关于扫描电镜原理及提高图像质量的方法课件

扫描电镜原理和提高图像质量的方法专题培训课件

影响扫描电镜图像质量的因素分析摘要：本文介绍影响扫描电镜图像质量的因素及其对图像质量的影响，分别从加速电压、扫描速度和信噪比、束斑直径、探针电流、消像散校正、工作距离以及反差对比等分析图像质量的变化原因，提出提高图像质量的方法。关键词: 扫

生各种物理信号。 (2)扫描系统 扫描系统是扫描电镜的特殊部件，它由扫 描发生器和扫描线圈组成。它的作用是：1)使入 射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像管 电子束在荧光屏上作

如何利用扫描电镜拍出 高质量的图像西安交通大学材料学院 王伟S-2700扫描电镜如何利用扫描电镜拍出高质量的图像一、扫描电镜的工作原理 二、扫描电镜的构造 三、扫描电镜的成像(衬度

重元素样品的分辨率电子束射入重元素样品中时， 作用体积为半球状，电子束 进入表面后立即横向扩展。 即使电子束束斑很小，也不 能达到较高的分辨率，此时 二次电子的分辨率和背散射 电子

X 射线能量谱探头。它的功能是完成光一电转换。它的主要元 件是一块硅渗铿半导体，平时保持中性，不带电荷，当样品上 被轰出X 射线光子打在半导体上，便激发产生电子一空穴对， 此电子一

4.4.2 能谱仪的分辨率能谱仪的分辨率有能量分辨率和空间分辨率之分。能量分辨率是能谱仪最重 要的性能指标，以全峰半高宽（FWHM）计量。一般在探头装入电镜样品室之 前，生产厂家采

加速电压图1 分别加速电压为1kV，10kV，30kV 的SEM 像当样品导电性差时，又不便喷碳喷金, 还需保存样品原貌的这类样 品容易产生充放电效应，样品充电区的微小电位差会造成

（1）2000X（2） 2000X（3）2000X（4） 2000X图4.21 钛酸锶陶瓷组织结构(3) 2000X黑色为铁素体；白色为珠光体 图4.22 油管（钢材）2006-5

由表4.3看出，随着测量颗粒数的增加，数均粒度Ｄn的变化并不明显， 而体均粒度 Ｄv的变化就稍大。当测量的颗粒数大于200时,Ｄv变化趋向平稳。可以认定，200颗 粒就是合适的测量

• 1.放大倍数调至最小 • 2.灯丝电流回到 0 位 • 3.关高压及机械泵 • 4.关显示开关及真空开关 • 5.30分钟后关循环水开关测，其他电子信号用电子收集器；2）特征X

数和试样的表面特征进行选择，根据这个计算公式，可以先估算观察某一分辨率所需要的M有效。例如，要看60nm细节， 则有M有效=0.3*106nm/60nm=5000倍，即欲观察试样表

扫描电子显微镜（Scanning Electronic Microscopy, SEM）扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍

• 二次电子它是被入射电子束轰击出来的样品核外电 子，又称为次级电子。在样品上方装一个电子检测器来检测不同 能量的电子，结果如图所示。二次电子的能量 比较低，一般小于50eV；背散

HUNAN UNIVERSITY姓名：扫描电镜实验报告姓名：高子琪学号：201214010604一.实验目的1.了解扫描电镜的基本结构与原理；2.掌握扫描电镜样品的准备与制备方法；3.掌握扫描电镜的基本操作并上机操作拍摄二次电子像；4.了解

影响扫描电镜图像质量的因素分析（复旦，周广荣）2011-06-20 13:35:59| 分类：SEM基础 | 标签：空间电荷加速电压扫描速度阈电流象散校正|字号订阅作者：周广荣（聚合物分子工程教育部重点实验室复旦大学高分子科学系上海2004

2 典型的形貌像（二次电子像SEI）图4.2 喷金碳颗粒5万倍SEM照片图4.3 喷金碳颗粒20万倍SEM照片图4.6 高分子微球5万倍照片图4.4 高分子微球4万倍照片图4.5