真空热压烧结炉简介
前言：对于全属、陶瓷及一些难煉全厲中间化合物粉末的烧结，一般常采用两种烧结方式即无压烧结和有压烧结。而目侖的有压烧结圭要常采用三种方式，热等静压烧结、热压烧结及毛压烧结。随着新材料的不断开发及市场化，上述三种有压烧结方式正在彼愈来愈多的采用。热等挣压烧结及毛压烧结设备由于旨身及生产成本较为昂贵，不丈适合久多生产厂家特别是一些科研单住的需求，因而研制并生产真空热压烧结炉有着其现卖意义。现亦的硏兗及生尹卖践证朗，热压材料致密化的过程包括塑性流动、粘性流动和扩散与螭变，当以塑性和粘性流动成为主导敷密机制时，粉末体得以快速玫密化，并得到可控的显微结构。热压法的优势亦于设备投资小、虽然压力较等挣压低一个教量级、但由于热压机內承压材料可以支细，从而限制了纵向热流，改善了工件温度场的均勻性、大丸睁低了能耗、可以制备大直径的材料、能够以IT技术测控热压机，有效的控制材料的致密化过程及质量。
热压烧结是利用热能与机械能将•制品玫密化的过程。此过程的特色是烧结温度可依外加压力的丸小而比常压烧结低约200-00°C, 同时外加的能量使得制品致密化的速度加快，因此完全玫密且晶耘细致的制為可亦轶低的温度及轶短的时问内完成；而采用真空热压烧结，由于热压过程中保持有较；⅜的真空度，能够进一步有效地阵低制阮的烧结温度并;⅛数排除微小毛孔中的毛体，从而进一步的促进热压材料的致密化过程。众所周知，烧结温度的阵低，对于微粉制品，能够有效的防止晶耘的长丸，对于最终产品质量的稔定有着极其重要意义。尤其是对于樓近纳采级硬质合全等材料，由于颗耘直径的减小、比表面积增大、表面活化能增加、颗耘间的接紐面积增加，最终造成最终烧结的驱动力增大，阵低了大毛孔的产生及毛孔的数量。现往硏允发现，纳采级粉未制品的烧结驱动力是普通制品的几十甚至上百馆。抑制烧结过程
中晶耘的长丸是获得纳采骷耘制品最为关键的过程, 而真空热压烧结工艺能够很好的卖现这一点，这一点在ITO鞄材的卖际生尹中己得到了证朗。
一、真空热压烧结炉的分类
真空热压烧结炉依使用温度的不同可分为以下几类。由于使用温度的不同，加热•室中所采用的加热方式及保厦方式千差万别。温度在8∞0C 以下的炉子，加热器常采
用铁络銘、镣钵丝等作为加热元件，保温材料常采用需温硅酸銘保温毡。温度在IOOO o C-1600O C常采用全属钿、硅钿棒、硅碳棒等作为加热元件，保温材料常用复合碳毡、莫来石毡等。温度⅛160O o C -220O o C t用石屋管作为加热元件，或采用感应加热方式，保温材料常用石墨毡等。
加热丿
二、真空热压烧结炉的组成(色阻式
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1、炉壳
炉壳由炉体和炉门构成，为玖层冷却水套式结枸。
(D设备炉壳是按最大承受压力范囲为〜设计。
②炉壳为卧式，側开平移门，炉壳上有真空糸统接口，测温摟口，水冷电极棲口、
尢放毛摟D及视孔接口等，均按；⅛真空挣密封栋准设计；炉体上的上下压头裝置（上下各一套丿、热电偶裝置及捋扱机构均为壽真空动密封结构，炉门和炉壳均采
用焊接结构。
③对于尺寸较小的热压炉，炉门与炉体采用较链连接方式，由于石墨压头、炉料及石屋炉具相对较轻，常采取側开炉门与加热童內的保温側开门朕为一体，便于加热元件、压头、模具等的安就及进、出料。⑥对于尺寸较大的热压炉，由于石屋压头、料及石屋模具较重，则设计成可移动式水冷电缆，将•炉门与加热•室朕成一体，通过内、外巧妙设计的轨道，可将加热•室移出炉外特定住置，卖现外加料及外出模并便于加热
空的维护（如Jt换加热器等）。
2、加热室：
由不锈钢外壳和保温材料及加热体组成，加热童内側开门与炉门连为一体，加热器通过水冷电极与外界电源连接。加热羞中加热元件沿圖周均匀排布，以确保拘温区的均温性。加热元件连接方式、支擇方式及加热童的保温方式，依使用温度及毛氛的不同而特殊设计。
大型热压炉的加热•室，可设计成可移出炉外，故加热童丸多设计成整体式结构。
3.测温糸统
加热室工作区的上中下三处设有测温点，中温炉采用;⅛温下抗氣化性强，机械强度；⅛,化学稳定性好，参考端采用补褛的錮锂30—錮锂6热屯偶，该偶的长期使用浪度可达1600°C,温度的指示由电控柜的数显表来显示、控制。需温炉则采用运红外测温仪与双錮链热电偶组合测温方式，双錮锂热电偶带有拖动机构。
4、丸毛糸统
该糸统由毛源(毛薇J供入，经过干燥紐进行除水份，干爆血中填丸大量硅胶干燥⅛∣,亦视镜中可观疾到硅胶颜色的变化，以决定是否将■硅胶除水活化。最后通过阀门将毛体导入真空童，其压力不得超过。
5、真空糸统
该糸统通常由犷散泵与机械泵组成;⅛真空犷散泵机组。阀门为专用真空档板阀，犷散泵上设有冷阱，以防止犷散泵区油。紀有罗茨真空泵的糸统，具有粗抽事通管路，用以提⅛⅛⅛速率，真空度测量釆用复合式教显真空计。前级机械泵具有停泵自动放毛功能。
6、压机糸统
由压机及液压北组成。小压机一般采用两梁两粒式；较丸压机采用两梁四柱式。压机上的油缸、水冷压轴、水泥石棉板、石墨压轴与寓强石墨模具一起构成压力环糸统，大压机液压北釆用玖泵配置，油压控制采用冈环挫制，主油紀的推进速度拘匀可调。另外液压糸统上可并朕小手动油泵，当突遇.斯电，可及时向大油紐內补压，从而卩方止废料。
在压机油紐上设有光栅尺，通过精确测量大油紀的住移，计算并挫制制品的相对密度O
对于小压机，亦上油紀与水冷压轴之间可连接有压力传感器，能够准确的控制压力，实现物料的相对密度与压力的对应性。
7、电挫糸统
(D用可编程挫制彖PLC,根据工艺要求对段备进行自动務制；
②目本导电公司数显控温表，用来对升温过程进行智能控制及显示，使升温过程按
照工艺要求分步分段进行。此表为主控温表；
③对于尺寸较大的热压炉，采用三个单相晶闸管可控硅电源，实现三区控温。
⑥复合数显真空计，低真空下为热偶计，需真空下为电富计；
⑤测温选用两种方式，中、低温阶段为热电偶，需温阶段为玖色红外光学测温仪；
⑥光栅仪及二次仪表用来显示压头住移，精度；
⑦持重传感彖及二次仪表用来显示压机压力；
⑧可配置彩色无绒记录仪，对毛体压力、温度、住移、压机压力进行
记忆式可進溯记录；
⑨所有仪表及控制元件集中往一个中央电控柜内；
⑩设置必要的报警及保护，例如超.温、水压低、毛压低等；
