1．目的为规范成品太阳电池片的外观判检工作，保证检验项目完整、检验作业方法和检验数据准确；统一生产、质量、销售认识以满足顾客所需，特制定本本电池片检验标准。2．适用范围本标准内部适用，检验范围为本公司生产的单多晶硅太阳能电池片。3. 工作职责质量管理部负责外观判检项目的具体实施，对所有成品太阳电池片进行目测全检；所有检验人员严格按照本文件规定进行操作。4.

硅片等级分类及标准（150×150）一、优等品(Ⅰ类片)1、物理、化学特性①型号:P 晶向〈100〉±1°；②氧含量: ≤1.0×1018at/cm3；③碳含量: ≤5×1016at/cm3；④少子寿命:τ=1.3-3.0μs(在测试电压≥20mv下裸片的数据)；⑤电阻率: 0.9-1.2、1.2-3.0、3.0-6.0Ω·cm；⑥位错密度：≤3000个/c

文件更改申请单编号：LW-CX-001-A1-03硅片检验标准1 目的规范多晶硅片检测标准。2 适用范围本标准规定了多晶硅片的电性能、外观尺寸的检验项目、测量器具、判定依据，适用于正常生产的多晶硅片的质量检验。3 定义3.1检测工具：数显千分尺、henneck分选机、直尺、三丰粗糙仪、MS203电阻率测试、少子寿命测试WT-2000。3.2检测术语斑点定义：

硅片等级分类及标准

硅片制程培训资料

菱形片0.6-1.0㎜线痕片20-50um弯曲片0.5-0.8㎜（任意一条边以测量最大值计算）（凹进或凸出20-50um）（包括应力片）外形片0.6-1.0mm倒角偏差0.6-1.5mm超厚片220-250um (任意一角以测量最大值计算)（以任意两角最大值相加计算）超薄片150-160um硅晶脱落≤0.3mm 毛边≤0.3mm（双面缺损不在同一位置）尺寸不

硅片等级分类及标准（150³150）一、优等品(Ⅰ类片)1、物理、化学特性错误！未找到引用源。型号:P 晶向〈100〉±1°；错误！未找到引用源。氧含量: ≤1.0³1018at/cm3；错误！未找到引用源。碳含量: ≤5³1016at/cm3；错误！未找到引用源。少子寿命:τ=1.3-3.0μs(在测试电压≥20mv下裸片的数据)；错误！未找到引用源。电阻

1618845313一、硅片检测 硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，因此需要对来料硅片进行检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测量，这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹等。该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。其中，光伏硅片检测仪对硅片表面不平整度进

一文看懂半导体硅片所有猫腻半导体单晶硅片的生产工艺流程单晶硅片是单晶硅棒经由一系列工艺切割而成的，制备单晶硅的方法有直拉法（CZ 法）、区熔法（FZ 法）和外延法，其中直拉法和区熔法用于制备单晶硅棒材。区熔硅单晶的最大需求来自于功率半导体器件。单晶硅制备流程直拉法简称CZ 法。CZ 法的特点是在一个直筒型的热系统汇总，用石墨电阻加热，将装在高纯度石英坩埚中的

硅片的检测1：硅片表面光滑洁净2：TV：220±20um 。3：几何尺寸：边长：125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；边长：103±0.5mm、对角：135±0.5mm；边长：150±0.5mm、156±0.5mm、对角：203±0.5mm、200±0.5mm、。同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm垂直度：任意两

硅片级可靠性测试(转）赵毅，徐向明（上海华虹NEC 电子有限公司，上海201206）摘要：介绍了硅片级可靠性之所以成为现在半导体工艺研发重要组成部分的原因。对硅片级可靠性所涉及的各个项目作了详细的介绍。同时，对各个项目的测试和评价方法也做了详细的分析。最后，对硅片级可靠性测试的发展方向做了分析。关键词：硅片级；可靠性；测试中图分类号：TN304 文献标识码：

中国半导体硅片外延片行业发展概述1.1 半导体硅片、外延片行业概述（1）半导体硅片、外延片定义及分类在半导体制造业中广泛使用各种不同尺寸与规格的硅片，目前12英寸硅片的出货量占比超过60%，是目前主流的硅片尺寸。18英寸晶园世代的技术和机台设备有不少方针已开始确立，但依目前半导体业的态势观察，现在还很难取得实质性的进展。硅片是生产集成电路的主要原材料。硅片尺

多晶硅硅片生产流程(1)洗料为得到纯净的多晶硅原料，须将多晶硅原料清洗，去除杂质和油污。将多晶硅料放入氢氟酸和硝酸中浸泡，然后用高纯水多次清洗，清洗干净后进入下一道工序。b、烘料将清洗干净的多晶硅原料放入烘箱中烘干。c、装袋烘干后的多晶硅原料按型号、电阻率分别包装。d 、配料根据生产需要将不同电阻率的多晶硅料加入母合金配制成符合要求的原料。（2）多晶铸锭阶段

硅片加工技术1. 硅的主要性质：原子序数：14、现对原子质量：08.28、晶体结构：金刚石结构、熔点：℃1420、颜色：银白色。2.硅片按生产工艺分为：切割片、研磨片、化腐片和抛光片。 3.硅片加工第一道工序：定向、滚磨开方。 4.滚磨开方的设备：单晶切方滚磨机、带锯、线锯。 5.硅单晶主参考面方位的确定方法：光图定向法和晶棱连线法。 6.硅单晶定向切割可分

156太阳能电池级单晶硅片

太阳能级单晶硅片1 范围本标准规定了太阳能级单晶硅片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于太阳能电池用的太阳能级单晶硅片（以下简称单晶硅片）。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准

1．目的为规范成品太阳电池片的外观判检工作，保证检验项目完整、检验作业方法和检验数据准确；统一生产、质量、销售认识以满足顾客所需，特制定本本电池片检验标准。2．适用范围本标准内部适用，检验范围为本公司生产的单多晶硅太阳能电池片。3. 工作职责质量管理部负责外观判检项目的具体实施，对所有成品太阳电池片进行目测全检；所有检验人员严格按照本文件规定进行操作。4.

硅片尺寸统一和标准化IEC TC82/WG8会议已基本确定晶硅硅片尺寸的标准草案： ① 三个硅片尺寸被选为行业推荐使用标准尺寸，分别是156.75mm，158.75mm 和166.

同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm。 垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3。二、合格品 一级品： 1：表面有少许污渍、轻微线痕。 2：220±20μm ≤TV≤220±30μm

硅片生产制造工艺流程1.切方磨圆将矽单晶圆棒按尺寸要求，切割成矽单晶准方棒，并将切割后的准方棒四角，用滚磨机磨圆。2.酸洗将检测合格的矽单晶准方棒放入配好的酸液中，除去表面杂质，使其清洁便于下道工序。3.粘胶将清洁干净的矽单晶准方棒与工件板进行粘接。4.切片将粘好的矽单晶准方棒安装在切片机的切割工位上，通过设定好的工艺参数，将其切割成片。5.清洗脱胶将切割后