量【热式质量流量计特点】：●测量气体质量流量，无需温度、压力补偿。

●量程比大，测量流速范围：0.1Nm/s～100Nm/s。

●无压力损失，适用已知截面积的任意形状管道。

●耐腐蚀型传感器，适合测量腐蚀性气体。

●插入式传感器可以在线安装和维护。

●全量程段的专家算法，保证了测量的准确度。

适于贸易结算或气体检漏。

●液晶显示器：8位字段式+24位提示符。

●测量显示:质量流量、标况体积流量、累计流量、北京时间、累计运行时间。

●瞬时流量最大显示值：999999.9●累计流量最大显示值：99999999×103●信号输出：4～20mA、RS-485●内置MENU（菜单）、CUS（光标移动）、UP（数值增加）、ENT（确认）四个按键，用于参数的设定。

热式气体质量流量计由一体式流量转换器、流量传感器组成。

按流量传感器的型式分为：插入式和管段式热式气体质量流量计。

e+h质量流量计技术参数
E+H质量流量计是由Endress+Hauser公司生产的一种流量测量
仪器，具有高精度和稳定性。

它通常用于测量液体或气体的质量流量。

该流量计的技术参数包括测量范围、精度等级、工作温度范围、压力等级、材料、安装要求等。

具体的技术参数需要根据不同型号
的E+H质量流量计而定，您可以在相关的产品手册或技术规格表中
找到详细的信息。

一般来说，E+H质量流量计的技术参数会根据不
同的应用需求而有所不同，因此在选择和使用时，需要根据实际情
况进行详细的了解和评估。

SIARGO LTD.矽翔微机电系统有限公司Siargo Ltd.提供世界领先的流量传感器技术及产品，以满足客户广泛的应用需求。

本书为现有定型产品的使用说明，矽翔微机电系统有限公司也能够根据客户的要求设计和定制产品。

进一步的信息，请直接与矽翔微机电系统有限公司联系（详见客户服务部分）或访问我们的网站。

中国大陆的客户请访问。

（）MEMS 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了流量计的高精度计量 灵敏度高，能够对极小的始动流量就可以开始计量在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了50:1甚至更高 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性支持多种气体的测量，允许客户对某些特殊气体进行现场标定 响应速度快输出方式灵活，提供LCD现场显示，也可提供RS485通讯接口由上位机查询输出数据 可通过按键配置参数 具有超量程报警指示功能便携式设计，电池供电和外部供电方式可以任意切换NPT或BSPT连接方式，易于安装与使用也可根据客户需求定制其他接口，食品行业化工行业科研院校机电行业玻璃行业分析仪器行业MF5700系列气体质量流量计是基于矽翔微机电系统有限公司自主研制的MEMS流量传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。

该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。

当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的温度场分布。

一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。

微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。

由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的质量流量或总流量。

下图为该系列流量计的原理框图。

P i n 3)V C CR S 485AR S 485BP i n 4)G N D (3.6～9)VDC选配线缆注：1）按照箭头指示方向接入气流，如果反接，则显示的流量将始终为0;2）产品可以选配一根0.5m长带MiniUSB插头的连接通讯电缆，该线缆可以实现外部供电和通讯；其引线定义见8.1。

热式气体质量流量计原理和标定过程热式气体质量流量计是一种常用的流量测量仪器，用于测量气体在管道中的流量。

其原理是通过测量气体通过加热丝导致的温度变化来计算气体的质量流量。

在工业生产中，热式气体质量流量计被广泛应用于石油化工、制药、食品加工等领域。

本文将介绍热式气体质量流量计的原理和标定过程。

一、热式气体质量流量计的原理热式气体质量流量计的原理基于加热丝所受的对流冷却作用。

当气体流过加热丝时，气体流速越快，对流冷却作用越强，导致加热丝的温度降低。

测量加热丝受冷却作用后的温度变化，即可计算出气体的质量流量。

热式气体质量流量计的工作原理可以用以下公式表示：\[Q=MC_p\Delta T\]其中，Q为流量，M为气体质量，C_p为定压比热，ΔT为温度变化。

热式气体质量流量计的测量原理是利用加热丝受到的冷却作用来判断气体流量，其准确性受到温度的影响。

因此，要保证测量的准确性，需要对热式气体质量流量计进行定期的标定。

二、热式气体质量流量计的标定过程热式气体质量流量计的标定过程通常分为实验室标定和现场标定两种方式。

1.实验室标定实验室标定是指将热式气体质量流量计安装在标定装置上，以标准流量作为输入，通过比对测量结果与标准流量值的差异，来确定流量计的准确性。

实验室标定需要精密的标准流量仪器和标准气体，因此成本较高，但标定结果准确可靠。

2.现场标定现场标定是指将热式气体质量流量计直接安装在流体管道上，利用相关的标定设备进行标定。

现场标定相对于实验室标定来说更加方便和经济，但标定结果可能受到环境条件和流体状况的影响。

因此，在实际应用中，一般会根据需要选择实验室标定和现场标定相结合的方式进行标定。

无论采用何种方式，热式气体质量流量计的标定过程都需要以下步骤：1)准备工作在进行标定之前，需要对设备和标准气体进行检查，并将相关仪器调整到标定状态。

2)标定参数设置设定标定参数，如温度、压力、流速等，以确定标定的范围和精度。

气体质量流量计使用说明书1. 安装与准备1.1 安装步骤1.2 设备调试在安装气体质量流量计之前，需要先确认电源、气管路连接正常，无泄漏等现象。

然后按照以下步骤进行设备调试：零点标定：将气体质量流量计放置在无气流的空气中，观察显示面板上的读数，调整零点旋钮，使读数为零。

量程调整：根据实际需求，调整量程旋钮，使流量计的测量范围与实际需求相匹配。

误差修正：在已知流量的情况下，对流量计进行误差修正，以提高测量精度。

2. 使用方法2.1 基本操作开机使用：将电源开关拨至“开”位置，按下“启动”按钮，流量计开始工作。

关机操作：将电源开关拨至“关”位置，按下“停止”按钮，流量计停止工作。

参数设置：通过操作面板上的按键，可以设置气体类型、流量单位、报警阈值等参数。

显示界面：气体质量流量计的显示面板上会实时显示当前流量、累计流量、气体温度和压力等数据。

2.2 高级设置在基本操作的基础上，气体质量流量计还具有一些高级设置功能，如自动校零、自动量程调整、自诊断等。

这些功能可以通过操作面板上的菜单键进行选择和设置。

3. 故障诊断与排除3.1 常见问题流量计无法开机：可能是电源连接不良或设备故障导致，需要检查电源线和流量计本身是否存在问题。

流量计显示异常：可能是由于传感器故障、信号处理电路问题或显示屏损坏等原因引起，需要进行相应的检查和维修。

管路漏气或堵塞：可能是由于连接不当或管道质量问题导致，需要检查管道连接处并清理堵塞物。

3.2 故障码解读当气体质量流量计出现故障时，会在显示面板上显示故障码。

根据不同的故障码，可以判断出故障的原因和位置，方便进行维修。

4. 保养与维护4.1 清洁与保养定期清理气体质量流量计的表面和进气口，以保持清洁，避免灰尘和杂质的干扰。

每半年对流量计进行一次维护保养，包括检查管道连接、清理内部灰尘等。

4.2 定期检查每月检查一次气体质量流量计的电源线和气管路连接，确保无松动或泄漏现象。

每半年检查一次流量计的零点和量程调整，以确保测量准确度。