氨气纯化系统装置1、前言作为一种重要的特种气体，高纯氨广泛地应用于电子、化工、冶金、钢铁等工业方面的研究和生产中。在电子工业中，高纯氨是不可缺少的原材料之一。它主要用于集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器和光导纤维等领域【1】。其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。2、国内外状况目前全球气体行业整合后仅剩下四大工业气体企业，分别是林德集团（

电子级磷酸盐简介电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC级）。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要

4.1水解温度控制四氯化硅等在水解时放出大量的 热。由于温度升高，会造成溶解 于水中的氯化氢气体挥发出来， 造成环境污染。 经过实验，得图1所示的水解温度 与HCl排放浓度关系，从

高 我 国硅 产业 的技 术 水平 和市 场竞 争 力 。 园区 内部形成 了一个完整的物料闭路循环 体 系 ：气相 法 二 氧 化 硅项 目以 四氯 化硅 和 氢 气 为 原料

电子级高纯气体输送系统概述李东升(上海正帆超净技术有限公司，上海，201108)摘要：从系统设计角度，论述了电子级高纯气体输送系统的主要设备，气体纯化器选型，输送管道、管件和阀门的材料和型式，安装施工验收的技术指标，以及微量污染的来源及控制措施等。关键词：高纯气体；纯化；输送系统；微量污染OverviewofElectronicGradeHighPurity

电子级（高纯）氢氟酸生产工艺和质量指标介绍一、氢氟酸生产主要流程介绍1.将浮选厂烘干的萤石粉将萤石送至萤石贮仓。通过尘气体经旋风分离器、袋式除尘器排空，萤石贮仓的萤石粉经计量，用调速螺旋送至回转反应炉。2. 将发烟硫酸和被硫酸吸收塔吸收了尾气中HF的硫酸送至混酸槽，在此与来自洗涤塔的稀酸混合。3. 混酸进入回转反应炉；回转反应炉用烟道气经夹套间接加热来满足反