电化学沉积纳米金属多层膜简述

综 述电镀纳米金属多层膜研究现状T he Status of the Study of nm Metal Multi-Layer Plating桂 枫 姚素薇 (天津大学化工学院,天津300072)摘要: 介绍了纳米金属多层膜的研究现状,讨论了单槽法电镀纳米多层膜的原理和脉冲设计方法,简述了纳米多层膜的结构与特性,分析了纳米多层膜的发展趋势。关键词: 纳米

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟WC/DLC 纳米多层膜微观结构研究阳极层流型气体离子源与非平衡磁控溅射复合技术沉积制备WC/DLC纳米多层膜,并在膜/基间设计了中间过渡层。用扫描电镜、拉曼光谱仪、光电子能谱仪、X 衍射仪、透射电镜、干涉显微镜等,对WC/DLC 纳米多层膜的微观形貌结构进行分析研究。结果表明:沉积的WC/DLC 膜层表面致密、光滑细腻;多层调

4．韧性• 多层膜结构可以提高材料的韧性，其增韧机制(Toughening Mechanism)主要是裂纹尖端钝化、裂纹分支、层片拔出以 及沿界面的界面开裂等，在纳米多层膜中也存在

图２ Ｃ／Ｗ薄膜ＸＲＤ衍射图。 Ｆｉｇ．２ ＸＲＤ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ ｐａｔｔｅｒｎ ｏｆ ｔｈｅ Ｃ／Ｗ ｃｏａｔｉｎｇ．关。１“。图３ｂ为Ｗ４ｆ的高分辨谱，拟合发现Ｗ４ｆ

2008 A 3 $ h 357|360 yh 44 |h3JACTA METALLURGICA SINICAVol.44 No.3 Mar. 2008 pp.357{360Ni/

ｍｅ ｈ ｎ ｃ ｌｂ ｈ ｖｏ ｆｔ ｏ ｅ ｍａｅ ｉｌ ｎ ｎ ｎ ｃ ｌ ｅ ｃｅ ｔ ｃ ｉｓ ｅ ｆｒ ｔｅ ｄ ｖ ｌ ｐ ｎ ｆｔ ｅ ｍｕ ｉ ｙ ｒ ａ ｄ ｄ

中存在硬度增高(达到 Hv=50GPa)的超硬效应,但在 Cu/Au、 TIN/TIB2、 TIC/TIB2、TIN/TIC 中未发现超硬效应[4]。因此纳米多层膜的超硬 仅发生在

纳米薄膜的结构和性能§1 纳米薄膜材料概述1.1纳米薄膜的含义1.2纳米薄膜材料在材料学中的作用§2 纳米薄膜的分类§3 纳米薄膜的组织结构3.1薄膜生长过程概述3.2薄膜的生长模式3.3连续薄膜的形成3.4.纳米薄膜的组织形态§4 纳米薄膜的性能4.1.力学性能4.2光学性能4.3电磁学性能4.4气敏特性§5 纳米薄膜的应用5.1耐磨及表面防护涂层5.2纳

　万方数据　万方数据　万方数据　万方数据纳米超硬多层膜研究现状及发展趋势作者：唐普洪， 宋仁国， 柴国钟， 陈小明， TANG Puhong， SONG Renguo， CHAI Guozhong，CHEN Xiaoming作者单位：唐普洪,TANG Puhong(浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州,310014;嘉兴职业技术学院机电与汽车分

Ｎａ ｎ ０ ｓ ｔ ｒ ｕｃ ｔ ｕｒ ｅ Ｉ Ｍｅ ｔ ａ ｌ ｌ ｉ ｃ Ｍ ｕｌ ｔ ｉ ｌ ａ ｙ ｅ ｒ ｓ Ｚ ＨＡＮＧ Ｊ ｉ ｎ ｙ ｕ，Ｌ Ｉ Ｕ Ｇａ ｎ ｇ