衍射光学元件
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衍射光学元件 DO(Diffractive Optics)
1、衍射光学技术的定义:
基于光的衍射理论,利用计算机辅助设计、并用大规模集成电路制作工艺,在基片上(或传统光学器件表面)刻蚀产生两个或多个台阶深度的浮雕结构,它是一种纯位相衍射光学元件。
衍射光学元件就是利用衍射光学技术制作的光学元件。
2、如何制作衍射光学元件
(1)多台阶位相器件的制作
(2) 连续位相器件的制作
(3) 复制工艺
(4) 刻蚀轮廓测量
3、衍射光学元件的应用
•折衍混合物镜
• 光束匀滑
• 光束准直
• 分束与合束
• 光学图象处理
•微光谱仪
• 光束扫描 • 光盘读数头 • 激光热处理 • 亚波长结构